用于微型泵的微加工过滤器制造技术

一种微型泵（１１），包括至少两个限定一个泵室（９）的板件（１０，１２）和一个过滤器，过滤器包括液体供给件、液体收集件、第二板件（１０）和硅板件（１２；１５）。第二板件（１０）及硅板件（１２；１５）彼此相对，其间形成一个用于接纳液体的腔室（１３），所述腔室（１３）由至少一个横向隔板（２０；２０′）加以局部节流，这种隔板的高度小于腔室（１３）的深度，把腔室（１３）分成相对于隔板的一个上游部分和一个下游部分。所述硅板件（１２；１５）至少局部密封地固定在第二板件（１０）上，腔室（１３）的下游部分与泵室（９）相连通，包括所有板件（１０，１２）的装置形成一种夹层结构。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于微型泵（１１）的微加工过滤器，所述微型泵包括至少两个构成限定一个泵室（９）的板（１０，１２）的第一部件， 其特征在于，所述过滤器包括液体供给件、液体收集件、形成板（１０）的第二部件和形成硅板（１２；１５）的部件，所述形成板（１０）的第二部件以及所述形成硅板（１２；１５）的部件分别相对，其间形成一个用于接纳液体的腔室（１３），所述腔室（１３）由至少一个横向隔板（２０；２０′）加以局部节流，这种隔板的高度小于腔室（１３）的深度，把腔室（１３）分成相对于所述隔板的一个上游部分和一个下游部分，所述形成硅板（１２；１５）的部件至少局部密封地固定在所述形成板（１０）的第二部件上， 其特...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：哈拉尔德范林特尔，伊顺伦基，
申请(专利权)人：威斯顿布里奇国际有限公司，
类型：发明
国别省市：IE[爱尔兰]