【技术实现步骤摘要】
一种加热旋转平台装置
本技术属于半导体制程中喷胶领域,具体地说是一种加热旋转平台装置。
技术介绍
传统的喷胶机设备,其单元内基本上是由电机皮带轮带动加热盘体旋转;因皮带在长时间运转下会有松动的情况,需要人工定期进行校准相位角。另外,由电机皮带轮带动加热旋转盘体的结构,需要使用导电滑环对盘体的加热丝和电气件连接,由于喷胶机的本身工艺原因,喷胶单元内的粉尘颗粒较多,通常会导致导电滑环损坏而不通电。
技术实现思路
为了解决因现有皮带轮电机应用限制而导致的上述问题,本技术的目的在于提供一种加热旋转平台装置。该加热旋转平台装置解决了现有技术需要定期人工校准的麻烦,且取缔了易坏导电滑环的使用。方便了人工操作且提供了工作效率。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本技术包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台,其中固定架固接于单元平台上,所述中空旋转电机安装在固定架上,中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上,并由所述中空旋转电机驱动旋转;所述连接法兰的一端与中空旋转平台相连,另一端由所述单元平台穿过、并连接有加热盘,该加热盘上的加热丝电线及真空管由所述连接法兰内部、中空旋转平台穿过;其中:所述连接法兰为中空结构,两端分别与中空旋转平台及加热盘的底面固接;所述单元平台上开设有通孔,所述连接法兰由该通孔穿过,所述通孔直径大于或等于连接法兰的外径;所述加热丝电线的一端与加热盘相连,另一端依次穿过连接法兰、中空旋转平台后与位于所述单元平台下部的加热电气件连接;所述真空管的一端与加热盘相连,另一端依次穿过连接法兰、中空旋转平台后通过真空管路与位于所述单元平台下 ...
【技术保护点】
1.一种加热旋转平台装置,其特征在于:包括单元平台(1)、加热盘(2)、连接法兰(3)、中空旋转电机(4)、固定架(5)及中空旋转平台(6),其中固定架(5)固接于单元平台(1)上,所述中空旋转电机(4)安装在固定架(5)上,中空旋转平台(6)可相对转动地设置在固定架(5)上,并由所述中空旋转电机(4)驱动旋转;所述连接法兰(3)的一端与中空旋转平台(6)相连,另一端由所述单元平台(1)穿过、并连接有加热盘(2),该加热盘(2)上的加热丝电线(7)及真空管(8)由所述连接法兰(3)内部、中空旋转平台(6)穿过。
【技术特征摘要】
1.一种加热旋转平台装置,其特征在于:包括单元平台(1)、加热盘(2)、连接法兰(3)、中空旋转电机(4)、固定架(5)及中空旋转平台(6),其中固定架(5)固接于单元平台(1)上,所述中空旋转电机(4)安装在固定架(5)上,中空旋转平台(6)可相对转动地设置在固定架(5)上,并由所述中空旋转电机(4)驱动旋转;所述连接法兰(3)的一端与中空旋转平台(6)相连,另一端由所述单元平台(1)穿过、并连接有加热盘(2),该加热盘(2)上的加热丝电线(7)及真空管(8)由所述连接法兰(3)内部、中空旋转平台(6)穿过。2.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置,其特征在于:所述连接法兰(3)为中空结构,两端分...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋双,程虎,
申请(专利权)人:沈阳芯源微电子设备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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