检查装置及检查方法制造方法及图纸

本申请的发明专利技术涉及的检查装置具备：固定板；多个伸缩部，它们的一端固定于固定板；多个接触探针，它们各自固定于多个伸缩部的另一端；以及多个固定部，它们分别针对多个接触探针而设置，各固定部对固定状态、开放状态进行切换，该固定状态为将多个接触探针中的对应的接触探针的上端固定于第1位置，该开放状态为不固定该接触探针，在固定状态下，接触探针被多个伸缩部中的对应的伸缩部朝向固定板拉拽，在开放状态下，接触探针的上端配置于与第1位置相比接近固定板的第2位置。

Inspection device and method

The invention of this application involves a checking device comprising: a fixed plate; a plurality of expansion parts, one end of which is fixed on the fixed plate; a plurality of contact probes, each fixed at the other end of a plurality of expansion parts; and a plurality of fixed parts, which are respectively set for a plurality of contact probes, and each fixed part switches between a fixed state and an open state, the fixed state being to fix a plurality of contacts. The upper end of the corresponding contact probe in the probe is fixed at the first position. The open state is that the contact probe is not fixed. In the fixed state, the contact probe is pulled towards the fixed plate by the corresponding expansion part in the plurality of expansion parts. In the open state, the upper end of the contact probe is arranged at the second position close to the fixed plate compared with the first position.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置及检查方法
本专利技术涉及电力半导体的检查装置及检查方法。
技术介绍
在专利文献1中公开了用于半导体集成电路的检查的检查夹具。专利文献1：日本特开2010-20936号公报
技术实现思路
通常，在电力半导体装置的夹具中，为了确保电流容量，与检查对象的芯片布局相匹配地设计及制作夹具。因此，如果芯片布局的种类增加，则夹具的种类增加。因此，夹具的设计时间变长，开发费用变高。另外，制作出的夹具需要被保管及管理。因此，如果夹具的种类增加则难以确保保管位置。另外，夹具的管理费用会增加。本专利技术就是为了解决上述问题而提出的，其第1目的在于，得到能够对多个产品共通地使用的检查装置。本专利技术的第2目的在于，得到使用能够对多个产品共通地使用的检查装置的检查方法。本申请的专利技术涉及的检查装置具备：固定板；多个伸缩部，它们的一端固定于该固定板；多个接触探针，它们各自固定于该多个伸缩部的另一端；以及多个固定部，它们分别针对该多个接触探针而设置，各固定部对固定状态、开放状态进行切换，该固定状态为将该多个接触探针中的对应的接触探针的上端固定于第1位置，该开放状态为不固定该接触探针，在该固定状态下，该接触探针被该多个伸缩部中的对应的伸缩部朝向该固定板拉拽，在该开放状态下，该接触探针的上端配置于与该第1位置相比接近该固定板的第2位置。