一种使用外红外加热的蚀刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种使用外红外加热的蚀刻装置，包括箱体，所述箱体的前端面设置有观察窗，观察窗设置有两个，且观察窗之间关于箱体的垂直中心线相对称，所述箱体的一侧设置有入板托槽，且入板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接，所述箱体的另一侧设置有出板托槽，且出板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接，所述入板托槽的一侧设置有蚀刻液箱，所述蚀刻液箱的上方安装有水泵，所述蚀刻液箱上设置有蚀刻液箱壳，所述水泵进口管内壁的上方安装有外红外线灯，所述蚀刻液箱壳内壁的一侧安装有温控器保护罩。本实用新型专利技术加热速度快、受热均匀，节约百分之三十的电力消耗，节约了成本，缩短了加热时间。

An Etching Device Using External Infrared Heating

【技术实现步骤摘要】
一种使用外红外加热的蚀刻装置
本技术涉及蚀刻装置
，具体为一种使用外红外加热的蚀刻装置。
技术介绍
蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。随着客户对产品品质要求的不断提高，原有的工艺条件已不能适用于现有的要求，而蚀刻液提升温度对产品品质有着积极的促进作用，但市面上的蚀刻机不具备升温功能，因此市场急需研制一种使用外红外加热的蚀刻装置来帮助人们解决现有的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种使用外红外加热的蚀刻装置，以解决上述
技术介绍
中提出的市面上的蚀刻机不具备升温功能的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种使用外红外加热的蚀刻装置，包括箱体，所述箱体的前端面设置有观察窗，观察窗设置有两个，且观察窗之间关于箱体的垂直中心线相对称，所述箱体的一侧设置有入板托槽，且入板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接，所述箱体的另一侧设置有出板托槽，且出板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接，所述入板托槽和出板托槽的下方均安装有托槽支撑脚，所述入板托槽的一侧设置有蚀刻液箱，所述蚀刻液箱的上方安装有水泵，所述蚀刻液箱上设置有蚀刻液箱壳，所述蚀刻液箱壳的上端设置有蚀刻液箱进口管，所述蚀刻液箱进口管的一侧设置有水泵进口管，所述水泵进口管的下方设置有吸液软管，且吸液软管与水泵进口管之间密封连接，所述蚀刻液箱壳内壁的上方安装有外红外线灯，且外红外线灯与蚀刻液箱壳之间通过螺钉固定连接，所述蚀刻液箱壳内壁的一侧安装有温控器保护罩。优选的，所述水泵进口管的一端贯穿蚀刻液箱壳，且水泵进口管的一端延伸至蚀刻液箱壳的外部。优选的，所述温控器保护罩的内部安装有温控器，且温控器的一端贯穿并延伸至蚀刻液箱壳的外部，所述温控器与外红外线灯电性连接。优选的，所述蚀刻液箱壳的底部安装有蚀刻液箱支撑脚，蚀刻液箱支撑脚设置有六个，且蚀刻液箱支撑脚之间关于蚀刻液箱壳的垂直中心线相对称。优选的，所述蚀刻液箱壳的下端设置有蚀刻液箱出口管，且蚀刻液箱出口管与蚀刻液箱壳之间密封连接。优选的，所述外红外线灯包括灯罩、远红外石英电加热管和玻璃保护层，所述远红外石英电加热管位于灯罩的内部，所述远红外石英电加热管设置有九个，且远红外石英电加热管之间依次分布，所述玻璃保护层位于灯罩的前端面。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.