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一种微型泵（１１），包括至少两个限定一个泵室（９）的板件（１０，１２）和一个过滤器，过滤器包括液体供给件、液体收集件、第二板件（１０）和硅板件（１２；１５）。第二板件（１０）及硅板件（１２；１５）彼此相对，其间形成一个用于接纳液体的腔室（１...
该专利属于威斯顿布里奇国际有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威斯顿布里奇国际有限公司授权不得商用。

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