本申请的专利技术涉及的检查方法使用检查装置，该检查装置具备：固定板；多个伸缩部，它们的一端固定于该固定板；多个接触探针，它们各自固定于该多个伸缩部的另一端；以及多个固定部，它们分别针对该多个接触探针而设置，各固定部对固定状态、开放状态进行切换，该固定状态为将该多个接触探针中的对应的接触探针的上端固定于第1位置，该开放状态为不固定该接触探针，该检查方法具备如下工序：准备检查装置的工序；固定工序，将该多个固定部设为该固定状态；接触工序，在该固定工序后，使该多个接触探针与检查对象接触；测定工序，在使该多个接触探针与该检查对象接触的状态下，对该多个接触探针的每一个电流电压特性进行测定；切换工序，与该电流电压特性对应地，对该多个固定部中的从该固定状态切换为该开放状态的固定部进行选择，将该选择出的固定部从该固定状态切换为该开放状态；以及检查工序，在该切换工序后，使该多个接触探针与该检查对象接触而进行检查，在该固定状态下，该接触探针被该多个伸缩部中的对应的伸缩部朝向该固定板拉拽，在该开放状态下，该接触探针的上端配置于与该第1位置相比接近该固定板的第2位置，上端被固定于该第1位置的该接触探针保持弹力地与检查对象接触，上端被配置于该第2位置的该接触探针不与该检查对象接触。专利技术的效果在本申请的专利技术涉及的检查装置中，能够通过固定部及伸缩部将各自的接触探针的上端配置于第1位置或第2位置。在检查中使用的接触探针的上端固定于第1位置。另外，在检查中不使用的接触探针的上端配置于第2位置。因此，通过对固定于第1位置的接触探针进行选择，能够将检查装置应用于多个产品。在本申请的专利技术涉及的检查方法中，根据接触探针的电流电压特性，对在检查中使用的接触探针进行选择。选择出的接触探针的上端固定于第1位置。另外，在检查中不使用的接触探针的上端配置于第2位置。在第2位置，接触探针不与检查对象接触。因此，能够将检查装置应用于多个产品。附图说明图1是实施方式1涉及的检查装置的剖视图。图2是实施方式1涉及的接触探针的仰视图。图3是说明实施方式1涉及的检查方法的图。图4是说明实施方式1涉及的固定工序的图。图5是表示使接触探针与检查对象接触的状态的图。图6是说明实施方式1涉及的测定工序的图。图7是说明实施方式1涉及的接触探针的电流电压特性的图。图8是表示切换工序的实施后的状态的图。图9是表示设定了销配置的状态的检查装置的图。图10是说明实施方式2涉及的测定工序的图。图11是说明实施方式2涉及的接触探针的电流电压特性的图。图12是表示实施方式3涉及的检查装置的初始状态的图。图13是说明实施方式3涉及的固定工序的图。图14是说明实施方式3涉及的接触工序的图。图15是说明实施方式3涉及的切换工序的图。图16是表示设定了销配置的状态的检查装置的图。具体实施方式参照附图，对本专利技术的实施方式涉及的检查装置及检查方法进行说明。有时对相同或对应的结构要素标注相同标号，省略重复说明。实施方式1.图1是实施方式1涉及的检查装置的剖视图。检查装置10具备固定板24。在固定板24的背面固定有多个伸缩部11的一端。在本实施方式中，伸缩部11是由金属形成的弹簧。多个伸缩部11的另一端各自固定有接触探针19。每一个接触探针19具备探针销15和保持部13。保持部13对探针销15的上部进行保持及收容。保持部13的一端固定于伸缩部11的另一端。探针销15的下部从保持部13的另一端露出。探针销15的上部形成有未图示的弹簧。如果向固定板24按压，则探针销15保持由弹簧引起的弹力而压入至保持部13。因此，多个接触探针19具有伸缩性。在检查时，探针销15的下端保持弹力地与检查对象接触。固定板24、伸缩部11及接触探针19收容于框体22。多个接触探针19保持于框部14。框部14的上部收容于框体22。另外，框部14的下部从框体22露出。每一个接触探针19被框部14引导，上下地动作。另外，伴随着接触探针19的移动，对应的伸缩部11进行伸缩。在本实施方式中，伸缩部11具有导电性。探针销15和伸缩部11电连接。在固定板24的背面，伸缩部11的一端连接于配线20。配线20连接于控制部40。控制部40为测试仪。下夹具17配置于接触探针19的下方。下夹具17是搭载检查对象的部分。下夹具17和控制部40通过配线21连接。在本实施方式中，通过伸缩部11将接触探针19和配线20导通。因此，不需要另外设置用于将接触探针19和配线20之间电连接的部件。因此，能够将检查装置10的构造简化。相对于此，伸缩部11也可以由橡胶形成。在该情况下，能够提高伸缩部11的耐久性。另外，在该情况下，与伸缩部11分开地设置用于将接触探针19和配线20之间电连接的部件。另外，在图1中伸缩部11为收缩后的状态。在多个接触探针19处，各自设置固定部12。固定部12设置于框部14之上。固定部12是在伸缩部11伸长而与图1所示的位置相比将接触探针19配置于下方的状态下，用于固定接触探针19的部件。各固定部12固定各自对应的接触探针19。另外，固定部12的每一个通过配线41连接于控制部40。图2是实施方式1涉及的接触探针的仰视图。