冷却板、蒸镀装置及显示面板制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种冷却板、蒸镀装置及显示面板。该冷却板包括冷却板主体，所述冷却板主体上具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有网状凸起。本发明专利技术实施例中通过冷却板上设置的联通的网状结构的网状凸起，更快速进行热传导，通过冷却板可更及时从基板上带走蒸镀过程中堆积的热量，削弱基板上温度不均匀、温度梯度的程度、改善因基板上温度不均匀在镀膜过程中产生的Mura，同时可在显示面板公共阴极层金属膜表面形成网状凸起物，可改善显示器件金属膜导电性，改善电压降。

【技术实现步骤摘要】
冷却板、蒸镀装置及显示面板
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种冷却板、蒸镀装置及显示面板。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明设备等领域普及，发展势头强劲。OLED显示技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。线蒸发源为当前重要的OLED量产技术，主要分为一体式线蒸发源和输送式线蒸发源。一般来说，蒸镀机对位机构包括放置于遮光罩载物台(MaskStage)上的Mask(蒸镀掩膜板)、放置于基板载物台(SubstrateStage)上的基板(Substrate)，放置于基板上的冷却板(CoolingPlate)。对于普通平面型冷却板直接与基板接触，可能发生基板黏着在冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷却板，其特征在于，所述冷却板包括冷却板主体，所述冷却板主体上具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有网状凸起。

【技术特征摘要】
1.一种冷却板，其特征在于，所述冷却板包括冷却板主体，所述冷却板主体上具有冷却作用的冷却面，所述冷却面上设置有网状凸起。2.根据权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述网状凸起包括相互交叉的横向凸起线和纵向凸起线。3.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括如权利要求1或2中任一所述的冷却板。4.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括基板和形成于所述基板上方的公共阴极层，所述公共阴极层部分或全部金属膜表面形成网状凸起。5.根据权利要求4所述的显示面板，所述网状凸起包括相互交叉的横向凸起线和纵向凸起线。6.根据权利要求5所述的显示面板，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：沐俊应，李们在，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42