具有增强滤波特性的用于电子器件的测试装置的探头制造方法及图纸

本申请描述了一种探头(20)，该探头包括多个接触探针(21A，21B，21C)，该多个接触探针滑动地容纳在相应的多个导引孔(25A，27A，29A，36A；25B，27B，29B，36B；28C，29C，36C)中，该多个导引孔在板状支撑件(22)中实现，该多个接触探针(21A，21B，21C)包括至少第一组承载接地和电源信号(GND，PWR)的接触探针(21A，21B)。合适地，该探头(20)包括至少一个滤波电容器(30)，该滤波电容器具有至少一个电极(31)，该电极电连接到导电部分(22A，27A)，该导电部分在支撑件(22)上实现并包括第一组的接触探针(21A，21B)的至少一个壳体导引孔(25A，29A)。

Probe for Testing Devices for Electronic Devices with Enhanced Filtering Characteristic

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有增强滤波特性的用于电子器件的测试装置的探头
本专利技术涉及一种用于电子器件的测试装置的探头。本专利技术特别但不排他地涉及具有增强频率性能的探头，并且参考该应用领域进行以下描述，其唯一目的是简化其说明。
技术介绍
众所周知，探头本质上是一种适于放置微结构(特别是集成在晶片上的电子器件)的多个接触垫的器件，与执行其工作测试(特别是电气测试，或一般的测试)的测试装置的相应通道电接触。在集成器件上执行的测试对于检测和隔离已经在制造步骤中的有缺陷的器件特别有用。通常，探头因此用于在切割或单个化并将它们安装在芯片容纳封装内之前对集成在晶片上的器件进行电测试。探头基本上包括多个可移动的接触元件或接触探针，其设置有用于被测器件(也称为DUT(“被测器件”的首字母缩写))的相应的多个接触垫的至少一个端或接触尖端。术语“端”或“尖端”在此处和下方指的是端部，不一定是尖锐的。特别已知的是，除了其他因素之外，测量测试的有效性和可靠性还取决于在器件和测试装置之间实现良好的电接触，并因此取决于在探针和垫之间建立最佳电接触。在这里考虑用于集成电路测试的
中使用的探头类型中，广泛使用具有垂直探头的探头，这种探头被称为“垂直探头(verticalprobehead)”。垂直探头基本上包括多个接触探针，该多个接触探针由至少一对板或导引件保持，这些板或导引件基本上为板状并且彼此平行。这些导引件设置有合适的孔并且以一定的相互距离布置，从而为接触探针的移动和可能变形留下自由区或气隙。该对导引件尤其包括上导引件或上模和下导引件或下模，两者都设置有导引孔，接触探针在该导引孔内轴向滑动，这种接触探针通常由具有良好电气和机械属性的特殊合金线制成。在这种情况下，探头和被测器件的接触垫之间的良好连接也通过探头头到器件本身的按压来确保，接触探头可以在上模和下模中实现的导引孔内移动，在这种挤压接触期间在两个模具之间的气隙内发生弯曲，并且还在这些导引孔内滑动。还已知使用如下探头，其探针没有牢固地固定但是与接口板连接，接口板又连接到测试装置：这种探头被称为具有未阻塞探针的探头。在这种情况下，接触探针还具有朝向这种接口板的多个接触垫的另一个端部或接触头。通过将探针按压到接口板的接触垫上，以与接触被测器件类似的方式保证探针和接口板之间良好的电接触。探头和接口板包括在所谓的探针卡中，该探针卡构成集成在晶片中的器件的测试装置的端子部分。在其最一般的形式中，探针卡在图1中用10总体上并且示意性地表示，包括探头1，探头1在图的示例中具有未阻塞垂直探针。探头1包括容纳在主体3中的多个接触探针2，进而通常包括至少一对板状支撑或导引件，该至少一对板状支撑件或导引件设置有相应的导引孔，该导引孔适于以滑动方式容纳接触探针2，由于接触探针2是常规类型，所以并未示出。每个接触探针2具有邻接到特别是集成在半导体晶片上的被测器件(未示出)的接触垫上的端或接触尖端2A，因此执行与这种器件的机械和电接触。另外，每个接触探针2具有朝向接口板4的多个接触垫4A的另外的端，通常表示为接触头2B。探针和接口板之间的良好电接触以与通过将探针、特别是相应的接触头2B按压到接口板4的接触垫4A上来接触被测器件类似的方式得到保证。更特别地，接口板4还用于在布置在其第一面F4a(也称为“探针侧”)处的接触垫4A与布置在接口板4的第二和相对的面F4b(也称为“测试器侧”)上的相应的接触垫4B的分布之间执行空间变换，接触探针2的接触头2B邻接该第一面F4a，该第二和相对的面F4b特别是用于与测试装置的印刷电路板5或PCB(“印刷电路板”的首字母缩写)连接。根据其执行接触垫的空间变换的主要功能，特别是放宽与最新技术的垫之间的距离(表示为间距)的相关的尺寸约束，接口板4通常也被表示为空间变换器。换句话说，由于使用了接口板4，可以实现测试器侧接触垫4B的间距大于探头侧接触垫4A的间距。