一种真空镀膜用夹具制造技术

技术编号:21490847 阅读:44 留言:0更新日期:2019-06-29 08:52
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜用夹具,涉及工装夹具领域。该夹具包括底座、自转机构、支撑柱、压紧机构、定位环、第一夹盖、第二夹盖组成。装夹工件时,工件位于第一夹盖和第二夹盖之间,并通过压紧机构抵紧。进行镀膜时,工件在自转机构的带动下,在夹具上进行公转和自转,且夹具自身也绕镀膜设备内的工件转架进行公转,以此实现三维转动,使得工件可以均匀地沉积上膜层。该真空镀膜夹具装夹方便、稳固,工件上膜层均匀。可快速装夹无内孔、无挂孔的工件,对存在非镀膜区的工件也可以提供可靠的遮蔽保护,且工件在镀膜设备内可以实现三维转动,在工件的待镀膜区上实现均匀镀膜,保证镀膜过程中工件的质量、膜层的性能和稳定性,提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用夹具
本技术涉及工装夹具领域,具体而言,涉及一种真空镀膜用夹具。
技术介绍
物理气相沉积(PVD)技术作为一种清洁的干法镀膜技术,既不产生“三废”(废水、废气、废渣)污染,又能获得良好性能的涂层,现在被越来越广泛的运用于各行各业。许多种类的工件为了提高其性能和使用寿命,都会有表面处理的需求。近年来,随着表面处理技术的发展,对涂层的质量的要求也越来越高,对于外观、厚度、均匀性和表面的镀膜范围等都有严格的要求。其中,一些形状特殊的中、小型工件在兼顾膜层的厚度、均匀性、外观的前提下,往往会十分难以稳固的装夹,或者对工件的非镀膜区不能进行有效的保护。为此,需要设计一种工装夹具,既能实现对工件快速、稳固的装夹和卸载,提高生产效率,又能保障膜层的质量,提高膜层的品质。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空镀膜用夹具,该真空镀膜夹具可靠、使用效果好、能有效提高生产效率和成品率的用于难装夹工件的真空镀膜夹具。本技术的实施例是这样实现的:一种真空镀膜用夹具,包括:底座,底座开设有第一通孔;支撑柱,支撑柱设置于底座;定位环,支撑柱的第一端与底座固定连接,支撑柱的第二端与定位环固定连接,定位环本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜用夹具,其特征在于,包括:底座,所述底座开设有第一通孔;支撑柱,所述支撑柱设置于所述底座;定位环,所述支撑柱的第一端与所述底座固定连接,所述支撑柱的第二端与所述定位环固定连接,所述定位环开设有与所述第一通孔相对的第二通孔,所述第一通孔和所述第二通孔用于与镀膜设备的工件转架配合;压紧机构,所述压紧机构设置于所述定位环的下方;第一夹盖,所述第一夹盖与所述压紧机构传动连接;第二夹盖,所述第二夹盖设置于所述底座上方,且与所述第一夹盖相对,所述第一夹盖和所述第二夹盖之间形成用于容放工件的容腔;其中,所述压紧机构被配置为当所述工件放入所述容腔时,向所述第一夹盖施加朝向所述第二夹盖方向的作用...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用夹具,其特征在于,包括:底座,所述底座开设有第一通孔;支撑柱,所述支撑柱设置于所述底座;定位环,所述支撑柱的第一端与所述底座固定连接,所述支撑柱的第二端与所述定位环固定连接,所述定位环开设有与所述第一通孔相对的第二通孔,所述第一通孔和所述第二通孔用于与镀膜设备的工件转架配合;压紧机构,所述压紧机构设置于所述定位环的下方;第一夹盖,所述第一夹盖与所述压紧机构传动连接;第二夹盖,所述第二夹盖设置于所述底座上方,且与所述第一夹盖相对,所述第一夹盖和所述第二夹盖之间形成用于容放工件的容腔;其中,所述压紧机构被配置为当所述工件放入所述容腔时,向所述第一夹盖施加朝向所述第二夹盖方向的作用力,使得所述工件被夹紧。2.根据权利要求1所述的真空镀膜用夹具,其特征在于:所述真空镀膜用夹具包括一一对应设置的多个压紧机构、多个第一夹盖以及多个第二夹盖,且多个所述压紧机构呈圆周阵列设置于所述定位环的下方。3.根据权利要求2所述的真空镀膜用夹具,其特征在于:所述真空镀膜用夹具还包括多个自转机构,多个所述自转机构与多个所述压紧机构一一对应地同轴线设置,且多个所述自转机构沿所述底座的周向边缘依次设置,多个所述第二夹盖一一对应地设置于多个所述自转机构的上方,每个所述自转机构均被配置为在所述镀膜设备的工件转架的驱动下带动所述第二夹盖、所述工件以及所述第一夹盖沿所述自转机构的轴线进行自转。4.根据权利要求3所述的真空镀膜用夹具,其特征在于:所述自转机构为行星轮机构或拨轮-拨叉机构。5.根据权利要求4所述的真空镀膜用夹具,其特征在于:每个所述自转机构均包括拨叉、拨轮、自转轴以及定位板,多个所述自转机构...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏一凡李洪林松盛石倩韦春贝郭朝乾唐鹏利进杰
申请(专利权)人:广东省新材料研究所
类型:新型
国别省市:广东,44

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