有检测、报警功能的碱洗槽盖板制造技术

本实用新型专利技术公开有检测、报警功能的碱洗槽盖板，包括盖板，盖板包括盖板框和转动盖，转动盖通过转动柱连接盖板框上的转轴固定座；盖板框包括电机、锁芯、电磁感应器、转轴固定座，盖板框一侧固定设置有电机，电机底部输出轴固定连接有锁芯，锁芯下方设置有电磁感应器，盖板框远离电磁感应器一侧表面均匀设置有转轴固定座；转动盖一侧由上到下固定设置有气泵机构、锁死机构和报警机构，气泵机构包括气泵和气管，气泵顶部输出端固定连接气管。本实用新型专利技术通过设置电磁感应器和报警机构，使得盖板未闭合时报警感应块无法与电磁感应器接触，电磁感应器将信号传送至信息处理板，信息处理板将报警信号传送至音频转换器，音频转换器通过喇叭发出报警信号。

Alkali Washing Tank Cover with Detection and Alarm Function

The utility model discloses an alkali washing trough cover plate with detection and alarm functions, including a cover plate, which comprises a cover plate frame and a rotating cover, and the rotating cover connects the rotating shaft fixing seat on the cover plate frame through a rotating column; the cover plate frame includes a motor, a lock core, an electromagnetic inductor and a rotating shaft fixing seat; the one side of the cover plate frame is fixed with an electric motor, and the output shaft at the bottom of the motor is fixed with a lock core, and the lower part of the lock core is fixed with a lock core. An electromagnetic inductor is installed, and a rotating shaft fixing seat is uniformly arranged on one side of the cover plate frame far from the surface of the electromagnetic inductor; an air pump mechanism, a locking mechanism and an alarm mechanism are fixed from top to bottom on the one side of the rotating cover. The air pump mechanism includes an air pump and a trachea, and the output terminal of the air pump is fixed to connect the trachea. The utility model provides an electromagnetic inductor and an alarm mechanism, which prevents the alarm induction block from contacting the electromagnetic inductor when the cover plate is not closed. The electromagnetic inductor transmits the signal to the information processing board, the information processing board transmits the alarm signal to the audio converter, and the audio converter sends the alarm signal through the horn.

【技术实现步骤摘要】
有检测、报警功能的碱洗槽盖板
本技术涉及半导体湿式制程设备，具体涉及有检测、报警功能的碱洗槽盖板。
技术介绍
在半导体制程中，去毛边机每个工序的槽体都有透明的、易于观察进程的盖板。由于碱洗槽是使用碱性溶液对QFN零件进行清洗，所以必须保证工作环境是密闭的，以防碱性溶液飞溅造成人身伤害。目前碱洗槽盖板是否盖好需要人工检查，所以急需要一种有检测、报警功能的碱洗槽盖板。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题，本技术的目的在于提供有检测、报警功能的碱洗槽盖板，通过设置电磁感应器和报警机构，使得盖板未闭合时报警感应块无法与电磁感应器接触，电磁感应器将信号传送至信息处理板，信息处理板将报警信号传送至音频转换器，音频转换器通过喇叭发出报警信号。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：有检测、报警功能的碱洗槽盖板，包括盖板，所述盖板包括盖板框和转动盖，所述转动盖通过转动柱连接盖板框上的转轴固定座；所述盖板框包括电机、锁芯、电磁感应器、转轴固定座，所述盖板框一侧固定设置有电机，所述电机底部输出轴固定连接有锁芯，所述锁芯下方设置有电磁感应器，所述盖板框远离电磁感应器一侧表面均匀设置有转轴固定座；所述转动盖一侧由上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.有检测、报警功能的碱洗槽盖板，包括盖板(1)，其特征在于，所述盖板(1)包括盖板框(2)和转动盖(3)，所述转动盖(3)通过转动柱(26)连接盖板框(2)上的转轴固定座(7)；所述盖板框(2)包括电机(4)、锁芯(5)、电磁感应器(6)、转轴固定座(7)，所述盖板框(2)一侧固定设置有电机(4)，所述电机(4)底部输出轴固定连接有锁芯(5)，所述锁芯(5)下方设置有电磁感应器(6)，所述盖板框(2)远离电磁感应器(6)一侧表面均匀设置有转轴固定座(7)；所述转动盖(3)一侧由上到下固定设置有气泵机构(8)、锁死机构(9)和报警机构(10)，所述气泵机构(8)包括气泵(11)和气管(111)...

【技术特征摘要】
1.有检测、报警功能的碱洗槽盖板，包括盖板(1)，其特征在于，所述盖板(1)包括盖板框(2)和转动盖(3)，所述转动盖(3)通过转动柱(26)连接盖板框(2)上的转轴固定座(7)；所述盖板框(2)包括电机(4)、锁芯(5)、电磁感应器(6)、转轴固定座(7)，所述盖板框(2)一侧固定设置有电机(4)，所述电机(4)底部输出轴固定连接有锁芯(5)，所述锁芯(5)下方设置有电磁感应器(6)，所述盖板框(2)远离电磁感应器(6)一侧表面均匀设置有转轴固定座(7)；所述转动盖(3)一侧由上到下固定设置有气泵机构(8)、锁死机构(9)和报警机构(10)，所述气泵机构(8)包括气泵(11)和气管(111)，所述气泵(11)顶部输出端固定连接气管(111)；所述锁死机构(9)包括锁块固定板(12)、弹簧限位板(13)、第一转动轴(14)、弹簧(15)、锁块滑动座(16)、锁块(17)、转动杆(18)、第二转动轴(19)、固定杆(20)和伸缩板(21)，所述锁块固定板(12)顶部一侧固定设置弹簧限位板(13)，所述锁块固定板(12)远离弹簧限位板(13)一侧顶部和底部均固定设置有第一转动轴(14)，所述弹簧限位板(13)一端固定设置有弹簧(15)，所述弹簧(15)远离弹簧限位板(13)一侧固定连接有锁块滑动座(16)，所述锁块滑动座(16)一侧固定设置有锁块(17)，所述第一转动轴(14)同轴转动连接有转动杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘梦梦，罗文滨，魏杰，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34