【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种外转子结构的磁轴承涡轮真空分子泵,包括底座、外壳、电机、涡轮泵头、径向磁力轴承和轴向磁力轴承,其特征在于,所述涡轮泵头为中空的碗式结构,所述底座上固定设置有一芯轴,涡轮泵头同心倒扣在所述芯轴上,并且由芯轴构成所述电机定子,涡轮泵头构成所述电机转子,所述径向磁力轴承及所述轴向磁力轴承均设置在芯轴与涡轮泵头之间,涡轮泵头在径向和轴向磁力轴承支承下绕芯轴旋转。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:洪申平,赵雷,俞天野,沙宏磊,郝宇平,
申请(专利权)人:浙江飞旋科技有限公司,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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