一种外转子结构的磁轴承涡轮真空分子泵制造技术

技术编号:2167895 阅读:209 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种外转子结构的磁轴承涡轮真空分子泵,包括底座、外壳、电机、涡轮泵头、径向磁力轴承和轴向磁力轴承,底座上固定设置有一芯轴,碗式结构的涡轮泵头同心倒扣在所述芯轴上,并且由芯轴构成电机定子,涡轮泵头构成电机转子,径向磁力轴承及轴向磁力轴承均设置在芯轴与涡轮泵头之间。本发明专利技术分子泵较现有磁轴承分子泵少了一层结构,不但降低了加工成本,使加工、装配、维护更加容易,而且改善了整个泵的散热效果,改善了转子的动力学特性,使结构的模态频率大大升高,因而使得转子的支承更容易,也具有更为宽泛的稳定域度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种外转子结构的磁轴承涡轮真空分子泵,包括底座、外壳、电机、涡轮泵头、径向磁力轴承和轴向磁力轴承,其特征在于,所述涡轮泵头为中空的碗式结构,所述底座上固定设置有一芯轴,涡轮泵头同心倒扣在所述芯轴上,并且由芯轴构成所述电机定子,涡轮泵头构成所述电机转子,所述径向磁力轴承及所述轴向磁力轴承均设置在芯轴与涡轮泵头之间,涡轮泵头在径向和轴向磁力轴承支承下绕芯轴旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:洪申平赵雷俞天野沙宏磊郝宇平
申请(专利权)人:浙江飞旋科技有限公司
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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