【技术实现步骤摘要】
防护结构及尾气处理装置
本技术涉及一种防护结构及尾气处理装置。
技术介绍
目前外延生长中排出的尾气在国内主要有两种处理方式：第一种，是湿式处理法，就是用自来水与尾气反应，把可处理的尾气溶于水中或反应后沉积在水中，而对于无法溶于水的特气如：H2、N2经过尾气处理装置排放口排放。第二种，就是燃烧式处理法，也就是在第一种方式处理对尾气中的H2经过燃烧变成H2O，剩下N2以排放口排放于大气中。外延的尾气处理装置是与外延生长炉相配套的辅助设备，是用于处理外延炉在外延生长中排出的尾气。首先，尾气处理装置对反应腔有一定的负压，使尾气顺利进入到尾气处理装置中；第二，尾气进入处理器以后于自来水进行充分的接触反应和吸收，使尽可能多的有害气体参与处理。仅留下N2或H2经排放口排入大气中。由于尾气排放口直接裸露在大气中，风吹雨打都会影响尾气处理装置的正常工作。如图1所示，因此会在排气口安装“草帽型”防护装置，防止雨水淋入排气管中，这结构在一般情况下尚可起到一定的作用。但环境有时很恶劣，风吹雨打还是会影响起尾气处理装置的正常设定负压，造成反应腔反应不稳定。因此，需要改进尾气排放口的防护结构...
【技术保护点】
1.一种防护结构，其特征在于，包括：竖直管和连接管，竖直管竖直设置，连接管分别与尾气排放口与竖直管相连通，所述的竖直管为底部开口或者顶部和底部均开口。
【技术特征摘要】
1.一种防护结构，其特征在于，包括：竖直管和连接管，竖直管竖直设置，连接管分别与尾气排放口与竖直管相连通，所述的竖直管为底部开口或者顶部和底部均开口。2.根据权利要求1所述的防护结构，其特征在于，所述的竖直管的顶部或管周壁设置水平设置的水平连管，水平连管与连接管相连通。3.根据权利要求2所述的防护结构，其特征在于，所述的连接管为水平设置的第一水平管，第一水平管的两端分别与一个竖直管相连或一个水平连管相连，第一水平管的管周臂与尾气排放口相连。4.根据权利要求1或2所述的防护结构，其特征在于，所述的连接管为...
【专利技术属性】
技术研发人员：楼琦江，
申请(专利权)人：上海晶盟硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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