一种镀膜基片夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜基片夹具，包括夹具底座和限位装置；所述夹具底座为负压腔体结构，且腔体上表面设有通孔；所述限位装置包括固设于所述夹具底座上表面的固定限位机构和与所述夹具底座活动连接的活动限位机构；所述固定限位机构为L型固定限位块，且L型开口朝向所述夹具底座的上表面；所述活动限位结构设于所述夹具底座侧边、与所述固定限位机构相对的位置上。本实用新型专利技术提供了一种镀膜基片夹具，可适应不同形状、尺寸镀膜基片的要求，对镀膜基片进行安全、稳定的夹持和定位。

A Kind of Film-plated Substrate Fixture

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜基片夹具
本技术属于镀膜设备
，具体涉及一种镀膜基片夹具。
技术介绍
镀膜工艺的主要思路分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。镀膜产品多种多样，建筑五金中的门锁、卫浴五金，小件五金中的不锈钢餐具、眼镜框，大型工件的汽车轮毂、不锈钢板等，广泛的应用于各行各业中。由于镀膜产品的多样性及多变性，每对一种产品进行镀膜既需生产和对应的定位夹具，对于小批量、结构多变的试产产品而言，夹具的对应生产和提供易造成浪费的现象，进而提高生产成本，不利于企业节约生产成本的需求。
技术实现思路
为了解决所述现有技术的不足，本技术提供了一种镀膜基片夹具。本技术所要达到的技术效果通过以下方案实现：本技术提供的镀膜基片夹具，包括夹具底座和限位装置；所述夹具底座为负压腔体结构，且腔体上表面设有通孔；所述限位装置包括固设于所述夹具底座上表面的固定限位机构和与所述夹具底座活动连接的活动限位机构；所述固定限位机构为L型固定限位块，且L型开口朝向所述夹具底座的上表面；所述活动限位结构设于所述夹具底座侧边、与所述固定限位机构相对的位置上。进一步地，所述负压腔体结构为方柱腔结构。进一步地，所述负压腔体结构内部设有分隔板，将所述负压腔体结构内部分隔为独立的腔体结构，且每个腔体结构分别与抽真空装置相连。进一步地，所述腔体结构的数量为2-4个。进一步地，所述抽真空装置为真空泵。进一步地，所述通孔的直径为2-6mm。进一步地，所述L型固定限位块两L型边的长度为所述夹具底座的1/4-1/2。进一步地，所述活动限位机构包括丝杆结构和设于所述丝杆结构上的L型活动限位块。进一步地，所述L型活动限位块的宽度为所述夹具底座的1/4-1/2。进一步地，所述L型活动限位块底部的高度与所述夹具底座的高度一致，顶部的高度与所述固定限位机构的高度一致。本技术具有以下优点：本技术提供了一种镀膜基片夹具，可适应不同形状、尺寸镀膜基片的要求，对镀膜基片进行安全、稳定的夹持和定位。附图说明图1为本技术中镀膜基片夹具的整体结构示意图。附图标记说明如下：100、夹具底座；101、通孔；200、固定限位机构；300、活动限位机构；301、丝杆结构；302、L型活动限位块；400、抽真空装置。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进行详细的说明。本实施例中提供的镀膜基片夹具如附图1所示，包括夹具底座100和限位装置；夹具底座为负压腔体结构，且腔体上表面设有通孔101，通孔的直径为2-6mm。限位装置包括固设于夹具底座上表面的固定限位机构200和与夹具底座活动连接的活动限位机构300；固定限位机构为L型固定限位块，且L型开口朝向夹具底座的上表面，为进一步优化结构，L型固定限位块两L型边的长度为夹具底座的1/4-1/2。活动限位结构设于夹具底座侧边、与固定限位机构相对的位置上，包括丝杆结构301和设于丝杆结构上的L型活动限位块302。为进一步优化结构，L型活动限位块的宽度为夹具底座的1/4-1/2，L型活动限位块底部的高度与夹具底座的高度一致，顶部的高度与固定限位机构的高度一致。负压腔体结构为方柱腔结构。