基板吸附装置制造方法及图纸

技术问题：在基板吸附装置中，能够以泄漏少的状态吸附基板。解决方案：基板吸附装置(1)是用于对条状基板(111)进行吸附并保持的装置，其具备框架(221)和多孔质吸附板(225)。向框架部件(223)供给负压。多孔质吸附板(225)安装于框架部件(223)，并具有柔软性。

Substrate Adsorption Device

Technical problems: In the plate adsorption device, the substrate can be adsorbed with less leakage. Solution: Substrate adsorption device (1) is a device for adsorbing and holding strip substrate (111), which has a frame (221) and porous adsorption plate (225). Negative pressure is supplied to the frame component (223). The porous adsorbent plate (225) is mounted on the frame component (223) and has softness.

【技术实现步骤摘要】
基板吸附装置
本专利技术涉及一种基板吸附装置。
技术介绍
作为将用于液晶等的玻璃基板固定并进行输送的装置，已知对玻璃基板以抽真空方式进行吸附的基板吸附输送装置。在基板吸附输送装置中，已知一种由多孔质陶瓷形成吸附面的方式(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开平成6-8086号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题在如上述那样在真空吸附装置中吸附面由多孔质陶瓷构成的情况下，难以维持吸附面的平坦度。其结果为，存在当吸附基板时会发生泄漏而使吸附力变小的情况。在支撑基板的部件的平坦度较低的情况下，上述问题尤为显著。本专利技术的目的在于，在基板吸附装置中，能够以泄漏少的状态吸附基板。(二)技术方案下面，作为用于解决上述技术问题的手段而说明多个方式。这些方式可以根据需要任意组合。本专利技术的一个方面的基板吸附装置，是用于对基板进行吸附并保持的装置，其具备吸引部和多孔质吸附板。吸引部供给负压。多孔质吸附板安装于吸引部，并具有柔软性。在该装置中，由于多孔质吸附板具有柔软性，因此能够减少吸附基板时的泄漏。其原因在于，多孔质吸附板进入以往成为间隙的区域并与其它部件紧贴。基板吸附装置还可以具备提起部。在多孔质吸附板对载置于具有凹凸的载置部的基板进行吸附时，提起部通过使吸引部及多孔质吸附板从载置部向上方移动，从而将基板从载置部提起。在该装置中，基板载置于具有凹凸的载置部的上方，但由于多孔质吸附板具有柔软性，因此能够减少吸附基板时的泄漏。多孔质吸附板也可以由橡胶制成。在该装置中，制造成本较廉价。多孔质吸附板也可以是厚度为1～3mm的薄板形状。在该装置中，能够切实地吸附薄的基板。(三)有益效果在本专利技术的基板吸附装置中，能够以泄漏少的状态吸附基板。附图说明图1是本专利技术第一实施方式的基板加工装置的示意性俯视图。图2是基板分断装置的示意性立体图。图3是基板分断装置的示意性侧视图。图4是表示基板加工装置的控制结构的框图。图5是基板吸附旋转装置的立体图。图6是基板吸附旋转装置的局部立体图。图7是吸附结构体的示意性剖视图。图8是表示多孔质吸附板紧贴于带式输送机上的基板的状态的示意性剖视图。图9是表示多孔质吸附板紧贴于带式输送机上的基板的状态的示意性剖视图。附图标记说明1-基板加工装置；3-划线形成装置；5-基板分断装置；7-第一分断装置；9-第二分断装置；11-拾取装置；29-输送装置；41-第一输送装置；43-第二输送装置；45-第三输送装置；50-控制器；51-划线单元；100-贴合基板；111-条状基板；113-单位基板；201-基板吸附旋转装置；205-吸附结构体；207-上下驱动机构；209-旋转机构；211-梁；213-吸引装置；221-蜂窝状多孔体；225-多孔质吸附板。具体实施方式1.第一实施方式(1)基板加工装置的概要说明使用图1～图3对基板加工装置1进行说明。图1是本专利技术第一实施方式的基板加工装置的示意性俯视图。图2是基板分断装置的示意性立体图。图3是基板分断装置的侧视图。在图1中，图的上下方向是第一方向(箭头X)，图的左右方向是第二方向(箭头Y)。基板加工装置1是从贴合基板100形成多个单位基板113的装置。在图1中，接下来说明的多个装置在第二方向上从左向右排列。也就是说，被加工对象的基板的输送方向是第二方向，基板在第二方向上一边从左向右输送一边加工。因此，图1的第二方向左侧是输送方向上游侧，图1的第二方向右侧是输送方向下游侧。基板加工装置1具有划线形成装置3。划线形成装置3在贴合基板100的表面形成多个第一划线S1和多个第二划线S2。第一划线S1和第二划线S2相互正交。此外，将划线加工后的基板作为贴合基板100A。具体而言，划线形成装置3具有：划线单元51；输送装置53，其向输送方向下游侧输送贴合基板100；以及夹紧机构55，其保持贴合基板100并使其向输送方向两侧移动。划线单元51具有：在第一方向上延伸设置的划线梁51a、能够沿着该划线梁51a在第一方向上移动的划线头51b(图4)、以及划线头移动装置51c(图4)。输送装置53是带式输送机。夹紧机构55具有：在输送装置53的上方以能够沿着第二方向向前后移动的方式设置的夹紧梁55a、夹紧梁移动装置55b(图4)、以及形成于夹紧梁55a的单侧并把持贴合基板100的夹紧件55c。通过夹紧梁55a朝向划线单元51向第一方向两侧移动，从而夹紧件55c所把持的贴合基板100一边通过划线头51b(图4)的下方一边被划线。基板加工装置1具有基板分断装置5。基板分断装置5通过沿着多个第一划线S1和多个第二划线S2分断贴合基板100A从而形成单位基板113。基板分断装置5配置于划线形成装置3的输送方向下游侧。基板分断装置5具有第一分断装置7。第一分断装置7通过沿着多个第一划线S1分断贴合基板100A从而形成多个条状基板111。第一分断装置7以与第一方向平行的方式延伸，并与贴合基板100A的多个第一划线S1对应地在输送方向上反复移动/分断。如图2所示，基板分断装置5具有基板吸附旋转装置201(基板吸附装置的一例)。基板吸附旋转装置201使多个条状基板111在俯视下旋转90度(后述)。基板分断装置5具有第二分断装置9。第二分断装置9配置于第一分断装置7的输送方向下游侧，且通过沿着第二划线S2分断多个条状基板111，从而形成多个单位基板113。第二分断装置9以与第一方向平行的方式延伸，并与多个条状基板111的多个第二划线S2对应地在输送方向上反复移动/分断。基板加工装置1具有拾取装置11。拾取装置11拾取多个单位基板113并向其它装置13输送。接着，对用于输送基板的输送装置29进行说明。输送装置29以划线形成装置3、第一分断装置7、第二分断装置9、拾取装置11的顺序输送基板。具体而言，输送装置29具有第一输送装置41、第二输送装置43、第三输送装置45。第一输送装置41在划线形成装置3与第一分断装置7之间延伸。第二输送装置43在第一分断装置7与第二分断装置9之间延伸。第三输送装置45在第二分断装置9与拾取装置11之间延伸。如图3所示，第一输送装置41具有第一带41a、多个辊41b、第一电动机41c(图4)。多个辊41b中的输送方向上游侧的辊及输送方向下游侧的辊能够在规定范围内向输送方向前后移动。如图3所示，第二输送装置43具有第二带43a(输送装置的一例)、多个辊43b、第二电动机43c(图4)。多个辊43b中的输送方向上游侧的辊及输送方向下游侧的辊能够在规定范围内向输送方向前后移动。如图3所示，第三输送装置45具有第三带45a、多个辊45b、第三电动机45c(图4)。多个辊45b中的输送方向上游侧的辊和输送方向下游侧的辊能够在规定范围内向输送方向前后移动。如图3所示，第一带41a的上表面部的输送方向下游侧端与第二带43a的上表面部的输送方向上游侧端隔着微小的间隙而接近。第二带43a的上表面部的输送方向下游侧端与第三带45a的上表面部的输送方向上游侧端隔着微小的间隙而接近。根据上述结构，在基板加工装置1中，当第一分断装置7分割贴合基板100A从而形成多个条状基板111时，与此同时，第二分断装置9分割多个条状基板111从而能够形成多个单位基板113。因而，基板加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板吸附装置，其用于对基板进行吸附并保持，具备：吸引部，其供给负压；以及多孔质吸附板，其安装于所述吸引部，并具有柔软性。

【技术特征摘要】
2017.11.30 JP 2017-2302541.一种基板吸附装置，其用于对基板进行吸附并保持，具备：吸引部，其供给负压；以及多孔质吸附板，其安装于所述吸引部，并具有柔软性。2.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述基板吸附装置还具有提起部，所述提起部在所述多孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：中田胜喜，谷垣内平道，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP