基片固定结构、夹具及夹持系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种基片固定结构、夹具及夹持系统。其中，基片夹设在基片固定结构与载板之间，基片固定结构包括：本体，本体具有进气孔、连通部及排气孔，进气孔通过连通部与排气孔连通；其中，排气孔设置在本体朝向基片的第一表面上，从排气孔排出的气体进入至基片与基片固定结构之间。本实用新型专利技术有效地解决了现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题。

Substrate Fixed Structure, Fixture and Clamping System

【技术实现步骤摘要】
基片固定结构、夹具及夹持系统
本技术涉及太阳能电池
，具体而言，涉及一种基片固定结构、夹具及夹持系统。
技术介绍
目前，太阳能电池产线设备可分为卧式产线设备和立式产线设备。其中，卧式产线设备为基片和载板沿水平方向经过腔室，由上向下(或由下向上)进行镀膜。立式产线设备为基片和载板沿竖直方向经过腔室，由一侧进行镀膜。与卧式产线设备相比，立式产线设备具有占用空间小，易于操作等特点。在现有技术中，为了防止基片在镀膜过程中发生脱落，采用在基片后设置在基片固定结构的方式对基片进行固定，即基片夹设在载板与基片固定结构之间，以使基片保持直立的状态。然而，在工作人员取出基片固定结构时，通过会出现基片固定结构将基片一同带起的现象，易造成基片碎裂。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种基片固定结构、夹具及夹持系统，以解决现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题。为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种基片固定结构，基片夹设在基片固定结构与载板之间，基片固定结构包括：本体，本体具有进气孔、连通部及排气孔，进气孔通过连通部与排气孔连通；其中，排气孔设置在本体朝向基片的第一表面上，从排气孔排出的气体进入至基片与基片固定结构之间。进一步地，进气孔为锥形孔，锥形孔由第二表面向第一表面延伸以与连通部连通，沿第二表面至第一表面的方向上，锥形孔的孔径逐渐减小；其中，第二表面为本体的与第一表面相对的表面。进一步地，排气孔为多组，各组排气孔沿本体的边缘设置。进一步地，连通部包括多个第一通道和多个第二通道，多个第二通道与多个第一通道一一对应地设置，任意一个第一通道与其相应的一个第二通道相连通；任意一个第一通道与其相应的一组排气孔一一对应地设置并相连通。进一步地，本体为板状结构，连通部还包括第三通道，第三通道沿板状结构的厚度方向延伸；进气孔通过第三通道与多个第二通道连通。进一步地，本体为多边形板，第一通道为多个，多个第一通道沿多边形板的不同侧边延伸，各第二通道与其相对应的第一通道垂直设置，全部第二通道通过第三通道连接。进一步地，各第一通道的至少一端贯穿本体，至少一个第二通道的至少一端贯穿本体，基片固定结构还包括：封堵件，设置在第一通道和第二通道的贯穿本体的一端，以对该端进行封堵。进一步地，本体包括至少一个通孔，通孔与第一通道和第二通道间隔设置。进一步地，第一表面具有凹部，多组排气孔围绕凹部设置。根据本技术的另一方面，提供了一种夹具，适用于上述的基片固定结构，夹具包括：夹具本体、夹爪、进气管道、第一驱动装置和第二驱动装置；其中，第一驱动装置和第二驱动装置设置在夹具本体上，第一驱动装置用于驱动夹爪以夹持或释放基片固定结构；第二驱动装置与进气管道连接，以驱动进气管道朝向或远离进气孔运动，以使进气管道的排气口与基片固定结构的进气孔相连通，以对进气孔进行供气。进一步地，夹具还包括：固定板体，第二驱动装置与固定板体驱动连接，进气管道通过固定板体与第二驱动装置连接；弹性半球状结构，设置在固定板体上且位于固定板体朝向进气孔的一侧，弹性半球状结构具有过孔，进气管道穿设在过孔内，部分弹性半球状结构伸入基片固定结构的进气孔内，以使进气管道内的气体进入至进气孔内。根据本技术的另一方面，提供了一种夹持系统，夹持系统包括基片固定结构和夹具；其中，基片固定结构为上述的基片固定结构，夹具为上述的夹具，夹持系统还包括：基片；载板，基片夹设在基片固定结构与载板之间。应用本技术的技术方案，基片夹设在基片固定结构与载板之间，基片固定结构包括本体。其中，本体具有进气孔、连通部及排气孔，进气孔通过连通部与排气孔连通。其中，排气孔设置在本体朝向基片的第一表面上，从排气孔排出的气体进入至基片与基片固定结构之间。这样，在工作人员取出基片固定结构时，气体通过本体的进气孔进入本体内，经由连通部后从排气孔排出，以进入至基片与本体之间，保证基片与本体之间处于非真空状态，以防止基片连同基片固定结构被一同取出，进而解决了现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题。同时，基片固定结构的上述设置保证基片与载板始终处于直立状态，以保证基片的正常镀膜加工。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本技术的基片固定结构的实施例的立体结构示意图；图2示出了图1中的基片固定结构的仰视图；图3示出了图2中的基片固定结构的剖视图；图4示出了根据本技术的夹具的实施例的立体结构示意图；图5示出了图4中的夹具的俯视图；图6示出了图5中的夹具的A-A向剖视图；图7示出了图4中的夹具向基片固定结构内供气时的剖视图；图8示出了图7中的夹具向基片固定结构内供气时的B处局部放大图；以及图9示出了根据本技术的夹持系统的实施例的剖视图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、基片；20、载板；31、本体；311、进气孔；312、排气孔；313、第一通道；314、第二通道；315、第三通道；316、通孔；317、夹持凹部；32、封堵件；50、夹具本体；60、夹爪；70、进气管道；81、第一驱动装置；82、第二驱动装置；90、固定板体；100、弹性半球状结构。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本技术。为了解决现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题，本申请提供了一种基片固定结构、夹具及夹持系统。如图1至图3所示，基片10夹设在基片固定结构与载板20之间，基片固定结构包括本体31。其中，本体31具有进气孔311、连通部及排气孔312，进气孔311通过连通部与排气孔312连通。其中，排气孔312设置在本体31朝向基片10的第一表面上，从排气孔312排出的气体进入至基片10与基片固定结构之间。应用本实施例的技术方案，在工作人员取出基片固定结构时，气体通过本体31的进气孔311进入本体31内，经由连通部后从排气孔312排出，以进入至基片10与本体31之间，保证基片10与本体31之间处于非真空状态，以防止基片10连同基片固定结构被一同取出，进而解决了现有技术中基片固定结构在取出过程中易将基片一同带起，造成基片碎裂的问题。同时，基片固定结构的上述设置保证基片10与载板20始终处于直立状态，以保证基片10的正常镀膜加工。在本实施例中，基片10主要应用于太阳能电池
，通过载板20和基片固定结构使得基片10处于直立状态，镀膜装置通过载板20上的开口区域对基片10的一侧进行镀膜操作。在本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基片固定结构，基片(10)夹设在所述基片固定结构与载板(20)之间，其特征在于，所述基片固定结构包括：本体(31)，所述本体(31)具有进气孔(311)、连通部及排气孔(312)，所述进气孔(311)通过所述连通部与所述排气孔(312)连通；其中，所述排气孔(312)设置在所述本体(31)朝向所述基片(10)的第一表面，从所述排气孔(312)排出的气体进入至所述基片(10)与所述基片固定结构之间。

