一种均匀度高的曝光机制造技术

技术编号:21515384 阅读:56 留言:0更新日期:2019-07-03 09:26
本实用新型专利技术公开了一种均匀度高的曝光机,包括有机架、控制系统、玻璃载物台、UV‑LED光源模组以及UV光学检测装置,玻璃载物台由输送装置驱动,控制系统均与输送装置、UV‑LED光源模组以及UV光学检测装置电性连接,UV‑LED光源模组包括有多颗阵列式排列的UVLED以及复眼透镜组,每颗UVLED均在其正前方安装有一组聚光透镜组,输送装置上安装有平面光镜,玻璃载物台的上下两侧对称设置有两组曲面反光镜,UV光学检测装置包括有检测机构以及阻值调节模块,检测机构包括有多个感光元件,用以对UVLED的照度进行检测;阻值调节模块用以调节与UVLED电性连接的阻值的大小。本实用新型专利技术提供的一种均匀度高的曝光机,可以提高曝光机的均匀度,达到满足用户需求的目的。

A High Uniformity Exposure Machine

【技术实现步骤摘要】
一种均匀度高的曝光机
本技术涉及曝光机
,尤其涉及一种均匀度高的曝光机。
技术介绍
目前采用UVLED取代传统汞灯已经提上日程,其高效的节能和50倍于汞灯的使用寿命是其最大的优势,但是就目前而言,采用UVLED存在技术上的不成熟,也即均匀照度问题,传统汞灯虽然有诸多缺点,但是汞灯发光的原理决定其均匀度极高,完全满足PCB生产的要求。而要采用多颗UVLED组成的面阵光源取代汞灯,均匀性是极大的挑战,如果不解决光源的均匀度问题,UVLED在PCB行业的曝光机就不可能得到大面积的推广。
技术实现思路
为解决现有技术的缺点和不足,提供一种均匀度高的曝光机,从而提高曝光机的均匀度,达到满足用户需求的目的。为实现本技术目的而提供的一种均匀度高的曝光机,包括有机架、控制系统、玻璃载物台、UV-LED光源模组以及UV光学检测装置,所述玻璃载物台由输送装置驱动,所述控制系统均与所述输送装置、UV-LED光源模组以及UV光学检测装置电性连接,所述UV-LED光源模组位于输送装置上方并且固定安装在所述机架上,所述UV-LED光源模组包括有多颗阵列式排列的UVLED以及复眼透镜组,每颗UVLED均在其正前方安装有一组聚光透镜组,所述复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置而成,每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜,所述输送装置上安装有平面光镜,通过该输送装置调整平面光镜位置,以改变紫外线光束的方向,所述玻璃载物台的上下两侧对称设置有两组曲面反光镜,两组所述曲面反光镜分别对平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整,用以将扇形分布的光束转变为平行光束,反射到玻璃载物台上;所述UV光学检测装置包括有检测机构以及阻值调节模块,所述检测机构与所述阻值调节模块均与所述控制系统电性连接,所述检测机构包括有多个感光元件,所述感光元件与所述UVLED对应设置,分别用以对所述UVLED的照度进行检测;所述阻值调节模块设置有多个,分别与所述UVLED电性连接,所述阻值调节模块用以调节与所述UVLED电性连接的阻值的大小。作为上述方案的进一步改进,所述UV-LED光源模组的一端设置有一冷却液入口,另一端设置有一冷却液出口。作为上述方案的进一步改进,所述输送装置安装在机架内部,所述机架设置有入口与出口,所述输送装置的一端设置在入口处,所述输送装置的另一端设置在出口处。作为上述方案的进一步改进,还包括有恒温装置,所述恒温装置包括有温度传感器和加热器,所述温度传感器电性连接于所述控制系统,所述加热器电性连接于所述控制系统。作为上述方案的进一步改进,多颗阵列式排列的UVLED为矩形或者菱形排列,所发射的紫外光束,经过聚光透镜组聚光成为平行或者趋近于平行的光束,并且垂直或者趋近于垂直照射在正前方的复眼透镜组上。本技术的有益效果是:与现有技术相比,本技术提供的一种均匀度高的曝光机,将UV-LED光源模组设置为多颗阵列式排列的UVLED,使得UV-LED光源模组在各个位置都有光投射出,工作的时候,UV-LED光源模组发射出小角度的紫外光束,照射到正前方的复眼透镜组上,紫外光束经过复眼透镜组光学整形,光束的均匀度得到有效提高,发射出扇形状均匀的紫外光束,通过切换平面光镜的位置,可以使得紫外光束分别照射到两组对称的大型曲面反光镜上,对紫外光束进行角度调整,将扇形分布的光束转变为平行光束,反射到玻璃载物台上,实现对玻璃载物台上的安装有菲林片的PCB板正反面曝光,实现精确的影响转移,此外,本技术的UV光学检测装置包括有检测机构以及阻值调节模块,检测机构包括有多个感光元件,感光元件与UVLED对应设置,分别用以对UVLED的照度进行检测,感光元件将检测的结果传送至控制系统,控制系统控制阻值调节模块,调节与UVLED电性连接的阻值的大小,进而实现调节UVLED照度的目的。本技术提供的一种均匀度高的曝光机,可以提高曝光机的均匀度,达到满足用户需求的目的。附图说明以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的详细说明,其中:图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的UVLED与透镜之间的构造示意图。