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一种外转子结构的磁轴承涡轮真空分子泵制造技术
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文档序号:2167895
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本发明公开了一种外转子结构的磁轴承涡轮真空分子泵,包括底座、外壳、电机、涡轮泵头、径向磁力轴承和轴向磁力轴承,底座上固定设置有一芯轴,碗式结构的涡轮泵头同心倒扣在所述芯轴上,并且由芯轴构成电机定子,涡轮泵头构成电机转子,径向磁力轴承及轴向磁...
该专利属于浙江飞旋科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江飞旋科技有限公司授权不得商用。
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