环保式清洗机台制造技术

本创作是一种环保式清洗机台用于清洗一基板，其包含一传输部、一第一清洗部、一第二清洗部与一烘干部。传输部通过一驱动件驱动一传输件，以移动基板。一第一清洗部能够将一第一清洗液输出至基板，让第一清洗液包覆位在基板的杂质。一第二清洗部能够将一第二清洗液输出至基板，用以清洗经第一清洗液包覆的杂质。一烘干部输出一风切至基板，以去除基板的杂质、第一清洗液与第二清洗液。

【技术实现步骤摘要】
环保式清洗机台
本创作是关于一种基板清洗的
，特别是一种在清洗过程中不会对环境产生污染的环保式清洗机台。
技术介绍
传统的玻璃基板为了能够获得较好的加工质量(例如镀膜)，因此在进行加工之前，需要通过玻璃清洗机台去除玻璃基板表面的金属杂质、有机物污染、微尘与自然氧化物等。然而，在清洗过程中，玻璃清洗机台会大量使用酸碱液对玻璃基板进行清洗，导致于使用过后的酸碱液变成对环境的一种污染物。有鉴于此，本创作提出环保式清洗机台，用以解决前述的缺失。
技术实现思路
本创作之第一目的提供一种环保式清洗机台，是利用至少两种不同的清洗液对基板进行清洁，以提高移除杂质(例如污垢与异物等)的功效。本创作之第二目的是根据上述环保式清洗机台，利用奈米级离子水中的氢氧键包覆基板表面的杂质，以减少杂质对于基板表面的黏着度。本创作之第三目的是根据上述环保式清洗机台，通过加压奈米级离子水，以提高包覆杂质的功效。本创作之第四目的是根据上述环保式清洗机台，利用纯水进行二次的杂质的清除动作，以达到几近的或完全的清除基板表面的杂质的功效。本创作之第五目的是根据上述环保式清洗机台，通过风切的方式吹干基板表面，以去除基板的杂质与纯水。本创作之第六目的是根据上述环保式清洗机台，通过传输部让基板可以分阶段的通过各个清洗部与烘干部。为达到上述目的与其他目的，本创作提供一种环保式清洗机台，是清洗一基板。环保式清洗机台包含一传输部、一第一清洗部、一第二清洗部与一烘干部。传输部包含一驱动件与一传输件。驱动件驱动传输件，以供移动基板。第一清洗部设置在传输部的一侧。第一清洗部包含一第一输出单元与一第一储存槽。第一输出单元连接第一储存槽。第一输出单元朝向传输部，以供将第一储存槽储存一第一清洗液输出至基板，让第一清洗液包覆位在基板的杂质。其中，第一清洗液为一奈米级离子水。第二清洗部设置在传输部的一侧。第二清洗部具有一第二输出单元与一第二储存槽。第二输出单元连接第二储存槽。第二输出单元朝向传输部，以供将第二储存槽储存一第二清洗液输出至基板，用以清洗经第一清洗液包覆的杂质。其中，第二清洗液为一纯水。烘干部设置在传输部的一侧。烘干部输出一风切至基板，以去除基板的杂质、第一清洗液与第二清洗液。相较于现有技术，本创作提供的环保式清洗机台，是使用不会污染环境的第一清洗液(例如离子水)，并通过第一清洗液的氢氧(OH)键包覆位在基板表面的杂质，让杂质可以轻易的脱离基板表面，并且进一步通过第二清洗液(例如纯水)将被氢氧键包覆的杂质带离基板表面，前述第一清洗液与第二清洗液皆为不污染环境的液体，其能够达到完全的清除基板表面的杂质的功效。本创作所采用的具体技术，将通过以下的实施例及附呈图式作进一步的说明。【附图说明】图1是本创作第一实施例的环保式清洗机台的方块示意图。图2是本创作第二实施例的环保式清洗机台的方块示意图。主要组件符号说明：2基板22杂质10、10’环保式清洗机台12传输部122驱动件124传输件14第一清洗部142第一输出单元144第一储存槽146第一清洗液16第二清洗部162第二输出单元164第二储存槽166第二清洗液18烘干部182作用力20加压部【具体实施方式】为充分了解本创作之目的、特征及功效，兹通过下述具体的实施例，并配合所附的图式，对本创作做一详细说明，说明如后。在本创作中，是使用「一」或「一个」来描述本文所述的单元、元件和组件。此举只是为了方便说明，并且对本创作的范畴提供一般性的意义。因此，除非很明显的另指他意，否则此种描述应理解为包括一个、至少一个，且单数也同时包括多个。在本创作中，用语「包含」、「包括」、「具有」、「含有」或其他任何类似用语意欲涵盖非排他性的包括物。举例而言，含有多个要件的一元件、结构、制品或装置不仅限于本文所列出的此等要件而已，而是可以包括未明确列出但却是该元件、结构、制品或装置通常固有的其他要件。除此之外，除非有相反的明确说明，用语「或」是指涵括性的「或」，而不是指排他性的「或」。请参考图1，是本创作第一实施例的环保式清洗机台的方块示意图。在图1中，环保式清洗机台10是用于清洗一基板2，基板2例如可为一半导体基板、一硅基板、一玻璃基板等。在本实施例中，基板2的表面存在杂质22，例如杂质22可为金属杂质、有机物污染、微尘、自然氧化物、异物等。环保式清洗机台10包含一传输部12、一第一清洗部14、一第二清洗部16与一烘干部18。传输部12包含一驱动件122与一传输件124。在本实施例中，传输部12以平台机构设置，在平台机构上设置驱动件122与传输件124。其中，驱动件122可为一电机、一马达等元件；以及，传输件124可为滚轮、滚珠、滚筒等元件。当驱动件122(例如电机)例如接受一电力(图未示)驱动时，通过磁力的推动，让转子与定子做相对运动，以驱动或带动传输件朝一方向(在此是以Y方向为例说明)运动。