复合拖动分子泵制造技术

一种拖动分子泵，由动叶轮，动密封，转轴和泵壳等构成。动叶轮上至少有一条多拖动面的抽气槽，动密封插在抽气槽中，抽气槽在动密封的两侧分别留有进气口和排气口。若干级上述抽气单元同轴安装，可以组成串、并联组合的多级泵。上述单级或多级泵还可以与其他分子泵以及旋转机械真空泵组合成复合真空泵。该泵结构简单、加工方便，抽速和压缩比均较高，而且成本较低。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种复合拖动分子泵，由动叶轮、动密封、转轴、静叶轮和泵壳等组成。其特征在于所述的分子泵中至少有一组具有多个拖动面的基本抽气单元，简称为多拖泵单元。该基本抽气单元由如下基本结构组成：（１）动叶轮上至少有一条沿圆周方向的抽气槽，抽气槽的截面可以是矩形、弧形、或者其它形状。抽气槽的开口可以在圆周的侧面方向，或者在横截面方向。（２）动密封由截面与抽气槽截面相似，但略小的弧形体构成，动密封固定在泵壳，或者隔离环，或者静叶轮上，并插入抽气槽中。动密封与抽气槽内壁之间留有工作间隙。（３）抽气槽在上述动密封的两侧分别设有进气口和排气口，其余部位由泵壳，或者隔离环，或者静叶轮等密封。密封处留有工作间隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：储继国，
申请(专利权)人：宁波韵升真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：97[中国|宁波]