具体实施方式如图1、图2所示,本技术提供的一种均匀度高的曝光机,包括有机架1、控制系统2、玻璃载物台3、UV-LED光源模组4以及UV光学检测装置,玻璃载物台3由输送装置5驱动,控制系统2均与输送装置5、UV-LED光源模组4以及UV光学检测装置电性连接,UV-LED光源模组4位于输送装置5上方并且固定安装在机架1上,UV-LED光源模组4包括有多颗阵列式排列的UVLED以及复眼透镜组6,每颗UVLED均在其正前方安装有一组聚光透镜组,复眼透镜组6由两片形状相似的复眼透镜平行放置而成,每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜,输送装置5上安装有平面光镜7,通过该输送装置5调整平面光镜7位置,以改变紫外线光束的方向,玻璃载物台3的上下两侧对称设置有两组曲面反光镜8,两组曲面反光镜8分别对平面光镜7的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整,用以将扇形分布的光束转变为平行光束,反射到玻璃载物台3上;UV光学检测装置包括有检测机构以及阻值调节模块,检测机构与阻值调节模块均与控制系统2电性连接,检测机构包括有多个感光元件,感光元件与UVLED对应设置,分别用以对UVLED的照度进行检测;阻值调节模块设置有多个,分别与UVLED电性连接,阻值调节模块用以调节与UVLED电性连接的阻值的大小。进一步改进,UV-LED光源模组4的一端设置有一冷却液入口,另一端设置有一冷却液出口,对UV-LED光源模组4进行降温、冷却。进一步改进,输送装置5安装在机架1内部,机架1设置有入口与出口,输送装置5的一端设置在入口处,输送装置5的另一端设置在出口处。此外,本技术还包括有恒温装置,恒温装置包括有温度传感器9和加热器10,温度传感器9电性连接于控制系统2,加热器10电性连接于控制系统2,温度传感器9将检测到的温度传递给控制系统2,控制系统2与设定的温度值进行比较,开启或者关闭加热器10。进一步改进,多颗阵列式排列的UVLED为矩形或者菱形排列,所发射的紫外光束,经过聚光透镜组聚光成为平行或者趋近于平行的光束,并且垂直或者趋近于垂直照射在正前方的复眼透镜组6上。与现有技术相比,本技术提供的一种均匀度高的曝光机,将UV-LED光源模组4设置为多颗阵列式排列的UVLED,使得UV-LED光源模组4在各个位置都有光投射出,工作的时候,UV-LED光源模组4发射出小角度的紫外光束,照射到正前方的复眼透镜组6上,紫外光束经过复眼透镜组6光学整形,光束的均匀度得到有效提高,发射出扇形状均匀的紫外光束,通过切换平面光镜7的位置,可以使得紫外光束分别照射到两组对称的大型曲面反光镜8上,对紫外光束进行角度调整,将扇形分布的光束转变为平行光束,反射到玻璃载物台3上,实现对玻璃载物台3上的安装有菲林片的PCB板正反面曝光,实现精确的影响转移,此外,本技术的UV光学检测装置包括有检测机构以及阻值调节模块,检测机构包括有多个感光元件,感光元件与UVLED对应设置,分别用以对UVLED的照度进行检测,感光元件将检测的结果传送至控制系统2,控制系统2控制阻值调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种均匀度高的曝光机,其特征在于:包括有机架、控制系统、玻璃载物台、UV‑LED光源模组以及UV光学检测装置,所述玻璃载物台由输送装置驱动,所述控制系统均与所述输送装置、UV‑LED光源模组以及UV光学检测装置电性连接,所述UV‑LED光源模组位于输送装置上方并且固定安装在所述机架上,所述UV‑LED光源模组包括有多颗阵列式排列的UVLED以及复眼透镜组,每颗UVLED均在其正前方安装有一组聚光透镜组,所述复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置而成,每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜,所述输送装置上安装有平面光镜,通过该输送装置调整平面光镜位置,以改变紫外线光束的方向,所述玻璃载物台的上下两侧对称设置有两组曲面反光镜,两组所述曲面反光镜分别对平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整,用以将扇形分布的光束转变为平行光束,反射到玻璃载物台上;所述UV光学检测装置包括有检测机构以及阻值调节模块,所述检测机构与所述阻值调节模块均与所述控制系统电性连接,所述检测机构包括有多个感光元件,所述感光元件与所述UVLED对应设置,分别用以对所述UVLED的照度进行检测;所述阻值调节模块设置有多个,分别与所述UVLED电性连接,所述阻值调节模块用以调节与所述UVLED电性连接的阻值的大小。...

【技术特征摘要】
1.一种均匀度高的曝光机,其特征在于:包括有机架、控制系统、玻璃载物台、UV-LED光源模组以及UV光学检测装置,所述玻璃载物台由输送装置驱动,所述控制系统均与所述输送装置、UV-LED光源模组以及UV光学检测装置电性连接,所述UV-LED光源模组位于输送装置上方并且固定安装在所述机架上,所述UV-LED光源模组包括有多颗阵列式排列的UVLED以及复眼透镜组,每颗UVLED均在其正前方安装有一组聚光透镜组,所述复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置而成,每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜,所述输送装置上安装有平面光镜,通过该输送装置调整平面光镜位置,以改变紫外线光束的方向,所述玻璃载物台的上下两侧对称设置有两组曲面反光镜,两组所述曲面反光镜分别对平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整,用以将扇形分布的光束转变为平行光束,反射到玻璃载物台上;所述UV光学检测装置包括有检测机构以及阻值调节模块,所述检测机构与所述阻值调节模块均与所述控制系统电性连接,所述检测机构包括有多个感光元件,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:周华隆唐庭敏
申请(专利权)人:珠海市联健电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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