用于在沉积系统中无接触运输载具的设备、用于无接触运输载具的系统、以及用于在沉积系统中无接触运输载具的方法技术方案

本公开内容提供了一种用于在沉积系统中无接触运输载具(220)的设备。载具(220)包括：引导结构(210)，所述引导结构具有一个或更多个有源磁体单元(112)，所述有源磁体单元被配置为面对载具(220)的磁体结构(222)；和一个或更多个传感器(230)，所述一个或更多个传感器被配置为检测载具(220)的存在，其中一个或更多个有源磁体单元(112)和一个或更多个传感器(230)被布置为界定用于其间的磁体结构(222)的引导空间(S)。

Equipment for non-contact transport vehicles in sedimentary systems, systems for non-contact transport vehicles, and methods for non-contact transport vehicles in sedimentary systems

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在沉积系统中无接触运输载具的设备、用于无接触运输载具的系统、以及用于在沉积系统中无接触运输载具的方法
本公开内容的实施方式涉及一种用于在沉积系统中无接触运输载具的设备、一种用于无接触运输载具的系统、以及一种用于在沉积系统中无接触运输载具的方法。本公开内容的实施方式具体地涉及一种用于保持在制造有机发光二极管(OLED)装置中使用的基板和/或掩模的静电吸盘(E-吸盘)。
技术介绍
用于在基板上沉积层的技术包括例如热蒸发、物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。所涂覆的基板可以在多个应用和多个
中使用。例如，所涂覆的基板可以在有机发光二极管(OLED)装置领域中使用。OLED可以用于制造用于显示信息的电视屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置和类似者。诸如OLED显示器之类的OLED装置可包括位于两个电极之间的一个或多个有机材料层，所述有机材料均沉积在基板上。在处理期间，基板可以支撑在载具上，所述载具被配置为保持基板和可选的掩模。载具可以使用磁力在沉积系统(诸如真空沉积系统)内部无接触地运输。对于诸如有机发光装置之类的应用，在基板上沉积的有机层的纯度和均匀性应当是高的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在沉积系统中无接触运输载具的设备，所述设备包括：引导结构，所述引导结构具有一个或更多个有源磁体单元，所述有源磁体单元被配置为面对所述载具的磁体结构；和一个或更多个传感器，所述一个或更多个传感器被配置为检测所述载具的存在，其中所述一个或更多个有源磁体单元和所述一个或更多个传感器被布置为界定用于在所述一个或更多个有源磁体单元与所述一个或更多个传感器之间的所述磁体结构的引导空间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在沉积系统中无接触运输载具的设备，所述设备包括：引导结构，所述引导结构具有一个或更多个有源磁体单元，所述有源磁体单元被配置为面对所述载具的磁体结构；和一个或更多个传感器，所述一个或更多个传感器被配置为检测所述载具的存在，其中所述一个或更多个有源磁体单元和所述一个或更多个传感器被布置为界定用于在所述一个或更多个有源磁体单元与所述一个或更多个传感器之间的所述磁体结构的引导空间。2.如权利要求1所述的设备，其中所述一个或更多个传感器是被配置为测量到所述载具的距离的距离传感器。3.如权利要求1或2所述的设备，其中所述一个或更多个有源磁体单元布置在所述引导空间的一个侧面上，并且所述一个或更多个传感器相对于竖直方向或水平方向布置在所述引导空间的另一侧面上。4.如权利要求1至3中任一项所述的设备，其中所述一个或更多个传感器中的每个传感器具有在所述载具的运输方向上的传感器延伸，其中所述传感器延伸是在所述运输方向上的载具延伸的1％或更多。5.如权利要求1至4中任一项所述的设备，进一步包括驱动结构，所述驱动结构具有多个另外的有源磁体单元。6.一种用于在沉积系统中无接触运输载具的设备，所述设备包括：一个或更多个传感器，所述一个或更多个传感器被配置为检测所述载具的存在，其中所述一个或更多个传感器中的每个传感器具有在所述载具...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US