通过使用多个导电轨道6、特别是金属导电轨道6来执行接口板4内部的空间变换操作，该多个导电轨道6适于通过能够连接到PCB5的合适的电接触结构7(例如导电球、引脚或支柱，仅举几个例子)执行从探头侧接触垫4A到测试器侧接触垫4B以及这些测试器侧接触垫4B的信号的路由。即使在PCB5内，也通过另外的导电轨道8(特别是金属的)执行信号的路由，以将信号带到探针卡10的外部，然后到达测试装置。导电轨道6和8实际上甚至可以是导电平面。已知的探针卡还包括合适的滤波电容器9。更特别地，已知使用陶瓷类型的滤波电容器9，包括绝缘陶瓷体9c和布置在其侧面的合适的金属电机9r，以形成电容器本身的板。这些滤波电容器通常布置在接口板4的第一探针侧面F4a上，位于探头1的外侧。为了确保滤波电容器9的更好操作，它们应尽可能靠近接触探针2布置，特别是靠近承载应当对其进行滤波的电源和接地信号的探针，并且更特别地靠近其接触尖端2A。在最新技术中，一些滤波电容器9因此也布置在第二测试器侧面F4b上，在适当地不被探头1的区域Aph中的电接触结构7占据的部分中。以这种方式，滤波电容器9被拉近接触探针2。然而，这种配置导致接口板4内的电源和接地信号的并行路由，以将它们驱动到板的侧面，在不对应于探头1的区域Aph外面。电源和接地信号的在接口板4内部的这种路由导致实现从区域Aph到外部或外围区域或接口板4的导电轨道或平面6，以及布置在不同的层上的承载到滤波电容器9的电源和接地信号的导电轨道或平面。所有这些导致需要实现具有大量层的接口板4，增加了接口板的厚度，使得布置在测试器侧的滤波电容器9本身远离相应的电源和接地探针2、特别是远离它们的接触尖端2A移动，并且导致相应的滤波能力降低。因此，即使是将测试器侧滤波电容器9放置在对应于探头1的区域Aph中的最新解决方案，也必须处理相互冲突的需求，并且只能在其性能改进方面获得折衷。本专利技术的技术问题是提供一种探头，该探头包括用于与特别是集成在晶片上的电子器件的测试装置连接的多个接触探针，其结构和功能特性能够克服仍然影响根据已知技术制造的探针卡的局限和缺点，特别是允许改善特别是布置在探头本身内的用于承载电源和接地信号的接触探针的滤波电容器的性能。
技术实现思路
构成本专利技术的基础的解决方案构思是实现用于与一个或多个导引件或模具上的滤波电容器接触的合适的导电部分。基于该解决方案构思，技术问题通过探头解决，该探头包括多个接触探针，该多个接触探针滑动地容纳相应的多个导引孔中，该多个导引孔在板状支撑件中实现，该多个接触探针包括至少第一组承载接地和电源信号的接触探针，其特征在于，该探头包括至少一个滤波电容器，该滤波电容器具有至少一个电极，该电极电连接到导电部分，该导电部分在支撑件上实现并且包括容纳第一组接触探针的至少一个导引孔。更特别地，本专利技术包括根据需要单独或组合使用的以下附加和可选特征。根据本专利技术的另一方面，导电部分可以分别连接到选自接地基准和电源基准的第一电压基准，并且滤波电容器可以包括分别连接到第二不同电压基准的另外的电极，该第二电压基准选自电源基准和接地基准。根据本专利技术的另一方面，导电部分可以包括并电连接容纳第一组接触探针的多个导引孔。此外，导电部分可以包括正交部分，该正交部分至少部分地在第一组的接触探针的壳体导引孔内延伸。根据本专利技术的另一方面，探头本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探头(20)，包括多个接触探针(21A，21B，21C)，所述多个接触探针滑动地容纳在相应的多个导引孔中(25A，27A，29A，36A；25B，27B，29B，36B；28C，29C，36C)，所述多个导引孔在板状支撑件(22)中实现，所述多个接触探针(21A，21B，21C)包括承载接地和电源信号(GND，PWR)的至少第一组接触探针(21A，21B)，其特征在于，所述探头包括至少一个滤波电容器(30)，所述滤波电容器具有至少一个电极(31)，所述电极与导电部分(22A，27A；22B，26A)电连接，所述导电部分在所述支撑件(22)上实现并且包括所述第一组的接触探针(21A，21B)的至少一个壳体导引孔(25A，29A；25B，28B)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.12.16 IT 1020160001275811.一种探头(20)，包括多个接触探针(21A，21B，21C)，所述多个接触探针滑动地容纳在相应的多个导引孔中(25A，27A，29A，36A；25B，27B，29B，36B；28C，29C，36C)，所述多个导引孔在板状支撑件(22)中实现，所述多个接触探针(21A，21B，21C)包括承载接地和电源信号(GND，PWR)的至少第一组接触探针(21A，21B)，其特征在于，所述探头包括至少一个滤波电容器(30)，所述滤波电容器具有至少一个电极(31)，所述电极与导电部分(22A，27A；22B，26A)电连接，所述导电部分在所述支撑件(22)上实现并且包括所述第一组的接触探针(21A，21B)的至少一个壳体导引孔(25A，29A；25B，28B)。