在框体22的内部，在纵向及横向排列地配置有6个接触探针19。检查装置10具备36个接触探针19。检查装置10所具备的接触探针19的数量并不限于此。另外，在本实施方式中，在纵向及横向配置了相同数量的接触探针19，但在纵向及横向的配置的接触探针19的数量也可以不同。框部14设置为格子状，以使得嵌入相邻的接触探针19之间及接触探针19和框体22之间。另外，在本实施方式中保持部13在仰视观察中为正方形。保持部13的形状并不限于此，也可以在仰视观察中为长方形或圆形。在该情况下，在框部14设置与保持部13的形状相匹配的开口。下面，对使用检查装置10的检查方法进行说明。图3是说明实施方式1涉及的检查方法的图。在图3中，在下夹具17的上表面搭载有检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查装置，其特征在于，具备：固定板；多个伸缩部，它们的一端固定于所述固定板；多个接触探针，它们各自固定于所述多个伸缩部的另一端；以及多个固定部，它们分别针对所述多个接触探针而设置，各固定部对固定状态、开放状态进行切换，该固定状态为将所述多个接触探针中的对应的接触探针的上端固定于第1位置，该开放状态为不固定所述接触探针，在所述固定状态下，所述接触探针被所述多个伸缩部中的对应的伸缩部朝向所述固定板拉拽，在所述开放状态下，所述接触探针的上端配置于与所述第1位置相比接近所述固定板的第2位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查装置，其特征在于，具备：固定板；多个伸缩部，它们的一端固定于所述固定板；多个接触探针，它们各自固定于所述多个伸缩部的另一端；以及多个固定部，它们分别针对所述多个接触探针而设置，各固定部对固定状态、开放状态进行切换，该固定状态为将所述多个接触探针中的对应的接触探针的上端固定于第1位置，该开放状态为不固定所述接触探针，在所述固定状态下，所述接触探针被所述多个伸缩部中的对应的伸缩部朝向所述固定板拉拽，在所述开放状态下，所述接触探针的上端配置于与所述第1位置相比接近所述固定板的第2位置。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述多个接触探针具有伸缩性，上端固定于所述第1位置、收缩后的状态下的所述多个接触探针的下端，与上端配置于所述第2位置、拉伸后的状态下的所述多个接触探针的下端相比，配置于下方。3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，具备：下夹具，其配置于所述多个接触探针的下方；以及测定电路，其对所述多个接触探针的每一个和所述下夹具之间的电流电压特性进行测定。4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，所述多个接触探针中的1个为基准探针，该检查装置具备测定电路，该测定电路对所述基准探针和除了所述基准探针之外的所述多个接触探针的每一个之间的电流电压特性进行测定。5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其特征在于，具备控制部，该控制部将所述多个固定部的每一个从所述固定状态切换为所述开放状态。6.根据权利要求3或4所述的检查装置，其特征在于，具备控制部，该控制部将所述多个固定部的每一个从所述固定状态切换为所述开放状态，所述控制部与所述电流电压特性对应地，对所述多个固定部中的从所述固定状态切换为所述开放状态的固定部进行选择。7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，所述控制部对所述电流电压特性进行存储，将存储的所述电流电压特性读出，对所述多个固定部中的从所述固定状态切换为所述开放状态的固定部进行选择。8.根据权利要求1至7中任一项所述的检查装置，其特征在于，所述多个伸缩部由橡胶形成。9.根据权利要求1至7中任一项所述的检查装置，其特征在于，所述多个伸缩部具有导电性。10.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，所述下夹具具备弹簧探针或导线探针。11.一种检查方法，其特征在于，该检查方法具备如下工序：准备检查装置的工序，该检查装置具备：固定板；多个伸缩部，它们的一端固定于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：鹿口直斗，海老池勇史，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP