钛升华泵灯丝的除气工艺制造技术

本发明专利技术涉及钛升华泵在正常工作前，对钛丝进行的预处理方法。本发明专利技术的方法是在钛升华泵正常工作前，先给钛丝加除气电流，所加的除气电流在钛丝额定升华电流的二分之一至钛丝达临界升华的电流与１安培之差的范围内，除气时间不低于２４小时。采用这一工艺后可以使吸附于钛丝表面的气体及钛丝体内的气体充分放出，由涡轮分子泵机组排出真空系统外，从而使钛丝表面的气载降到最小，这样在泵进行正常工作时，即在钛丝升华后，可以使系统达到预期真空度。本发明专利技术最佳的钛丝除气电流为为额定钛丝升华电流的５６％。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
钛升华泵灯丝的除气工艺，给钛丝加除气电流，其特征在于所加的除气电流在钛丝额定升华电流的二分之一至钛丝临界升华的电流与１安培之差的范围内，除气时间不低于２４小时。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒙峻，杨晓天，张军辉，张喜平，胡振军，侯生军，郝斌干，
申请(专利权)人：中国科学院近代物理研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]