层叠压电陶瓷部件及其制造方法和压电器件技术

本发明专利技术提供能够实现制造成本的低廉化的层叠压电陶瓷部件的制造方法、层叠压电陶瓷部件和压电器件。本发明专利技术的层叠压电陶瓷部件的制造方法中，将由压电性陶瓷材料构成的陶瓷生片层叠而形成层叠体，其中，在比陶瓷生片的外缘靠内侧形成有包含贱金属的要成为内部电极的导电图案，烧制层叠体，并将烧制后的层叠体切断，使内部电极露出。

Cascaded Piezoelectric Ceramic Components and Their Manufacturing Method and Piezoelectric Devices

【技术实现步骤摘要】
层叠压电陶瓷部件及其制造方法和压电器件
本专利技术涉及能够用作压电驱动器的层叠压电陶瓷部件的制造方法、层叠压电陶瓷部件和压电器件。
技术介绍
将内部电极和压电体层层叠多个，且在最表层形成表面电极的双压电晶片型压电元件被用于定位机构等(例如专利文献1～3)。双压电晶片型压电元件由两相的压电陶瓷构成，当向一相施加正方向的电压时，由压电横向效应而伸展，向另一相施加反方向的电压而收缩。该伸缩作用使压电元件弯曲，并产生较大的变位。特别是通过将压电元件设为层叠结构，能够得到与层叠数相应的变位量，进而薄层化，由此，能够降低施加电压。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平9-289342号公报专利文献2：日本特开2007-134561号公报专利文献3：日本特开平6-252469号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题通常，双压电晶片型压电元件的内部电极使用Au、Pt、Ag或Ag/Pd合金等的贵金属。这是由于在双压电晶片型压电元件的制造工序中需要烧制压电陶瓷，且需要防止内部电极被氧化。另外，也可以将内部电极设为比贵金属廉价的Ni、Cu或Ni合金等的贱金属。在该情况下，为了防止贱金属的氧化，需要基于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种层叠压电陶瓷部件的制造方法，其特征在于，包括：将由压电性陶瓷材料构成的陶瓷生片层叠而形成层叠体的步骤，其中，在比所述陶瓷生片的外缘靠内侧形成有包含贱金属的要成为内部电极的导电图案；烧制所述层叠体的步骤；和将烧制后的所述层叠体切断，使所述内部电极露出的步骤。

【技术特征摘要】
2018.01.30 JP 2018-0139641.一种层叠压电陶瓷部件的制造方法，其特征在于，包括：将由压电性陶瓷材料构成的陶瓷生片层叠而形成层叠体的步骤，其中，在比所述陶瓷生片的外缘靠内侧形成有包含贱金属的要成为内部电极的导电图案；烧制所述层叠体的步骤；和将烧制后的所述层叠体切断，使所述内部电极露出的步骤。2.如权利要求1所述的层叠压电陶瓷部件的制造方法，其特征在于：所述导电图案利用包含Ni、Cu或Ni合金的导电膏形成。3.如权利要求1或2所述的层叠压电陶瓷部件的制造方法，其特征在于：在所述层叠体上设置有标记，在使所述内部电极露出的步骤中，在所述标记的位置切断所述层叠体。4.如权利要求3所述的层叠压电陶瓷部件的制造方法，其特征在于：所述标记是以连结所述标记的假想线通过所述导电图案的方式形成的。5.如权利要求1～4中任一项所述的层叠压电陶瓷部件的制造方法，其特征在于：所述内部电极具有：第一内部电极；和在厚度方向上与所述第一内部电极隔开规定距离地交替层叠的第二内部电极。6.如权利要求5所述的层叠压电陶瓷部件的制造方法，其特征在于：通过切断所述层叠体而形成的压电陶瓷体为长度＞宽度＞厚度的长方体形状，且具有在厚度方向上相对的上表面和下表面、在长度方向上相对的第一端面和第二端面、在宽度方向上相对的一对侧面，所述第一内部电极引出至所...

【专利技术属性】
技术研发人员：原田智宏，清水宽之，后藤隆幸，岸本纯明，小西幸宏，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP