一种PVD机台用防静电玻璃顶针制造技术

技术编号:21573295 阅读:40 留言:0更新日期:2019-07-10 15:52
本实用新型专利技术公开了一种PVD机台用防静电玻璃顶针,包括顶针本体,所述顶针本体的顶端设置有凸台,且顶针本体内部的中间位置处开设有螺栓孔,所述凸台内部的中间位置处开设有滚珠槽,所述滚珠槽延伸至顶针本体的内部,且滚珠槽的内部安装有滚珠,所述顶针本体的前后表壁均开设有限位槽,且顶针本体相邻于限位槽的两侧均对称开设有两个卡球孔,所述顶针本体的内部两侧分别对称开设有与两个卡球孔一一对应的第一弹簧槽和第二弹簧槽,本实用新型专利技术设置了凸台、滚珠槽和滚珠,装配玻璃时,滚珠能够滚动,便于玻璃的装配,可以避免在滑动过程中划伤玻璃,同时接触面改成滚珠式结构,可以有效的改善使用过程中因磨损而产生的放电及不良反应。

An Antistatic Glass Thimble for PVD Platform

【技术实现步骤摘要】
一种PVD机台用防静电玻璃顶针
本技术属于PVD
,具体涉及一种PVD机台用防静电玻璃顶针。
技术介绍
PVD是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上,PVD技术不仅提高了薄膜与刀具基体材料的结合强度,涂层成分也由第一代的TiN发展为TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx、DLC和ta-C等多元复合涂层。但是目前市场上的PVD机台用防静电玻璃顶针在使用过程中仍然存在一定的缺陷,例如,玻璃装配时容易划伤,且使用过程中发生磨损,导致玻璃产生放电及不良反应,另外顶针不能快速定位,不便于安装,安装效率低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种PVD机台用防静电玻璃顶针,以解决上述
技术介绍
中提出的玻璃容易划伤,发生磨损,导致玻璃产生放电及不良反应,另外顶针不能快速定位,不便于安装的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种PVD机台用防静电玻璃顶针,包括顶针本体,所述顶针本体的顶端设置有凸台,且顶针本体内部的中间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PVD机台用防静电玻璃顶针,包括顶针本体(1),其特征在于:所述顶针本体(1)的顶端设置有凸台(4),且顶针本体(1)内部的中间位置处开设有螺栓孔(8),所述凸台(4)内部的中间位置处开设有滚珠槽(2),所述滚珠槽(2)延伸至顶针本体(1)的内部,且滚珠槽(2)的内部安装有滚珠(3),所述顶针本体(1)的前后表壁均开设有限位槽(10),且顶针本体(1)相邻于限位槽(10)的两侧均对称开设有两个卡球孔(9),所述顶针本体(1)的内部两侧分别对称开设有与两个卡球孔(9)一一对应的第一弹簧槽(7)和第二弹簧槽(13),所述第一弹簧槽(7)内部的底部通过第一固定座(12)固定连接有第一弹簧(5...

【技术特征摘要】
1.一种PVD机台用防静电玻璃顶针,包括顶针本体(1),其特征在于:所述顶针本体(1)的顶端设置有凸台(4),且顶针本体(1)内部的中间位置处开设有螺栓孔(8),所述凸台(4)内部的中间位置处开设有滚珠槽(2),所述滚珠槽(2)延伸至顶针本体(1)的内部,且滚珠槽(2)的内部安装有滚珠(3),所述顶针本体(1)的前后表壁均开设有限位槽(10),且顶针本体(1)相邻于限位槽(10)的两侧均对称开设有两个卡球孔(9),所述顶针本体(1)的内部两侧分别对称开设有与两个卡球孔(9)一一对应的第一弹簧槽(7)和第二弹簧槽(13),所述第一弹簧槽(7)内部的底部通过第一固定座(12)固定连接有第一弹簧(5),且第一弹簧(5)相对于第一固定座(12)的一端固定有第一限位板(11),所述第一限位板(11)相对于第一弹簧(5)的一侧安装有第一卡球(6),所述第二弹簧槽(13)的内部底部通过第二固定座(17)固...

【专利技术属性】
技术研发人员:周磊窦沛静丁媛
申请(专利权)人:天津市凌云精密机电有限公司
类型:新型
国别省市:天津,12

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