下载钛升华泵灯丝的除气工艺的技术资料

文档序号:2149209

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本发明涉及钛升华泵在正常工作前,对钛丝进行的预处理方法。本发明的方法是在钛升华泵正常工作前,先给钛丝加除气电流,所加的除气电流在钛丝额定升华电流的二分之一至钛丝达临界升华的电流与1安培之差的范围内,除气时间不低于24小时。采用这一工艺后可以...
该专利属于中国科学院近代物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院近代物理研究所授权不得商用。

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