非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置，其结构包括机架、脉冲太赫兹源、太赫兹相机、控制及信号处理模块、计算机，脉冲太赫兹源、太赫兹相机均固定设置在工作上平台的下表面，工作上平台设置在机架上；脉冲太赫兹源的脉冲发射方向和太赫兹相机的接收方向于工作上平台的竖直中心轴向的法线呈左右对称设置；在机架和工作上平台之间设置有平移旋转机构；纵立支撑轴、纵立升降机、水平转向机构、水平展臂、纵向工作臂和转盘电机构成平移旋转机构。该非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置能够实现多涂层的实时检测，提高检测效率。该装置为非接触式在线检测，不会对涂层产生刮划。

【技术实现步骤摘要】
非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置
本技术涉及太赫兹检测
，具体地说是一种非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置。
技术介绍
现有技术下的市场上缺乏对多层涂层的厚度检测装置，现有的膜层检测只能检测单一涂层厚度且为接触式测量，在检测过程中还会容易对涂层产生二次破坏，现有的涂层厚度检测只能进行一层涂层的厚度检测，不能同时进行多涂层的检测，鉴于此技术环境，亟待需求一种非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置。
技术实现思路
本技术的技术任务是解决现有技术的不足，提供一种非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置。本技术的技术方案是按以下方式实现的，该非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置，其结构包括机架、脉冲太赫兹源、太赫兹相机、控制及信号处理模块、计算机，脉冲太赫兹源、太赫兹相机均固定设置在工作上平台的下表面，工作上平台设置在机架上；脉冲太赫兹源的脉冲发射方向和太赫兹相机的接收方向于工作上平台的竖直中心轴向的法线呈左右对称设置；在机架和工作上平台之间设置有平移旋转机构；脉冲太赫兹源、太赫兹相机分别连接到控制及信号处理模块，控制及信号处理模块与计算机连接；脉冲太赫兹源、太赫兹相机、控制及信号处理模块、计算机共同构成检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置，其特征在于包括机架、脉冲太赫兹源、太赫兹相机、控制及信号处理模块、计算机，脉冲太赫兹源、太赫兹相机均固定设置在工作上平台的下表面，工作上平台设置在机架上；脉冲太赫兹源的脉冲发射方向和太赫兹相机的接收方向于工作上平台的竖直中心轴向的法线呈左右对称设置；在机架和工作上平台之间设置有平移旋转机构；脉冲太赫兹源、太赫兹相机分别连接到控制及信号处理模块，控制及信号处理模块与计算机连接；脉冲太赫兹源、太赫兹相机、控制及信号处理模块、计算机共同构成检测机构；工作下平台的上表面放置有待检测件，工作下平台的外展端固定设置有纵立支撑轴，纵立支撑轴和工作下平台平面相垂直；纵立支...

【技术特征摘要】
1.非接触式太赫兹多涂层厚度检测装置，其特征在于包括机架、脉冲太赫兹源、太赫兹相机、控制及信号处理模块、计算机，脉冲太赫兹源、太赫兹相机均固定设置在工作上平台的下表面，工作上平台设置在机架上；脉冲太赫兹源的脉冲发射方向和太赫兹相机的接收方向于工作上平台的竖直中心轴向的法线呈左右对称设置；在机架和工作上平台之间设置有平移旋转机构；脉冲太赫兹源、太赫兹相机分别连接到控制及信号处理模块，控制及信号处理模块与计算机连接；脉冲太赫兹源、太赫兹相机、控制及信号处理模块、计算机共同构成检测机构；工作下平台的上表面放置有待检测件，工作下平台的外展端固定设置有纵立支撑轴，纵立支撑轴和工作下平台平面相垂直；纵立支撑轴的轴身上同轴设置有纵立升降机，纵立升降机沿纵立支撑轴上下运动并且在径向上相对静止，纵立升降机的机身上同轴固定设置有角度传感器和转向编码器以及转向电机，角度传感器和转向编码器以及转向电机互联构成水平转向机构；转向电机的机身固定连接水平展...

【专利技术属性】
技术研发人员：史同利，徐琳，于晓海，
申请(专利权)人：烟台太赫兹光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37