一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于：所述变温四探针测量装置包括变温台，通过四个中间柱固定安装在变温箱上，并与所述变温箱电性连接，所述变温台上方设置有探针，所述探针固定安装在探针安装头上，所述探针安装头固定安装在转轴上，所述转轴插装在第一齿轮上，所述第一齿轮位于齿轮箱中，所述齿轮箱中还安装着第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第二齿轮又固定安装在第二电动机的电机轴上，所述第二电动机固定安装在固定板上，所述固定板固定安装在第三连杆，所述第三连杆通过转轴分别与第二连杆、所述变温台连接；本实用新型专利技术能控制温度，导杆能摆动，而且探针能360°旋转。

A Variable Temperature Probe Measuring Device Based on Swinging Guide Rod

【技术实现步骤摘要】
一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置
本技术涉及一种变温四探针测量装置，具体涉及一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置。
技术介绍
数字式四探针测量装置是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。数字式四探针测量装置用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析数字式四探针测量装置采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。但现有的数字式四探针测量装置，不能控制温度，导杆是固定的，不能摆动，而且探针不能360°旋转。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，能控制温度，导杆能摆动，而且探针能360°旋转。一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于：所述变温四探针测量装置包括变温台，通过四个中间柱固定安装在变温箱上，并与所述变温箱电性连接，所述变温台上方设置有探针，所述探针固定安装在探针安装头上，所述探针安装头固定安装在转轴上，所述转轴插装在第一齿轮上，所述第一齿轮位于齿轮箱中，所述齿轮箱中还安装着第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第二齿轮又固定安装在第二电动机的电机轴上，所述第二电动机固定安装在固定板上，所述固定板固定安装在第三连杆，所述第三连杆通过转轴分别与第二连杆、所述变温台连接，所述第二连杆通过转轴与第一连杆连接，所述第一连杆通过转轴与所述变温台和第一电动机连接，所述第一电动机固定安装在基座上，所述基座与所述变温箱连接。进一步地，所述变温箱上设置显示屏，显示所述变温台的温度。进一步地，所述变温箱上还设置电源开关，控制所述变温台的开启与关闭。进一步地，所述变温箱上还设置温度调节旋钮，调节所述变温台的温度。进一步地，所述齿轮箱固定安装在所述固定板上。进一步地，所述中间柱分布在所述变温台1的四角处。进一步地，所述中间柱由隔温材料制成。进一步地，所述隔温材料包括以下至少之一：玻璃纤维、石棉、岩棉、硅酸盐、气凝胶毡、真空板。进一步地，所述显示屏12为液晶显示屏。本技术的有益效果在于：本装置结构简单，设计巧妙，本装置通过变温箱控制变温台温度，使本装置可以根据需调节变温台的温度；本装置利用齿轮，使本装置的探针可以360°旋转，同时又利用齿轮的传动，使本装置在旋转的过程中稳定性好；本装置利用第一连杆、第二连杆、第三连杆和变温台组成四杆机构，使本装置的导杆能左右摆动，增加本装置的测量范围。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的结构示意图；图3为本技术的局部剖视图。图中变温台1、变温箱2、基座3、第一电动机4、第一连杆5、第二连杆6、第二电动机7、齿轮箱8、探针安装头9、探针10、第三连杆11、显示屏12、电源开关13、温度调节旋钮14、第一齿轮15、第二齿轮16。具体实施方式以下为本技术的较佳实施方式，但并不因此而限定本技术的保护范围。一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于：所述变温四探针测量装置包括变温台1，通过四个中间柱固定安装在变温箱2上，并与所述变温箱2电性连接，所述变温台1上方设置有探针10，所述探针10固定安装在探针安装头9上，所述探针安装头9固定安装在转轴上，所述转轴插装在第一齿轮15上，所述第一齿轮15位于齿轮箱8中，所述齿轮箱8中还安装着第二齿轮16，所述第二齿轮16与所述第一齿轮15相互啮合，所述第二齿轮16又固定安装在第二电动机7的电机轴上，所述第二电动机7固定安装在固定板上，所述固定板固定安装在第三连杆11，所述第三连杆11通过转轴分别与第二连杆6、所述变温台1连接，所述第二连杆6通过转轴与第一连杆5连接，所述第一连杆5通过转轴与所述变温台1和第一电动机4连接，所述第一电动机4固定安装在基座3上，所述基座3与所述变温箱2连接。进一步地，所述变温箱2上设置显示屏12，显示所述变温台1的温度，所述显示屏12为液晶显示屏，所述变温箱2上还设置电源开关13，控制所述变温台1的开启与关闭，所述变温箱2上还设置温度调节旋钮14，调节所述变温台1的温度；所述齿轮箱8固定安装在所述固定板上；所述中间柱分布在所述变温台1的四角处，所述中间柱由隔温材料制，所述隔温材料包括以下至少之一：玻璃纤维、石棉、岩棉、硅酸盐、气凝胶毡、真空板。本技术设计了一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置：本装置结构简单，设计巧妙，本装置通过变温箱控制变温台温度，使本装置可以根据需调节变温台的温度；本装置利用齿轮，使本装置的探针可以360°旋转，同时又利用齿轮的传动，使本装置在旋转的过程中稳定性好；本装置利用第一连杆、第二连杆、第三连杆和变温台组成四杆机构，使本装置的导杆能左右摆动，增加本装置的测量范围。以上仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于：所述变温式探针测量装置包括变温台，通过四个中间柱固定安装在变温箱上，并与所述变温箱电性连接，所述变温台上方设置有探针，所述探针固定安装在探针安装头上，所述探针安装头固定安装在转轴上，所述转轴插装在第一齿轮上，所述第一齿轮位于齿轮箱中，所述齿轮箱中还安装着第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第二齿轮又固定安装在第二电动机的电机轴上，所述第二电动机固定安装在固定板上，所述固定板固定安装在第三连杆，所述第三连杆通过转轴分别与第二连杆、所述变温台连接，所述第二连杆通过转轴与第一连杆连接，所述第一连杆通过转轴与所述变温台和第一电动机连接，所述第一电动机固定安装在基座上，所述基座与所述变温箱连接。

【技术特征摘要】
1.一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于：所述变温式探针测量装置包括变温台，通过四个中间柱固定安装在变温箱上，并与所述变温箱电性连接，所述变温台上方设置有探针，所述探针固定安装在探针安装头上，所述探针安装头固定安装在转轴上，所述转轴插装在第一齿轮上，所述第一齿轮位于齿轮箱中，所述齿轮箱中还安装着第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第二齿轮又固定安装在第二电动机的电机轴上，所述第二电动机固定安装在固定板上，所述固定板固定安装在第三连杆，所述第三连杆通过转轴分别与第二连杆、所述变温台连接，所述第二连杆通过转轴与第一连杆连接，所述第一连杆通过转轴与所述变温台和第一电动机连接，所述第一电动机固定安装在基座上，所述基座与所述变温箱连接。2.根据权利要求1所述的一种基于摆动导杆的变温式探针测量装置，其特征在于，所述变温箱上设置显示屏，显示所述变温台的温度。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琦，
申请(专利权)人：杭州新龙化工有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33