一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器涉及传感器技术领域，解决了需要研发一种兼具结构简单、高灵敏度、高选择性、低功耗、较低工作温度的二氧化氮气体传感器的问题，包括从上至下依次设置的衬底、第一二维材料层和第二二维材料层，源电极和漏电极一一对应的设置在第二二维材料层和第一二维材料层上表面上。本发明专利技术的器件结构和制备工艺简单，具有低检测下限，可用于构筑微型化、集成化的气体传感器。采用双工作模式激发，实现了兼具高灵敏度、自驱动、室温工作的二氧化氮气体传感器。在正向偏压下，载流子可以自由在异质结界面处传输，使载流子更容易被气体捕获，器件表现出高灵敏度，而在自驱动模式下，可以实现低功耗和高选择性运作。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，具体涉及一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器。
技术介绍
1、长期以来，气体传感器在环境监测、工业生产与室内空气质量监控等领域占据着极为重要的地位。在众多有毒有害气体中，二氧化氮已经引起国际健康组织和科研工作者的广泛关注。随着物联网和人工智能的发展，室温工作的微型化、集成化的气体传感器正在成为目前的研究热点。然而，传统半导体气体传感器通常需要较高的工作温度(范围在200-650℃)激活表面吸附的气体分子实现有效气体传感检测，导致器件结构和制备工艺复杂，不利于实现器件的微型化。此外，低功耗、高灵敏度和选择性是气体传感器适用于未来电子设备的主要要求。然而，目前的导电型气体传感器难以克服高功耗和选择性差的限制；而单一p-n结型传感器虽然可以降低功耗，灵敏度却不及导电型传感器。因此需要研发一种兼具结构简单、高灵敏度、高选择性、低功耗、较低工作温度的二氧化氮气体传感器。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本专利技术提供一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器。
>2、本专利技术为解本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器，其特征在于，所述动态双工作模式具体为：在所述气体传感器上交替施加光信号和电信号，施加光信号为光照射在位于第一二维材料层正上方的第二二维材料层上，施加电信号为在源电极和漏电极上施加电压。
3.如权利要求2所述的一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器，其特征在于，施加电信号为在源电极和漏电极上施加正向偏置电压。
4.如权利要求1所述的一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器，其特征在于，所述源电极和漏电极均设置在衬底上...
【技术特征摘要】
1.一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种动态双工作模式二氧化氮二极管气体传感器，其特征在于，所述动态双工作模式具体为：在所述气体传感器上交替施加光信号和电信号，施加光信号为光照射在位于第一二维材料层正上方的第二二维材料层上，施加电信号为在源电极和漏电极上施加电压。
3.如权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李绍娟，张楠，安君儒，李雅辉，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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