该使用外红外加热的蚀刻装置通过设置远红外石英电加热管对蚀刻液进行加热，远红外石英电加热管无需远红外涂层，光谱辐射匹配吸收特性好，长期使用辐射性能不退变，电热转换效率高。比一般加热元件在生产效率上提高百分之二十，节电百分之三十，节省其他能源约百分之三十，升温快、受热均匀、热惯性小，耐高温、耐腐蚀，热化学性能稳定性好，使用寿命长，绝缘强度高，由于远红外加热是辐射加热，不会对环境造成污染，而且电热石英管其安全性高，对人体伤害小，是一种清洁型的加热器，符合现代生产高节奏、高品质的要求，通过它的设置可以节约百分之三十的电力消耗，节约了成本，缩短了加热时间，解决了蚀刻机不具备升温功能的问题。2.该使用外红外加热的蚀刻装置通过设置温控器通过蚀刻液的温度控制电路的通断，控温器是根据工作环境的温度变化，在开关内部发生物理形变，从而产生某些特殊效应，产生导通或者断开动作的一系列自动控制元件，其工作温度性能固定，不需调整、干脆、动作可靠、不拉弧、使用寿命长、无线电干扰少。通过它的设置实时检测蚀刻液的温度，其内部的双金属片会通过水温的变化产生热胀冷缩的物理特性，调整加热管的通路和断路，从而让蚀刻液的温度保持在恒温状态下。附图说明图1为本技术的一种使用外红外加热的蚀刻装置的主视图；图2为本技术的蚀刻液箱的结构示意图；图3为本技术的外红外线灯的结构示意图。图中：1箱体、；2、观察窗；3、入板托槽；4、出板托槽；5、托槽支撑脚；6、蚀刻液箱；7、水泵；8、蚀刻液箱壳；9、蚀刻液箱进口管；10、水泵进口管；11、吸液软管；12、外红外线灯；13、温控器；14、温控器保护罩；15、蚀刻液箱支撑脚；16、蚀刻液箱出口管；17、灯罩；18、远红外石英电加热管；19、玻璃保护层。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1-3，本技术提供的一种实施例：一种使用外红外加热的蚀刻装置，包括箱体1，箱体1的前端面设置有观察窗2，观察窗2设置有两个，且观察窗2之间关于箱体1的垂直中心线相对称，观察窗2的设置便可工作人员对箱体1内蚀刻过程进行观察，箱体1的一侧设置有入板托槽3，且入板托槽3与箱体1之间通过螺钉固定连接，螺钉连接便于入板托槽3与箱体1之间的安装拆缷，减少安装强度，也减少安装工技术含量，箱体1的另一侧设置有出板托槽4，且出板托槽4与箱体1之间通过螺钉固定连接，螺钉连接便于出板托槽4与箱体1之间的安装拆缷，减少安装强度，也减少安装工技术含量，入板托槽3和出板托槽4的下方均安装有托槽支撑脚5，托槽支撑脚5用于对入板托槽3和出板托槽4进行支撑，入板托槽3的一侧设置有蚀刻液箱6，蚀刻液箱6用于储存蚀刻液，蚀刻液箱6的上方安装有水泵7，水泵7用于把蚀刻液抽至箱体1内，蚀刻液箱6上设置有蚀刻液箱壳8，蚀刻液箱壳8的上端设置有蚀刻液箱进口管9，蚀刻液箱进口管9的一侧设置有水泵进口管10，水泵进口管10的下方设置有吸液软管11，且吸液软管11与水泵进口管10之间密封连接，通过密封连接可以有效的防止蚀刻液从管道接口处流出，蚀刻液箱壳8内壁的上方安装有外红外线灯12，且外红外线灯12与蚀刻液箱壳8之间通过螺钉固定连接，外红外线灯12用于对蚀刻液进行辐射加温，蚀刻液箱壳8内壁的一侧安装有温控器保护罩14，温控器保护罩14用于对温控器13进行保护。进一步，水泵进口管10的一端贯穿蚀刻液箱壳8，且水泵进口管10的一端延伸至蚀刻液箱壳8的外部，通过贯穿设置让蚀刻液可以通过水泵进口管10和吸液软管11的引导流入箱体1内。进一步，温控器保护罩14的内部安装有温控器13，且温控器13的一端贯穿并延伸至蚀刻液箱壳8的外部，温控器13与外红外线灯12电性连接，温控器13用于通过检测蚀刻液的温度控制外红外线灯12的通电和断电。进一步，蚀刻液箱壳8的底部安装有蚀刻液箱支撑脚15，蚀刻液箱支撑脚15设置有六个，且蚀刻液箱支撑脚15之间关于蚀刻液箱壳8的垂直中心线相对称，多个蚀刻液箱支撑脚15的设置给蚀刻液箱壳8提供了稳定的支撑。