The utility model relates to a probe stage, which comprises a probe stage body, a shell and a glove. The shell has a chamber. The probe stage body is arranged in the chamber. The shell is provided with a through hole, which is connected with the chamber. The glove is connected with the shell, and the glove closes the through hole. The glove is at least partially movably arranged in the cavity. Indoor. The probe body is set in the chamber. During the process of dehumidification and cooling of the chamber environment, the hand is put into the glove, and the hand is put into the chamber through the glove to adjust the probe position of the probe body. On the one hand, it avoids opening the shell repeatedly by adjusting the probe, thus saving the test time, on the other hand, it avoids repeating dehumidification and cooling of the chamber. Thus, the test time is reduced, the test is more efficient, and the operation of dehumidification and cooling can reduce the power consumption of probe and the cost of single test.
【技术实现步骤摘要】
探针台
本技术涉及显示屏检测领域,特别是涉及一种探针台。
技术介绍
通过在玻璃基板上集成薄膜晶体管以形成液晶显示面板,液晶显示面板以下简称显示面板,在生产显示面板过程中,以相同的工艺在玻璃基板上制作出用于检测薄膜晶体管特性的测试元件组合(TestElementGroup,简称TEG),通过半导体检测设备来测试元件组合的电特性,其测试结果能反映显示面板的电特性,目前的其中一种半导体检测设备为探针台。由于液晶显示屏的应用越发广泛,致使对液晶显示屏在不同工作环境的要求也越来越高,故需测试显示面板的低温性能,目前通过探针台进行测试,探针台本体设置在一密封的壳体内,测试前需要对壳体内部进行抽湿处理,抽湿完毕后再进行降温。在抽湿过程中,设备会发生震动使得探针偏位;在降温过程中,由于温度急速下降,会引起探针、玻璃的冷缩,导致探针偏位。若打开壳体对探针进行调整,则需要再次对壳体内部进行抽湿和降温,效率低下。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种探针台。一种探针台,包括探针台本体、壳体和手套,所述壳体内具有腔室,所述探针台本体设置于所述腔室内,所述壳体上开设有通孔,所述通孔与所述腔室连通,所述手套与所述壳体连接,且所述手套封闭所述通孔,所述手套至少部分活动设置于所述腔室内,且所述壳体至少部分设置为透明结构。上述实施例的所述探针台,探针台本体设置于腔室内,对腔室内的环境进行抽湿和降温过程中,将手伸入手套内,并使得手通过手套伸入腔室内以调整探针台本体的探针位置,一方面避免因多次调整探针而重复打开壳体,从而节省测试时间,另一方面避免重复对腔室内抽湿和降温。从而减少测试时间,使测试更加高效 ...
【技术保护点】
1.一种探针台,其特征在于,包括探针台本体、壳体和手套,所述壳体内具有腔室,所述探针台本体设置于所述腔室内,所述壳体上开设有通孔,所述通孔与所述腔室连通,所述手套与所述壳体连接,且所述手套封闭所述通孔,所述手套至少部分活动设置于所述腔室内,且所述壳体至少部分设置为透明结构。
【技术特征摘要】
1.一种探针台,其特征在于,包括探针台本体、壳体和手套,所述壳体内具有腔室,所述探针台本体设置于所述腔室内,所述壳体上开设有通孔,所述通孔与所述腔室连通,所述手套与所述壳体连接,且所述手套封闭所述通孔,所述手套至少部分活动设置于所述腔室内,且所述壳体至少部分设置为透明结构。2.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于,所述通孔的数量和所述手套的数量分别为两个,所述通孔与所述手套一一对应设置。3.根据权利要求2所述的探针台,其特征在于,两个所述通孔之间的距离为400mm~500mm。4.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于,所述通孔的截面形状为三角形、矩形、圆形和多边形中的其中一种。5.根据权利要求1所述的探针台,其特征在于,还包括法兰和螺栓,所述法兰开设有伸入口和螺口,所述手套上开设有通口,所述壳体开设有螺孔,所述法兰的外侧表面通过所述手套抵接于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐阳,刘力明,黄伟东,丁俊,
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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