镀膜机修正板及蒸发镀膜机制造技术

本实用新型专利技术属于镀膜设备技术领域，涉及一种镀膜机修正板及蒸发镀膜机。该镀膜机修正板包括母板、第一子板、第一控制杆、第二子板以及第二控制杆，所述母板具有相对设置的第一边缘和第二边缘，所述第一控制杆的靠近所述第二边缘的一端转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的靠近所述第一边缘的一端转动连接在所述第一子板上，所述第二控制杆的靠近所述第一边缘的一端转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的靠近所述第二边缘的一端转动连接在所述第二子板上，所述第一子板覆盖所述第一边缘并沿所述第一边缘的长度方向延伸，所述第二子板覆盖所述第二边缘并沿所述第二边缘的长度方向延伸。该镀膜机修正板可更加精确地调节其大小，提高修正效率。

Correction Plate of Coating Machine and Evaporation Coating Machine

The utility model belongs to the technical field of coating equipment, and relates to a correction plate of a coating machine and an evaporative coating machine. The correcting plate of the coating machine includes a motherboard, a first daughterboard, a first control rod, a second daughterboard and a second control rod. The motherboard has relatively arranged first and second edges. One end of the first control rod near the second edge is rotatably connected to the motherboard, and one end of the first control rod near the first edge is rotatably connected to the first daughterboard. Above, one end of the second control rod near the first edge is rotated and connected to the motherboard. One end of the second control rod near the second edge is rotated and connected to the second sub-board. The first sub-board covers the first edge and extends along the length direction of the first edge. The second sub-board covers the second edge and along the second edge. It extends in the direction of length. The correcting plate of the coating machine can adjust its size more accurately and improve the correcting efficiency.

【技术实现步骤摘要】
镀膜机修正板及蒸发镀膜机
本技术属于镀膜设备
，特别是涉及一种镀膜机修正板及蒸发镀膜机。
技术介绍
蒸发镀膜机在蒸发镀膜的过程中，由于蒸发源到伞架上基板的距离不同，易导致基板上镀膜出现不均匀的问题，现有的处理方式是在伞架与蒸发源之间增加修正板，通过修正板对蒸发源的上方进行部分遮挡，使镀在基板的膜层尽可能的均匀。但是蒸发镀膜机在镀膜过程中会使用不同的材料(比如sio2，ti3o5)对伞架进行镀膜，而修正板对不同膜系(镀膜材料)的修正效果不同，这将导致同一块修正板对不同膜系进行修正时存在误差。现有的做法中，为了提高修正精度，主要是将不同膜系进行单一膜系修改。但是该方法存在以下问题：(1)蒸发镀膜机每次发生大型镀膜条件的变动或者膜系的变动，都会导致伞架镀膜的不均匀，需要通过伞架上产品的通过率曲线来更改修正板的形状，以使整个伞架的膜层分布均匀。(2)伞架的有效使用面积减少。由于镀膜沉积环境的差异，导致越靠近机台门的伞架的膜层分布越不均匀，而同一修正版对不同膜系进行修正时，会增大靠近蒸发镀膜机的机门处的伞架膜层分布的不均匀性，导致接近门口的伞架不能继续使用。由此需要通过直接在修正板上进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜机修正板，其特征在于，包括母板、第一子板、第一控制杆、第二子板以及第二控制杆，所述母板具有相对设置的第一边缘和第二边缘，所述第一控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的另一端转动连接在所述第一子板上，所述第二控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的另一端转动连接在所述第二子板上，所述第一子板覆盖所述第一边缘并沿所述第一边缘的长度方向延伸，所述第二子板覆盖所述第二边缘并沿所述第二边缘的长度方向延伸。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机修正板，其特征在于，包括母板、第一子板、第一控制杆、第二子板以及第二控制杆，所述母板具有相对设置的第一边缘和第二边缘，所述第一控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的另一端转动连接在所述第一子板上，所述第二控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的另一端转动连接在所述第二子板上，所述第一子板覆盖所述第一边缘并沿所述第一边缘的长度方向延伸，所述第二子板覆盖所述第二边缘并沿所述第二边缘的长度方向延伸。2.根据权利要求1所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一控制杆设有两个，两个所述第一控制杆平行，所述第二控制杆设有两个，两个所述第二控制杆平行。3.根据权利要求2所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述镀膜机修正板还包括第一转轴、第二转轴、第三转轴以及第四转轴，所述第一转轴、第二转轴、第三转轴及第四转轴均垂直于所述母板，所述母板、第一子板及第二子板平行；所述第一控制杆的一端通过所述第一转轴转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的另一端通过所述第二转轴转动连接在所述第一子板上；所述第二控制杆的一端通过所述第三转轴转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的另一端通过所述第四转轴转动连接在所述第二子板上。4.根据权利要求1所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一子板和所述第二子板位于所述母板的厚度方向的同一侧。5.根据权利要求1所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一子板设置有两个，两个所述第一子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧；所述第二子板设置有两个，两个所述第二子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧。6.根据权利要求1-5任一项所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述镀膜机修正板还包括多个第一滑板及多个第二滑板，多个所述第一滑板滑动设置在所述第一子板上远离所述母板的第二边缘的一侧，多个所述第二滑板滑动设置在所述第二子板上远离所述母板的第一边缘的一侧；在所述第一滑板滑动至与所述第一边缘距离最远时...

【专利技术属性】
技术研发人员：田彪，刘玉阳，刘宇佳，任鹏，段水亮，
申请(专利权)人：惠州比亚迪电子有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44