光学元件面形精准集成组件的支撑装置，光学元件面形精准集成组件及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种光学元件面形精准集成组件的支撑装置、光学元件面形精准集成组件及其制造方法。所述光学元件面形精准集成组件的支撑装置用于套设于光学元件外围支撑定位所述光学元件，其包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光线元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔，所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。所述光学元件面形精准集成组件有利于保证精度，并且可操作性高，实现高精度光学元件集成后精度零损失，同时为先进光学系统的批量化生产提供有力支撑。

【技术实现步骤摘要】
光学元件面形精准集成组件的支撑装置，光学元件面形精准集成组件及其制作方法
本专利技术涉及一种光学元件面形精准集成组件，尤其是一种用于光学元件面形精准集成组件的支撑装置，光学元件面形精准集成组件，光学元件面形精准集成组件制作方法。
技术介绍
光学元件面形精准集成组件在先进光学系统集成等领域中的应用愈发广泛。随着人类探索领域不断地向更加微观的领域前进，对先进光学系统提出了越来越高的需求，一方面：对光学元件精度要求高，如应用在基因测序仪、光刻机、晶元缺陷检测等领域的先进光学系统，均对光学元件单面面形提出了1/100～1/500波长(常规系统光学元件单面面形1/5～1/20波长)，精度相对常规系统提升至少20倍，元件集成带来的精度损失在常规系统中可以不予考虑，但是对于上述高精度显微先进光学系统，缺失是毁灭性的。另一方面：在保证高精度的同时，还要兼备高性价比适合批量化生产。传统的光学元件面形精准集成组件中，其柔性连接通常采用弹片窄缝等柔性机构，或多种柔性装置组合构成，装置复杂，成本高，难以应用在批量化生产制造当中。因此，需要设计创新型的柔性连接机构，同时对高效、高性价比、具备可操作和实施性的光学元件面形精准集成组件提出了迫切需求。现有面形精准集成组件通常包含两个部分，镜框和柔性连接部分，柔性连接部分通常采用，弹片窄缝等柔性机构，或多种柔性装置组合构成，装置复杂，为了实现面形保持功能，在机械加工和装调集成环节付出很大代价，成本高，耗时长，难以应用在批量化生产制造当中。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术一种实施例提供一种光学元件面形精准集成组件的支撑装置，用于套设于光学元件外围支撑定位所述光学元件，根据本专利技术优选实施例，所述光学元件面形精准集成组件的支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光学元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔，所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。根据本专利技术优选实施例，所述连接部还包括第一外侧面，所述第一外侧面与所述第一内侧面相背设置，所述注胶孔贯穿所述连接部的第一内侧面与第一外侧面。根据本专利技术优选实施例，所述支撑部也用于套设于所述光学元件外围，所述支撑部包括上表面、下表面、连接于所述上表面与所述下表面之间的第二内侧面、及所述第二内侧面相背的第二外侧面，所述上表面连接于所述第一内侧面于所述第二内侧面之间，所述第二内侧面为阶梯型表面且包括用于支撑所述光学元件的支撑面及连接于所述支撑面与第一内侧面之间的第一连接面及连接于所述支撑面与所述下表面之间的第二连接面，所述第二外侧面与所述第一外侧面连接于一体形成所述支撑装置的外侧面。根据本专利技术优选实施例，所述第一连接面用于与所述光学元件同轴设置且与所述光学元件内径相同，所述第一连接面与所述光学元件之间间隙优于0.005mm，圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。根据本专利技术优选实施例，所述第一内侧面的内径较所述第一连接面的内径大预定宽度，所述预定宽度的范围为0.15±0.005mm，所述第一内侧面与所述第一连接面同轴，圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。根据本专利技术优选实施例，所述第一内侧面及所述第一连接面与所述下表面的垂直度优于0.008mm，所述第一外侧面与所述第一内侧面圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm，所述第一连接面与所述第二外侧面圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。根据本专利技术优选实施例，所述注胶孔的数量为至少两个，所述至少两个注胶孔均匀分布在所述第一内侧面上。一种光学元件面形精准集成组件，用于套设于光学元件外围支撑定位所述光学元件并与所述光学元件柔性连接，根据本专利技术优选实施例，所述光学元件面形精准集成组件包括支撑装置，所述支撑装置采用上述任意一种实施例所述的光学元件面形精准集成组件的支撑装置，所述光学元件面形精准集成组件还包括用于注入所述注胶孔使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层的胶体或通过在所述注胶孔中注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成的与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。在上述优选实施例的一种变更实施例中，所述注胶孔可以省略，直接将胶体注入到所述光学元件与所述第一内侧面之间从而形成连接所述光学元件的胶合连接层，即一种光学元件面形精准集成组件，其包括支撑装置，所述支撑装置用于支撑光学元件，根据本专利技术优选实施例，所述支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光线元件外围且包括邻近所述光线元件的第一内侧面及用于注入所述第一内侧面以形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层的胶体或形成于所述第一内侧面且用于与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。