【技术实现步骤摘要】
环保式清洗机台
本创作是关于一种基板清洗的
，特别是一种在清洗过程中不会对环境产生污染的环保式清洗机台。
技术介绍
传统的玻璃基板为了能够获得较好的加工质量(例如镀膜)，因此在进行加工之前，需要通过玻璃清洗机台去除玻璃基板表面的金属杂质、有机物污染、微尘与自然氧化物等。然而，在清洗过程中，玻璃清洗机台会大量使用酸碱液对玻璃基板进行清洗，导致于使用过后的酸碱液变成对环境的一种污染物。有鉴于此，本创作提出环保式清洗机台，用以解决前述的缺失。
技术实现思路
本创作之第一目的提供一种环保式清洗机台，是利用至少两种不同的清洗液对基板进行清洁，以提高移除杂质(例如污垢与异物等)的功效。本创作之第二目的是根据上述环保式清洗机台，利用奈米级离子水中的氢氧键包覆基板表面的杂质，以减少杂质对于基板表面的黏着度。本创作之第三目的是根据上述环保式清洗机台，通过加压奈米级离子水，以提高包覆杂质的功效。本创作之第四目的是根据上述环保式清洗机台，利用纯水进行二次的杂质的清除动作，以达到几近的或完全的清除基板表面的杂质的功效。本创作之第五目的是根据上述环保式清洗机台，通过风切的方式吹干...
【技术保护点】
1.一种环保式清洗机台，是清洗一基板，其特征在于，所述环保式清洗机台包含：一传输部，具有一驱动件与一传输件，所述驱动件驱动所述传输件，以供移动所述基板；一第一清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第一清洗部具有一第一输出单元与一第一储存槽，所述第一输出单元连接所述第一储存槽，所述第一输出单元朝向所述传输部，以供将所述第一储存槽储存一第一清洗液输出至所述基板，让所述第一清洗液包覆位在所述基板的一杂质，其中所述第一清洗液为一奈米级离子水；一第二清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第二清洗部具有一第二输出单元与一第二储存槽，所述第二输出单元连接所述第二储存槽，所述第二输出单元朝向所...
【技术特征摘要】
2018.08.27 TW 1072116371.一种环保式清洗机台，是清洗一基板，其特征在于，所述环保式清洗机台包含：一传输部，具有一驱动件与一传输件，所述驱动件驱动所述传输件，以供移动所述基板；一第一清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第一清洗部具有一第一输出单元与一第一储存槽，所述第一输出单元连接所述第一储存槽，所述第一输出单元朝向所述传输部，以供将所述第一储存槽储存一第一清洗液输出至所述基板，让所述第一清洗液包覆位在所述基板的一杂质，其中所述第一清洗液为一奈米级离子水；一第二清洗部，设置在所述传输部的一侧，所述第二清洗部具有一第二输出单元与一第二储存槽，所述第二输出单元连接所述第二储存槽，所述第二输出单元朝向所述传输部，以供将所述第二储存槽储存一第二清洗液输出至所述基板，用以清洗经所述第一清洗液包覆的所述杂质，其中所述第二清洗液为一纯水；以及一烘干部，设置在所述传输部的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李国光，陈韦融，郭肯华，丁鸿泰，
申请(专利权)人：鸿超光电科技股份有限公司，睿明科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71
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