负压腔体结构内部设有分隔板（图中未标示），将负压腔体结构内部分隔为独立的腔体结构，且每个腔体结构分别与抽真空装置400相连，腔体结构的数量为2-4个。抽真空装置优选为真空泵。本技术的镀膜基片夹具采用上表面带有通孔的负压腔体结构作为夹具底座，可通过负压腔体结构的吸附作用，对薄片型、不宜通过夹具夹持的镀膜基片进行吸附和固定，避免了夹具应力对镀膜基片的损伤和破坏。为保证负压腔体结构的吸附作用的有效性和稳定性，优选通孔的直径为2-6mm。为适应不同尺寸的薄片型镀膜基片，负压腔体结构内设有分隔板，将负压腔体结构内部分隔为2-4个独立的腔体结构，且每个腔体结构分别与抽真空装置相连，当镀膜基片的尺寸小于夹具底座的尺寸时，只需开启与放置镀膜基片的独立腔体结构相连的抽真空装置，即可实现对镀膜基片的吸附定位。为了避免镀膜靶材进入未放置镀膜基片的夹具底座内部，只需采用可隔绝镀膜靶材的材料对夹具底座上表面的通孔进行遮挡即可。镀膜基片夹具采用固设于夹具底座上的固定限位机构和设于夹具底座侧边、与固定限位机构相对的位置上的活动限位机构来对镀膜基片进行夹持和定位。固定限位机构为设于夹具底座一角的L型固定限位块，可同时限制镀膜基片其中两个方向上的位置，对镀膜基片进行初步的定位；为进一步保证固定限位机构初步定位的有效性和稳定性，优选L型固定限位块两L型边的长度为夹具底座的1/4-1/2。活动限位结构包括一端固定于负压腔体结构上、一端设有T型把手的丝杆结构以及设于丝杆结构上的L型活动限位块，通过T型把手的旋转作用可实现L型活动限位块与夹具底座间距离的变化，从而对不同尺寸的镀膜基片进行完全的定位；为保证镀膜基片完全定位的有效性和稳定性，优选L型活动限位块的宽度为夹具底座的1/4-1/2，L型活动限位块底部的高度与夹具底座的高度一致，顶部的高度与固定限位机构的高度一致。从上述实施例的方案可以看出，本技术提供了一种镀膜基片夹具，可适应不同形状、尺寸镀膜基片的要求，对镀膜基片进行安全、稳定的夹持和定位。最后需要说明的是，以上实施例仅用以说明本技术实施例的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本技术实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解依然可以对本技术实施例的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本技术实施例技术方案的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜基片夹具，其特征在于：包括夹具底座和限位装置；所述夹具底座为负压腔体结构，且腔体上表面设有通孔；所述限位装置包括固设于所述夹具底座上表面的固定限位机构和与所述夹具底座活动连接的活动限位机构；所述固定限位机构为L型固定限位块，且L型开口朝向所述夹具底座的上表面；所述活动限位结构设于所述夹具底座侧边、与所述固定限位机构相对的位置上。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜基片夹具，其特征在于：包括夹具底座和限位装置；所述夹具底座为负压腔体结构，且腔体上表面设有通孔；所述限位装置包括固设于所述夹具底座上表面的固定限位机构和与所述夹具底座活动连接的活动限位机构；所述固定限位机构为L型固定限位块，且L型开口朝向所述夹具底座的上表面；所述活动限位结构设于所述夹具底座侧边、与所述固定限位机构相对的位置上。2.如权利要求1所述镀膜基片夹具，其特征在于：所述负压腔体结构为方柱腔结构。3.如权利要求1所述镀膜基片夹具，其特征在于：所述负压腔体结构内部设有分隔板，将所述负压腔体结构内部分隔为独立的腔体结构，且每个腔体结构分别与抽真空装置相连。4.如权利要求3所述镀膜基片夹具，其特征在于：所述腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：何小锐，郑健，
申请(专利权)人：深圳市派恩新材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44