下载一种均匀度高的曝光机的技术资料

文档序号:21515384

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本实用新型公开了一种均匀度高的曝光机,包括有机架、控制系统、玻璃载物台、UV‑LED光源模组以及UV光学检测装置,玻璃载物台由输送装置驱动,控制系统均与输送装置、UV‑LED光源模组以及UV光学检测装置电性连接,UV‑LED光源模组包括有多...
该专利属于珠海市联健电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海市联健电子科技有限公司授权不得商用。

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