根据本专利技术优选实施例，所述光学元件面形精准集成组件包括支撑装置，所述支持装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光线元件外围且包括邻近所述光线元件的第一内侧面及用于注入所述第一内侧面以形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层的胶体或形成于所述第一内侧面且用于与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。根据本专利技术优选实施例，所述支撑部也用于套设于所述光学元件外围，所述支撑部包括上表面、下表面、连接于所述上表面与所述下表面之间的第二内侧面、及所述第二内侧面相背的第二外侧面，所述上表面连接于所述第一内侧面于所述第二内侧面之间，所述第二内侧面为阶梯型表面且包括用于支撑所述光学元件的支撑面及连接于所述支撑面与第一内侧面之间的第一连接面及连接于所述支撑面与所述下表面之间的第二连接面，所述第二外侧面与所述第一外侧面连接于一体形成所述支撑装置的外侧面。根据本专利技术优选实施例，所述第一连接面用于与所述光学元件同轴设置且与所述光学元件内径相同，所述第一连接面与所述光学元件之间间隙优于0.005mm，圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。根据本专利技术优选实施例，所述第一内侧面的内径较所述第一连接面的内径大预定宽度，所述预定宽度的范围为0.15±0.005mm，所述第一内侧面与所述第一连接面同轴，圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。根据本专利技术优选实施例，所述第一内侧面及所述第一连接面与所述下表面的垂直度优于0.008mm，所述第一外侧面与所述第一内侧面圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm，所述第一连接面与所述第二外侧面圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。根据本专利技术优选实施例，所述注胶孔的数量为至少两个，所述至少两个注胶孔均匀分布在所述第一内侧面上。一种光学元件面形精准集成组件制作方法，根据本专利技术优选实施例，包括如下步骤：提供支撑装置，所述支持装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述连接部包括环形的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔；将所述光学元件放置于所述元件支撑部上且使得所述第一内侧面位于所述光学元件外围；及向所述注胶孔注入胶体使得所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学元件面形精准集成组件的支撑装置，用于套设于光学元件外围支撑定位所述光学元件，其特征在于：所述光学元件面形精准集成组件的支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光学元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔，所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。

【技术特征摘要】
1.一种光学元件面形精准集成组件的支撑装置，用于套设于光学元件外围支撑定位所述光学元件，其特征在于：所述光学元件面形精准集成组件的支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光学元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔，所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。2.根据权利要求1所述的光学元件面形精准集成组件的支撑装置，其特征在于：所述连接部还包括第一外侧面，所述第一外侧面与所述第一内侧面相背设置，所述注胶孔贯穿所述连接部的第一内侧面与第一外侧面。3.根据权利要求1所述的光学元件面形精准集成组件的支撑装置，其特征在于：所述支撑部也用于套设于所述光学元件外围，所述支撑部包括上表面、下表面、连接于所述上表面与所述下表面之间的第二内侧面、及所述第二内侧面相背的第二外侧面，所述上表面连接于所述第一内侧面于所述第二内侧面之间，所述第二内侧面为阶梯型表面且包括用于支撑所述光学元件的支撑面及连接于所述支撑面与第一内侧面之间的第一连接面及连接于所述支撑面与所述下表面之间的第二连接面，所述第二外侧面与所述第一外侧面连接于一体形成所述支撑装置的外侧面。4.根据权利要求3所述的光学元件面形精准集成组件的支撑装置，其特性在于：所述第一连接面用于与所述光学元件同轴设置且与所述光学元件内径相同，所述第一连接面与所述光学元件之间间隙优于0.005mm，圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。5.根据权利要求3所述的光学元件面形精准集成组件的支撑装置，其特性在于：所述第一内侧面的内径较所述第一连接面的内径大预定宽度，所述预定宽度的范围为0.15±0.005mm，所述第一内侧面与所述第一连接面同轴，圆柱度优于0.005mm，同轴度优于0.005mm。6.根据权利要求3所述的光学元件面形精准集成...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢晓麟，管海军，王超，徐放，张新，王哈，张继真，曲贺盟，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春长光智欧科技有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林,22