下载喷淋结构及化学源供给系统的技术资料

文档序号:21469085

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一种喷淋结构,其包含:多孔性基体筛板,其系用以使来自化学源的气流均匀分布;及固定架,其系用来支撑前述多孔性基体筛板。...
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