通过前述的作动，当基板2设置在传输件124，基板2将会沿着该方向移动。此外，由于传输件124是突出的设置在平台机构。因此，基板2与传输部12的接触仅只有传输件124的部分，其可有效的避免基板2因大面积接触平台机过程中造成基板2的表面的摩擦损坏。值得注意的是，驱动件122可不需要完全的控制所有的传输件124，其可以驱动部分的传输件124，以达到对基板2的移动。换言之，当传输件124为例如多个滚轮所组成时，其部分的滚轮可以受到驱动件122的驱动，让基板2产生一动能，其余的滚轮仅供基板2降低其移动的摩擦力。第一清洗部14设置在传输部12的一侧(例如上侧)。又，第一清洗部14包含一第一输出单元142与一第一储存槽144。第一输出单元142连接第一储存槽144。在本实施例中，第一输出单元142是以喷嘴为例说明，前述喷嘴是朝向位在第一清洗部14下方的传输部12，以供将第一储存槽144储存一第一清洗液146输出(或称喷洒)至基板2。其中，第一清洗液146可例如为一奈米级离子水、奈米水等。前述喷洒过程中，由于第一清洗液146的特性，第一清洗液146将会包覆位在基板2的杂质22。第二清洗部16设置在传输部12的上侧。第二清洗部16包含一第二输出单元162与一第二储存槽164。第二输出单元162连接第二储存槽164。在本实施例中，第二输出单元162也以喷嘴为例说明，前述喷嘴是朝向位在第二清洗部16下方的传输部12，以供将第二储存槽164储存一第二清洗液166输出至基板2。其中，第二清洗液146可例如为一纯水、一氢氧元素组成的无机物等。第二清洗液146用以清洗经第一清洗液146包覆的杂质22。烘干部18设置在传输部12的上侧。在本实施例中，烘干部18是以一风刀装置为例说明，其可输出一作用力182(例如风切)至基板2，以去除基板2的杂质22、第一清洗液146、第二清洗液166。在另一实施例中，烘干部18除了可以利用风切的非接触基板方式进行去除的动作之外，亦还可以通过接触基板方式(例如刷子等)进行去除的动作。基板2通过前述的传输部12、第一清洗部14、第二清洗部16与烘干部18，基板2可形成无杂质的表面，以利后续的加工制程，例如镀膜制程等。请参考图2，是本创作第二实施例的环保式清洗机台的方块示意图。在图2中，环保式清洗机台10’除包含第一实施例的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环保式清洗机台，是清洗一基板，其特征在于，所述环保式清洗机台包含：一传输部，具有一驱动件与一传输件，所述驱动件驱动所述传输件，以供移动所述基板；一第一清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第一清洗部具有一第一输出单元与一第一储存槽，所述第一输出单元连接所述第一储存槽，所述第一输出单元朝向所述传输部，以供将所述第一储存槽储存一第一清洗液输出至所述基板，让所述第一清洗液包覆位在所述基板的一杂质，其中所述第一清洗液为一奈米级离子水；一第二清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第二清洗部具有一第二输出单元与一第二储存槽，所述第二输出单元连接所述第二储存槽，所述第二输出单元朝向所述传输部，以供将所述第二储存槽储存一第二清洗液输出至所述基板，用以清洗经所述第一清洗液包覆的所述杂质，其中所述第二清洗液为一纯水；以及一烘干部，设置在所述传输部的一侧，所述烘干部输出一作用力至所述基板，以去除所述基板的所述杂质、所述第一清洗液与所述第二清洗液。

【技术特征摘要】
2018.08.27 TW 1072116371.一种环保式清洗机台，是清洗一基板，其特征在于，所述环保式清洗机台包含：一传输部，具有一驱动件与一传输件，所述驱动件驱动所述传输件，以供移动所述基板；一第一清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第一清洗部具有一第一输出单元与一第一储存槽，所述第一输出单元连接所述第一储存槽，所述第一输出单元朝向所述传输部，以供将所述第一储存槽储存一第一清洗液输出至所述基板，让所述第一清洗液包覆位在所述基板的一杂质，其中所述第一清洗液为一奈米级离子水；一第二清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第二清洗部具有一第二输出单元与一第二储存槽，所述第二输出单元连接所述第二储存槽，所述第二输出单元朝向所述传输部，以供将所述第二储存槽储存一第二清洗液输出至所述基板，用以清洗经所述第一清洗液包覆的所述杂质，其中所述第二清洗液为一纯水；以及一烘干部，设置在所述传输部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国光，陈韦融，郭肯华，丁鸿泰，
申请(专利权)人：鸿超光电科技股份有限公司，睿明科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71