一种线性蒸发源及蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种线性蒸发源及蒸镀设备，涉及蒸发源技术领域，为解决现有技术中的蒸发源的效率较低的问题而发明专利技术。该线性蒸发源，包括：多个坩埚；机架和蒸发箱，包括第一机架和第二机架，第一机架包括支撑架和安装轴，安装轴设置于支撑架上，并且安装轴水平设置，蒸发箱设置于第二机架上，蒸发箱内设有用于放置坩埚的放置区；开闭机构，其用于打开和关闭蒸发箱；旋转驱动装置和多个机械臂，多个机械臂均设置于安装轴上，并且沿安装轴的周向间隔设置；每个机械臂通过转轴可转动连接有机械手，转轴沿安装轴的轴向延伸；旋转驱动装置能够驱动多个机械臂绕安装轴的中心轴线旋转；每个机械手均用于承载至少一个坩埚。本实用新型专利技术可用于蒸镀设备中。

A Linear Evaporation Source and Evaporation Equipment

The utility model discloses a linear evaporation source and an evaporation plating equipment, which relates to the technical field of the evaporation source, and is invented to solve the problem of low efficiency of the evaporation source in the prior art. The linear evaporation source includes a plurality of crucibles, a rack and an evaporation box, including a first rack and a second rack. The first rack includes a support rack and an installation shaft. The installation shaft is arranged on the support rack, and the installation shaft is horizontally arranged. The evaporation box is arranged on the second rack, and the evaporation box is provided with a placing area for placing a crucible; the opening and closing mechanism is used for opening and closing the evaporation box; The rotating driving device and a plurality of manipulators are arranged on the mounting shaft, and arranged along the circumferential interval of the mounting shaft; each manipulator can rotate through the rotating shaft to connect the manipulator, and the rotating shaft extends along the axis of the mounting shaft; the rotating driving device can drive multiple manipulators to rotate around the central axis of the mounting shaft; each manipulator is used to carry at least one crucible. The utility model can be used in evaporation plating equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种线性蒸发源及蒸镀设备
本技术涉及蒸发源
，尤其涉及一种线性蒸发源及蒸镀设备。
技术介绍
有机电致发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)器件具有制作工艺简单、颜色可调、功耗低等诸多优点，在显示和照明领域都是开发与投资的热点。随着OLED显示器件的用途愈加广泛，其制作工艺也日趋成熟。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热传印等多种方式。在这些制作方法中，蒸镀方式是一种比较成熟的方法，且已经运用于量产。目前，主要采用蒸镀设备制备OLED，通常情况下，蒸镀设备设置有真空蒸镀腔室，真空蒸镀腔室中设置有蒸发源，而蒸发源主要有点源和线源，而线性蒸发源以其材料利用率高、成膜均匀性好等优点，逐渐成为蒸镀设备的首要选择。现有技术中的一种线性蒸发源，该蒸发源包括蒸发箱和坩埚，坩埚设置于蒸发箱内，工作时，先将装有有机蒸镀材料的坩埚放入蒸发箱内，再将真空蒸镀腔室内抽成真空状态，然后蒸发箱内的加热装置对坩埚加热，有机蒸镀材料蒸汽从蒸发箱上方的喷嘴中喷出，进而对基板进行蒸镀；蒸镀完毕之后，待坩埚冷却到一定温度后，再将坩埚从蒸发箱内取出，向坩埚内添本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：多个坩埚；机架和蒸发箱，包括第一机架和第二机架，所述第一机架包括支撑架和安装轴，所述安装轴设置于所述支撑架上，并且所述安装轴水平设置，所述蒸发箱设置于所述第二机架上，所述蒸发箱内设有用于放置所述坩埚的放置区；开闭机构，所述开闭机构用于打开和关闭所述蒸发箱；旋转驱动装置和多个机械臂，多个所述机械臂均设置于所述安装轴上，并且沿所述安装轴的周向间隔设置；每个所述机械臂通过所述转轴可转动连接有机械手，所述转轴沿所述安装轴的轴向延伸；所述旋转驱动装置能够驱动多个所述机械臂绕所述安装轴的中心轴线旋转；每个所述机械手均用于承载至少一个所述坩埚，并且在所述开闭机构将所述蒸...

【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：多个坩埚；机架和蒸发箱，包括第一机架和第二机架，所述第一机架包括支撑架和安装轴，所述安装轴设置于所述支撑架上，并且所述安装轴水平设置，所述蒸发箱设置于所述第二机架上，所述蒸发箱内设有用于放置所述坩埚的放置区；开闭机构，所述开闭机构用于打开和关闭所述蒸发箱；旋转驱动装置和多个机械臂，多个所述机械臂均设置于所述安装轴上，并且沿所述安装轴的周向间隔设置；每个所述机械臂通过所述转轴可转动连接有机械手，所述转轴沿所述安装轴的轴向延伸；所述旋转驱动装置能够驱动多个所述机械臂绕所述安装轴的中心轴线旋转；每个所述机械手均用于承载至少一个所述坩埚，并且在所述开闭机构将所述蒸发箱打开的情况下，随着多个所述机械臂绕所述安装轴的中心轴线旋转，每个所述机械手均能够在所述放置区取放所述坩埚。2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述蒸发箱包括底板和顶罩，所述底板设置于所述第二机架上，所述顶罩罩在所述底板上，以围成蒸发腔，所述放置区位于所述底板上且位于所述蒸发腔内；所述开闭机构包括第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述顶罩相连接，并且能够驱动所述顶罩在竖直方向相对所述底板移动，以打开或者关闭所述蒸发箱；在所述顶罩与所述底板相分离的情况下，随着多个所述机械臂绕所述安装轴的中心轴线旋转，每个所述机械手的至少一部分均能够运动至所述顶罩与所述底板之间，以在所述放置区取放所述坩埚。3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第二机架与所述第一机架为同一机架，所述安装轴固定设置于所述支撑架上，所述底板设置于所述安装轴上，所述安装轴上可转动套设有第一安装套和第二安装套，所述第一安装套和所述第二安装套沿所述安装轴的轴向相隔设置；所述旋转驱动装置包括第一旋转驱动装置和第二旋转驱动装置，所述第一旋转驱动装置能够驱动所述第一安装套绕所述安装轴的中心轴线旋转，所述第二旋转驱动装置能够驱动所述第二安装套绕所述安装轴的中心轴线旋转；所述机械手包括第一机械手和第二机械手；所述转轴包括第一转轴和第二转轴，所述第一转轴、所述第二转轴均沿所述旋转轴的轴向延伸；针对每个所述机械臂，所述机械臂包括第一子臂和第二子臂，所述第一子臂设置于所述第一安装套的侧面上，所述第二子臂设置于所述第二安装套的侧面上，所述第一子臂在所述第一安装套的周向上的位置与所述第二子臂在所述第二安装套的周向上的位置相同，所述第一子臂通过所述第一转轴可转动连接所述第一机械手，所述第二子臂通过所述第二转轴可转动连接所述第二机械手，所述第一机械手和所述第二机械手分别用于与同一个所述坩埚沿所述坩埚长度方向的两端相连接；在所述顶罩与所述底板相分离的情况下，随着所述第一安装套和所述第二安装套绕所述安装轴的中心轴线的同步转动，所述第一机械手的至少一部分和所述第二机械手的至少一部分均能够运动至所述顶罩与所述底板之间，...

【专利技术属性】
技术研发人员：申永奇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11