【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一个应用在高真空下的吸附泵,包括:一个包含大量吸气材料的封闭壳体,所述壳体有一入口;把壳体连到一真空容器的连结装置,从而容器内的气体通过所述入口能与吸气材料相通;装在所述壳体入口的扩散装置,在气体被所述吸气材料吸附之前,气体分子 在一限定时期中穿过所述扩散装置。
【技术特征摘要】
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