吸附泵制造技术

技术编号:2152034 阅读:185 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种用于高真空下的吸附泵适用在诸如质谱仪这样的气体分析仪,该吸气泵包括一个包含大量吸气材料的壳体和一个位于壳体中气体入口处的扩散隔层。在真空分析仪系统中,气体分子穿过扩散隔层需要一限定的时间,这样就提供了一时间窗口,在此时间内,能对气体样品脉冲进行精确分析。(*该技术在2014年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一个应用在高真空下的吸附泵,包括:一个包含大量吸气材料的封闭壳体,所述壳体有一入口;把壳体连到一真空容器的连结装置,从而容器内的气体通过所述入口能与吸气材料相通;装在所述壳体入口的扩散装置,在气体被所述吸气材料吸附之前,气体分子 在一限定时期中穿过所述扩散装置。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:冈特沃斯
申请(专利权)人:利博德因菲康公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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