The utility model discloses a clamping mechanism and a semiconductor processing equipment, which relates to the technical field of semiconductor processing. The clamping mechanism includes a turntable, a fixing seat, a pressing block and a counterweight block, and the turntable is configured to rotate around its own center; a plurality of fixing seats are arranged on the turntable to support the workpiece; one side of each fixing seat away from the center of the turntable is rotated and connected with a pressing block. The pressing block is arranged that when the turntable rotates, the lower end of the pressing block is raised so that the upper end of the pressing block is connected to the workpiece. Edge: The counterweight block can be disassembled and set at the lower end of the block, and the weight of the counterweight block on each block can be adjusted. The clamping mechanism is equipped with counterweight blocks. On the one hand, it can ensure the natural sagging of the pressing blocks when the turntable stops rotating, thus facilitating the removal and placing of the base plate. On the other hand, it can adjust the weight of the counterweight blocks on each pressing block, adjust the force exerted by the pressing blocks on the base plate, ensure the stability of the base plate and reduce the fragmentation rate.
【技术实现步骤摘要】
一种夹持机构及半导体加工设备
本技术涉及半导体加工
,尤其涉及一种夹持机构及半导体加工设备。
技术介绍
在半导体基板的加工过程中,很多工况下基板均需要处于旋转状态,这就需要夹持机构固定基板,保证基板的稳定,从而保证基板的加工精度,同时也可以避免基板边缘的毛刺划伤设备。目前,夹持机构对不同厚度的基板的夹持力恒定,当夹持机构固定较薄基板时,夹持力较大,基板容易碎裂,破片率较高;当夹持机构固定较厚的基板时,夹持力较小,基板固定不稳定,影响基板的加工精度。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提出一种夹持机构,可以对不同厚度的工件提供适宜的夹持力,在保证工件的稳定性的基础上避免工件碎裂。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种夹持机构,包括:转盘,所述转盘被配置为能够绕自身中心转动;多个固定座,多个所述固定座设置于所述转盘上,用于支撑工件;压块,每个所述固定座远离所述转盘的中心的一侧均转动连接有一个所述压块,所述压块被配置为当所述转盘转动时,所述压块的下端抬起,以使所述压块的上端抵接于所述工件的边缘;及配重块,可拆卸设置于所述压块的下端,且每个所述压块上的所述配重块的重量可调。其中,每个所述压块上设置的所述配重块的数量可调。其中,所述配重块与所述压块卡接或螺纹连接。其中,所述固定座的顶部凸设有顶柱,所述顶柱用于支撑所述工件。其中,所述顶柱的顶面设置有第一弹性层。其中,所述压块的上端朝向所述工件的表面设置有第二弹性层。其中,所述第二弹性层由橡胶或硅胶制成。其中,所述转盘包括:中心板;环形框架,所述环形框架与所述中心板同心设置,多个所述固定座均匀间隔设置于所述环形框架上; ...
【技术保护点】
1.一种夹持机构,其特征在于,包括:转盘(1),所述转盘(1)被配置为能够绕自身中心转动;多个固定座(2),多个所述固定座(2)设置于所述转盘(1)上,用于支撑工件(4);压块(3),每个所述固定座(2)远离所述转盘(1)的中心的一侧均转动连接有一个所述压块(3),所述压块(3)被配置为当所述转盘(1)转动时,所述压块(3)的下端抬起,以使所述压块(3)的上端抵接于所述工件(4)的边缘;及配重块(5),可拆卸设置于所述压块(3)的下端,且每个所述压块(3)上的所述配重块(5)的重量可调。
【技术特征摘要】
1.一种夹持机构,其特征在于,包括:转盘(1),所述转盘(1)被配置为能够绕自身中心转动;多个固定座(2),多个所述固定座(2)设置于所述转盘(1)上,用于支撑工件(4);压块(3),每个所述固定座(2)远离所述转盘(1)的中心的一侧均转动连接有一个所述压块(3),所述压块(3)被配置为当所述转盘(1)转动时,所述压块(3)的下端抬起,以使所述压块(3)的上端抵接于所述工件(4)的边缘;及配重块(5),可拆卸设置于所述压块(3)的下端,且每个所述压块(3)上的所述配重块(5)的重量可调。2.如权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,每个所述压块(3)上设置的所述配重块(5)的数量可调。3.如权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述配重块(5)与所述压块(3)卡接或螺纹连接。4.如权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述固定座(2)的顶部凸设有顶柱(21),所述顶柱(21)用于支撑所述工件(4)。5...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶国胜,贾智信,乔贵洲,王金华,饶潞,
申请(专利权)人:云谷固安科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
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