2.根据权利要求1所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(22A，27A；22B，26A)分别连接到选自接地基准和电源基准(GND，PWR)的第一电压基准，所述滤波电容器(30)包括分别连接到第二不同电压基准的另外的电极(32)，所述第二不同电压基准选自电源基准和接地基准(PWR，GND)。3.根据权利要求1或2所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(22A，27A；22B，26A)包括并电连接所述第一组的所述接触探针(21A，21B)的多个壳体导引孔(25A，29A；25B，28B)。4.根据前述权利要求任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(22A，27A；22B，26A)包括正交部分(22Aw，27Aw；22Bw，26Aw)，所述正交部分至少部分地在所述第一组的所述接触探针(21A，21B)的所述壳体导引孔(25A，29A；25B，28B)内延伸。5.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述探头包括不同的导电部分，所述导电部分包括不同的多个壳体导引孔并连接到不同的电压基准，所述电压基准选自电源基准和接地基准(PWR，GND)。6.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)至少包括所述滤波电容器(30)的壳体座(33)，所述导电部(22A，22B)也相应于所述壳体座(33)延伸，以实现与所述滤波电容器(30)的所述至少一个电极(31)的连接。7.根据权利要求6所述的探头(20)，其特征在于，所述滤波电容器(30)的所述壳体座(33)以尺寸(H1，H2)延伸到所述支撑件(22)中，所述尺寸等于所述滤波电容器(30)的相应高度。8.根据前述权利要求任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)包括与其第一面(Fa)对应形成的第一导电部分(22A)和与其第二和相对的面(Fb)对应形成的第二导电部分(22B)，所述滤波电容器(30)的所述壳体座(33)形成在所述支撑件(22)中，以使所述第一和第二面(Fa，Fb)连通，所述滤波电容器(30)具有连接到所述第一导电部分(22A)的电极(31)和连接到所述第二导电部分(22B)的另外的电极(32)，所述第一和第二导电部分(22A，22B)连接到选自电源基准和接地基准(PWR，GND)的相应的不同电压基准。9.根据权利要求8所述的探头(20)，其特征在于，所述第一导电部分(22A)至少包括所述第一组的接触探针(21A)的第一壳体导引孔(25A)，所述第二导电部分(22B)至少包括所述第一组的另外的接触探针(21B)的第二壳体导引孔(25B)，所述第一导电部分(22A)以不接触与其通过第一膜片(Dfl)分开的所述第二壳体导引孔(25B)的方式形成，并且所述第二导电部分(22B)以不接触与其通过第二膜片(Df2)分开的所述第一壳体导引孔(25A)的方式形成，所述第一和第二膜片(Dfl，Df2)确保所述接触探针(21A)和所述另外的接触探针(21B)分别与所述第二和第一导电部分(22B，22A)隔离。10.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)包括通过气隙(34)分开的至少一对导引件(27，26)，所述至少一对导引件呈板状并且彼此平行，每个所述导引件(27，26)设置有所述第一组的所述接触探针(21A，21B)的多个壳体导引孔(29A，28B)和所述接触探针(21B，21A)的相应多个贯通导引孔(29B，28A)，每个所述导引件(27，26)至少具有导电部分(27A，26A)，所述导电部分至少包括所述第一组的接触探针(21A，21B)的至少一个壳体导引孔(29A、28B)。11.根据权利要求10所述的探头(20)，其特征在于，所述导引件(27，26)的所述导电部分(27A，26A)通过膜片(Dfal，Dfa2，Dfb1，Dfb2)与所述接触探针(21B，21A)的所述贯通导引孔(29B，28A)分开，所述膜片保证所述接触探针(21B，21A)与所述导电部分(27A，26A)的绝缘。12.根据权利要求10或11所述的探头(20)，其特征在于，所述壳体...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗拉维奥·马焦尼，
申请(专利权)人：泰克诺探头公司，
类型：发明
国别省市：意大利,IT