下载一种线性蒸发源及蒸镀设备的技术资料

文档序号:21461206

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本实用新型公开了一种线性蒸发源及蒸镀设备,涉及蒸发源技术领域,为解决现有技术中的蒸发源的效率较低的问题而发明。该线性蒸发源,包括:多个坩埚;机架和蒸发箱,包括第一机架和第二机架,第一机架包括支撑架和安装轴,安装轴设置于支撑架上,并且安装轴水...
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