【技术特征摘要】
1.一种基片固定结构，基片(10)夹设在所述基片固定结构与载板(20)之间，其特征在于，所述基片固定结构包括：本体(31)，所述本体(31)具有进气孔(311)、连通部及排气孔(312)，所述进气孔(311)通过所述连通部与所述排气孔(312)连通；其中，所述排气孔(312)设置在所述本体(31)朝向所述基片(10)的第一表面，从所述排气孔(312)排出的气体进入至所述基片(10)与所述基片固定结构之间。2.根据权利要求1所述的基片固定结构，其特征在于，所述进气孔(311)为锥形孔，所述锥形孔由第二表面向所述第一表面延伸以与所述连通部连通，沿所述第二表面至所述第一表面的方向上，所述锥形孔的孔径逐渐减小；其中，所述第二表面为所述本体(31)与所述第一表面相对的表面。3.根据权利要求1所述的基片固定结构，其特征在于，所述排气孔(312)为多组，各组所述排气孔(312)沿所述本体(31)的边缘设置。4.根据权利要求3所述的基片固定结构，其特征在于，所述连通部包括多个第一通道(313)和多个第二通道(314)，多个所述第二通道(314)与多个所述第一通道(313)一一对应地设置，任意一个所述第一通道(313)与其相应的一个所述第二通道(314)相连通；任意一个所述第一通道(313)与其相应的一组所述排气孔(312)一一对应地设置并相连通。5.根据权利要求4所述的基片固定结构，其特征在于，所述本体(31)为板状结构，所述连通部还包括第三通道(315)，所述第三通道(315)沿所述板状结构的厚度方向延伸；所述进气孔(311)通过所述第三通道(315)与多个所述第二通道(314)连通。6.根据权利要求5所述的基片固定结构，其特征在于，所述本体(31)为多边形板，所述第一通道(313)为多个，多个所述第一通道(313)沿所述多边形板的不同侧边延伸，各所述第二通道(314)与其相对应的所述第一通道(313)垂直设置，全部所述第二通道(314)通过所述第三通道(315)连接。7.根据权利要求6所述的基片固定结构，其特征在于，各所述第一通道(313)的至少一端贯穿所述本体(31)...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏艳波，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11