蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其中蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于蒸镀腔体内，蒸镀装置用于蒸镀有机材料；填料腔体，与蒸镀腔体衔接，填料腔体用于存放有机材料；真空阀门，设置于蒸镀腔体与填料腔体之间，真空阀门用于蒸镀腔体与填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于填料腔体内，送料装置用于在真空阀门打开时将填料腔体内的有机材料输送至蒸镀装置内；以及传感器，设置于蒸镀腔体内，传感器用于控制真空阀门的开启和关闭及送料装置送料。本实用新型专利技术可完全做到真空状态下进行填料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀设备
本技术涉及一种蒸镀设备，特别是涉及一种在真空环境中可自动填充有机材料的蒸镀设备。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二级管，简称OLED)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，己被列为极具发展前景的下一代显示技术。在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在玻璃基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。蒸镀工艺按照蒸镀源(蒸镀材料的加热装置)的类型可分为点源蒸镀和线源蒸镀，其中点源蒸镀技术发展较为成熟，已经在生产线实现了量产。真空度和蒸镀温度是蒸镀工艺中的重要技术指标，现有技术中，当需要向蒸镀室内添加蒸镀源时，需要先停止生产，使设备降温并破真空而在大气环境下进行加填料动作，当蒸镀源添加完毕后需要再次对蒸镀室抽真空并加热蒸镀源。可见，现有的蒸镀设备无法持续保持真空状态进行连续蒸镀，生产效率较低，影响蒸镀机的生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其特征在于，所述蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于所述蒸镀腔体内，所述蒸镀装置用于蒸镀所述有机材料；填料腔体，与所述蒸镀腔体衔接，所述填料腔体用于存放所述有机材料；真空阀门，设置于所述蒸镀腔体与所述填料腔体之间，所述真空阀门用于所述蒸镀腔体与所述填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于所述填料腔体内，所述送料装置用于在所述真空阀门打开时将所述填料腔体内的所述有机材料输送至所述蒸镀装置内；以及传感器，设置于所述蒸镀腔体内，所述传感器用于控制所述真空阀门的开启和关闭及所述送料装置送料；其中，当所述送料装置输送所述有机材料时，...

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其特征在于，所述蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于所述蒸镀腔体内，所述蒸镀装置用于蒸镀所述有机材料；填料腔体，与所述蒸镀腔体衔接，所述填料腔体用于存放所述有机材料；真空阀门，设置于所述蒸镀腔体与所述填料腔体之间，所述真空阀门用于所述蒸镀腔体与所述填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于所述填料腔体内，所述送料装置用于在所述真空阀门打开时将所述填料腔体内的所述有机材料输送至所述蒸镀装置内；以及传感器，设置于所述蒸镀腔体内，所述传感器用于控制所述真空阀门的开启和关闭及所述送料装置送料；其中，当所述送料装置输送所述有机材料时，所述填料腔体与所述蒸镀腔体的真空度相同。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括设置于所述蒸镀腔体内的磁板和金属屏蔽板，所述磁板与所述蒸镀腔体上端连接，所述玻璃基板设置于所述磁板下方，所述金属屏蔽板设置于所述玻璃基板下方，所述磁板、玻璃基板和金属屏蔽板位于所述蒸镀装置上方。3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括有机材料控制器，与所述蒸镀装置电性连接，所述有机材料控制器用于控制所述蒸镀装置的蒸镀。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉宸，
申请(专利权)人：陕西坤同半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61