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下载吸附泵的技术资料

文档序号:2152034

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一种用于高真空下的吸附泵适用在诸如质谱仪这样的气体分析仪,该吸气泵包括一个包含大量吸气材料的壳体和一个位于壳体中气体入口处的扩散隔层。在真空分析仪系统中,气体分子穿过扩散隔层需要一限定的时间,这样就提供了一时间窗口,在此时间内,能对气体样品...
该专利属于利博德.因菲康公司所有,仅供学习研究参考,未经过利博德.因菲康公司授权不得商用。

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