【技术实现步骤摘要】
一种新式的氟气与惰性气体混合装置
本技术涉及气体混合
,具体来说,涉及一种用于氟气与惰性气体混合的装置。
技术介绍
氟气因其特殊的物理化学性质,应用越来越广泛,可作为氧化剂,氟化剂,冷冻剂,等离子蚀刻。但氟气的化学性质十分活泼,具有很强的氧化性,除全氟化合物外,可以与几乎所有有机物和无机物反应。实际应用时,需要先与其他惰性气体混合,降低氟气的浓度,保证运输和使用的安全。以现有方法混合气体都存在一定的不足,对于氟气的混合带来了困难,尤其是安全问题。现有方式基本是采用顺序充入目标气体到混合管道或混合罐中,根据不同组分的气体分压来控制配置的比例。如果各个组分的气体性质稳定,不存在腐蚀或可燃性,这样的方式是可行的。但如果用于特殊气体,如易燃易爆,高毒性或强氧化性气体,就十分危险。按照有关法规,氟气不能纯单质充装、运输和使用,必须混入其他惰性气体以降低风险后才能使用,如果用管道直接混合,需要对氟气加压,操作不当或有泄漏会造成氟气燃烧或发生爆炸;用混合罐混合,体积过大,如果采用通常方法,也要对氟气加压后混合其他惰性气体,由于氟气的特殊性质,其他气体充入有较高压力的氟气中 ...
【技术保护点】
1.一种新式的氟气与惰性气体混合装置,包括罐体(1),其特征在于,罐体(1)上部设有安全阀(3),罐体(1)中部的设有进气口一(2)和引样口(7),引样口(7)位于进气口一(2)的对侧,罐体(1)的下部设有出气口(5)和进气口二(8),罐体(1)底部设有支架(9)。
【技术特征摘要】
1.一种新式的氟气与惰性气体混合装置,包括罐体(1),其特征在于,罐体(1)上部设有安全阀(3),罐体(1)中部的设有进气口一(2)和引样口(7),引样口(7)位于进气口一(2)的对侧,罐体(1)的下部设有出气口(5)和进气口二(8),罐体(1)底部设...
【专利技术属性】
技术研发人员:林百志,张奎,刘彬,
申请(专利权)人:福建德尔科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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