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微加工的流体装置（１０，３０），它包括一个具有流动管（１４，３４）的基体（１２，３２），及一个可变形薄层（１８，３８），例如一个泵送膜和一个形成阀门的膜，其特征在于，所述薄层（１８，３８）是一个轧制金属片。...
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