【技术实现步骤摘要】
一种背封炉氮气罩固定工具
本技术涉及半导体材料生产
，具体的说是一种背封炉氮气罩固定工具。
技术介绍
半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺，一种重要的背封工艺就是采用常压化学气象淀积（APCVD）原理在硅片背面生长一层二氧化硅薄膜，执行该背封工艺主流设备有一种是常压式背封炉即APCVD背封炉，工作原理如下：将硅片放到履带上，匀速通过喷头下方，喷头喷出硅烷与氧气在硅片表面发生反应，并通过氮气使之与大气进行隔离，适当的气体配合适当的温度在常压环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅薄膜。在生产过程中为保证工艺质量，要通过氮气罩，均匀地通入氮气，将易燃易爆的硅烷气体与大气进行隔离，并将反应的残余气体通过排风带走，所以一定要将氮气罩固定牢固。现有结构中氮气罩下端往往通过两个螺丝固定在喷头上，上端伸出两根氮气管道用以连接氮气气源，如果不加以堵塞固定，氮气管道容易活动，导致气流不稳影响工艺质量。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题的不足，本技术提出一种背封炉氮气罩固定工具，可以牢固的将氮气罩固定，不会产生晃动，大大提高了工艺的稳定性和产品质量，并...
【技术保护点】
1.一种背封炉氮气罩固定工具，背封炉上设有喷头和氮气罩，其特征在于，所述氮气罩呈筒状，且一端沿着筒体设有螺孔，螺钉穿过所述螺孔将所述氮气罩固定在所述喷头上，所述氮气罩的另一端设有氮气管道安装孔，固定工具设置在所述氮气管道安装孔内；所述固定工具包括喇叭状柱体，所述喇叭状柱体的圆柱段与所述氮气管道安装孔连接，所述喇叭状柱体的喇叭段设置在所述氮气管道安装孔外，所述喇叭状柱体的中心设有两个通孔，两根氮气管道分别穿过两个所述通孔伸入所述氮气罩内。
【技术特征摘要】
1.一种背封炉氮气罩固定工具，背封炉上设有喷头和氮气罩，其特征在于，所述氮气罩呈筒状，且一端沿着筒体设有螺孔，螺钉穿过所述螺孔将所述氮气罩固定在所述喷头上，所述氮气罩的另一端设有氮气管道安装孔，固定工具设置在所述氮气管道安装孔内；所述固定工具包括喇叭状柱体，所述喇叭状柱体的圆柱段与所述氮气管道安装孔连接，所述喇叭状柱体的喇叭段设置在所述氮气管道安装孔外，所述喇叭状柱体的中心设有两个通孔，两根氮气管道分别穿过两个所述通孔伸入所述氮气罩内。2.如权利要求1所述的一种背封炉氮气罩固定工具，其特征在于，所述氮气管道安装孔内设有内螺纹，所述喇叭状柱体的圆柱段外表面设有外螺纹，所述圆柱段与所述氮气管道安装孔通过所述内螺纹和...
【专利技术属性】
技术研发人员：张天鹏，张娟娟，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41
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