A spray structure comprises a porous matrix sieve plate for uniform distribution of air flow from a chemical source and a fixing frame for supporting the porous matrix sieve plate.
【技术实现步骤摘要】
喷淋结构及化学源供给系统
本专利技术系关于一种喷淋结构，特别是关于应用于化学源供给系统的喷淋结构。
技术介绍
随着工艺的进展以及各段制程的需要，多会在反应设备中供给各种气体。在气相反应装置中，已知反应气体均匀性会对成品的均匀度表现、良率等产生重大的影响。为此，领域中对于气体供应的均匀性多有所要求。以往，在气体供应至反应设备的反应腔时，多会利用喷淋结构来让气体均匀地送至反应腔内。过往的喷淋结构中，系由喷淋头(topplate)、挡板(baffleplate)、喷淋板(faceplate)及支撑结构所构成，其中喷淋头发挥混器的功能，而挡板则是调降压力，调节压力的均匀性。喷淋板则系用来运输气体使用，而支撑结构则是用来支撑喷淋头、挡板以及喷淋板。然过往的喷淋结构中，不仅结构复杂，拆装手续繁复，对于设备的维护着实构成相当程度的负担。也因此期待能有相对简化的结构，来达到优于过往喷淋结构之功效。
技术实现思路
本专利技术提供一种喷淋结构，其包含：多孔性基体筛板，其系用以使来自化学源的气流均匀分布；及固定架，其系用来支撑前述多孔性基体筛板。较佳地，前述多孔性基体筛板的孔隙率系在1％-...
【技术保护点】
1.一种喷淋结构，其包含：多孔性基体筛板，其系用以使来自化学源的气流均匀分布；及固定架，其系用来支撑前述多孔性基体筛板。
【技术特征摘要】
1.一种喷淋结构，其包含：多孔性基体筛板，其系用以使来自化学源的气流均匀分布；及固定架，其系用来支撑前述多孔性基体筛板。2.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述多孔性基体筛板的孔隙率系在1％-25％之间。3.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述多孔性基体筛板的上表面，呈现中高周围低的山丘形体。4.如权利要求3所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述多孔性基体筛板的上表面系具有导流道。5.如权利要求1所述的喷淋结构，其特征在于，其中前述固定架系具有一支撑环结构，其系用来支撑前述多孔性基...
【专利技术属性】
技术研发人员：王卓，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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