进一步，蚀刻液箱壳8的下端设置有蚀刻液箱出口管16，且蚀刻液箱出口管16与蚀刻液箱壳8之间密封连接，通过密封连接有效的防止了蚀刻液从连接的缝隙处流出。进一步，外红外线灯12包括灯罩17、远红外石英电加热管18和玻璃保护层19，远红外石英电加热管18位于灯罩17的内部，远红外石英电加热管18设置有九个，且远红外石英电加热管18之间依次分布，玻璃保护层19位于灯罩17的前端面，通过灯罩17对远红外石英电加热管18进行了保护和固定，通过玻璃保护层19的设置让远红外石英电加热管18发射的远红外线可以透过玻璃辐本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用外红外加热的蚀刻装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的前端面设置有观察窗(2)，观察窗(2)设置有两个，且观察窗(2)之间关于箱体(1)的垂直中心线相对称，所述箱体(1)的一侧设置有入板托槽(3)，且入板托槽(3)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接，所述箱体(1)的另一侧设置有出板托槽(4)，且出板托槽(4)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接，所述入板托槽(3)和出板托槽(4)的下方均安装有托槽支撑脚(5)，所述入板托槽(3)的一侧设置有蚀刻液箱(6)，所述蚀刻液箱(6)的上方安装有水泵(7)，所述蚀刻液箱(6)上设置有蚀刻液箱壳(8)，所述蚀刻液箱壳(8)的上端设置有蚀刻液箱进口管(9)，所述蚀刻液箱进口管(9)的一侧设置有水泵进口管(10)，所述水泵进口管(10)的下方设置有吸液软管(11)，且吸液软管(11)与水泵进口管(10)之间密封连接，所述蚀刻液箱壳(8)内壁的上方安装有外红外线灯(12)，且外红外线灯(12)与蚀刻液箱壳(8)之间通过螺钉固定连接，所述蚀刻液箱壳(8)内壁的一侧安装有温控器保护罩(14)。

【技术特征摘要】
1.一种使用外红外加热的蚀刻装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的前端面设置有观察窗(2)，观察窗(2)设置有两个，且观察窗(2)之间关于箱体(1)的垂直中心线相对称，所述箱体(1)的一侧设置有入板托槽(3)，且入板托槽(3)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接，所述箱体(1)的另一侧设置有出板托槽(4)，且出板托槽(4)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接，所述入板托槽(3)和出板托槽(4)的下方均安装有托槽支撑脚(5)，所述入板托槽(3)的一侧设置有蚀刻液箱(6)，所述蚀刻液箱(6)的上方安装有水泵(7)，所述蚀刻液箱(6)上设置有蚀刻液箱壳(8)，所述蚀刻液箱壳(8)的上端设置有蚀刻液箱进口管(9)，所述蚀刻液箱进口管(9)的一侧设置有水泵进口管(10)，所述水泵进口管(10)的下方设置有吸液软管(11)，且吸液软管(11)与水泵进口管(10)之间密封连接，所述蚀刻液箱壳(8)内壁的上方安装有外红外线灯(12)，且外红外线灯(12)与蚀刻液箱壳(8)之间通过螺钉固定连接，所述蚀刻液箱壳(8)内壁的一侧安装有温控器保护罩(14)。2.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置，其特征在于：所述水泵进口管(10)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李彦，耿朝辉，
申请(专利权)人：赫得纳米科技黄石有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42