微加工流体装置及制造方法制造方法及图纸

微加工的流体装置（１０，３０），它包括一个具有流动管（１４，３４）的基体（１２，３２），及一个可变形薄层（１８，３８），例如一个泵送膜和一个形成阀门的膜，其特征在于，所述薄层（１８，３８）是一个轧制金属片。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种微型加工的流体装置和它的制造方法，所述装置包括一个具有一个流动管的基体和一个形成可变形薄膜的薄层。一种这样的装置例如是控制液体进入/流出的器件，可用来作为止回阀，或用于微型泵中。例如，人们在定期输送一定量的药品的医用微型泵(但不是唯一的)中遇到这类阀。这些微型泵的制造以硅的微型加工方法为基础，并使用压电传动装置。国际专利申请PCT/IB95/00028介绍了一种自吸式微型泵。使用这种泵、及在其它情况下，需要有一种输入阀，有时还需要一个输出阀，要求其泄漏率最小，甚至为零。阀的这种泄漏率相当于薄膜处于静止位置，即薄膜关闭时穿过阀的液体流量。另外，由于阀是靠薄膜的弹性工作的，当足够的流体压力注入到阀的入口时，这种弹性使薄膜产生变形，因而在制造阀门时不破坏薄膜的表面和整体状态，以得到内应力最小的薄膜是很重要的。本专利技术的目的是提供一种输入/输出液体的装置，这种装置在阀门处于关闭位置时泄漏率最低，并且这种装置的加工方法使薄膜具有良好的物理特性并几乎没有内应力。当用一个薄金属层覆盖一个基体出现问题时，可以使用多种方法。可以通过蒸发或阴极喷涂技术把金属薄层覆盖在基体上。但本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：迪迪耶·马耶费，菲利普·勒诺，
申请(专利权)人：威斯顿布里奇国际有限公司，
类型：发明
国别省市：