一种镀膜设备的真空阀门制造技术

本实用新型专利技术适用于镀膜机配件领域，提供了一种镀膜设备的真空阀门，包括阀体、阀芯和直线步进电机，阀体包括第一通道和垂直于第一通道设置的第二通道，第一通道与第二通道连通，第一通道末端固定连接直线步进电机，直线步进电机输出端固定连接阀芯，直线步进电机的输出端驱动阀芯在第一通道左右移动，实现阀体的闭合，直线步进电机的输出长度大于第一通末端至第二通道，第一通道首端设置有凹槽，凹槽内设置有防溅板，通过设置防溅板，防止镀膜机的真空系统内工作时溅射出来的靶材将阀门堵塞，防止溅射进靶材到阀门内影响润滑效果，提高阀门的使用寿命，确保阀门长期使用下灵活性和密封度，且本实用新型专利技术结构简单，整体刚度高，故障率低且造价低。

A Vacuum Valve for Coating Equipment

The utility model is suitable for the field of coating machine accessories, and provides a vacuum valve of coating equipment, including a valve body, a valve core and a linear stepping motor. The valve body includes a first channel and a second channel perpendicular to the first channel. The first channel is connected with the second channel, and the end of the first channel is fixed with the linear stepping motor, and the output terminal of the linear stepping motor is fixed with the valve core and straight. The output end of the linear stepper motor drives the spool to move around the first channel to close the valve body. The output length of the linear stepper motor is longer than that of the first through end to the second channel. A groove is arranged at the first channel end and a splash-proof plate is arranged in the groove. By setting a splash-proof plate, the target sputtered from the vacuum system of the coating machine can be prevented from blocking the valve and preventing splashing. The lubrication effect is affected by entering the target material into the valve, the service life of the valve is improved, and the flexibility and sealing degree of the valve in long-term use are ensured. The utility model has the advantages of simple structure, high overall stiffness, low failure rate and low cost.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备的真空阀门
本技术属于镀膜机配件领域，尤其涉及一种镀膜设备的真空阀门。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，其使用范围包括建筑五金：卫浴五金如水龙头.门锁.门拉手.卫浴、五金合叶、家具等；制表业：可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品；其它小五金：皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等；大型工件：汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等；不锈钢管和板(各种类型表面)；家具、灯具、宾馆用具；锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金制品镀超硬装饰膜；手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰金银，纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。但是目前市场上真空镀膜机中用于真空腔内提供真空系统的真空阀门故障率较高，主要由于溅射类真空镀膜机工作时溅射出来的靶材将阀门堵塞，同时影响阀门的灵敏度和密封度，最终影响镀膜质量，使得镀膜机的检测和维修频率，浪费了资金费用。
技术实现思路
本技术提供一种镀膜设备的真空阀门，旨在解决镀膜机真空阀门的使用寿命的问题。本技术是这样实现的，一种镀膜设备的真空阀门，包括阀体、阀芯和直线步进电机，所述阀体包括第一通道和垂直于第一通道设置的第二通道，所述第一通道与第二通道连通，所述第一通道末端固定连接所述直线步进电机，所述直线步进电机输出端固定连接所述阀芯，所述直线步进电机的输出端驱动阀芯在所述第一通道左右移动，实现阀体的闭合，所述直线步进电机的输出长度大于所述第一通末端至所述第二通道，所述第一通道首端设置有圆形的凹槽，所述凹槽内设置有防溅板，所述防溅板沿第一通道径向设置，所述防溅板设置有设置有两组，所述两组防溅板之间交错设置。更进一步地，所述防溅板为“V”字型，所述防溅板的尖端朝所述第一通道内部方向设置。更进一步地，所述第一通道的首端内部至接近与所述第二通道的交接处呈喇叭状设置，其靠近第一通道首端为大端，靠近尾端方向为小端。更进一步地，所述第一通道两端设置有向第一通道轴线方向凸起的封油槽。更进一步地，所述阀芯外圈设置有密封胶圈。更进一步地，所述阀芯中心设置有螺纹盲孔，直线步进电机的输出轴轴端设置有螺纹，所述阀芯与所述直线步进电机的输出轴为螺纹固定。更进一步地，所述第一通道的两端和所述第二通道的上端均设置有法兰盘。更进一步地，所述第一通道的两端和所述第二通道的上端的各个法兰盘连接处均设置有密封胶圈。更进一步地，所述防溅板与所述凹槽为焊接。更进一步地，所述阀体为304不锈钢材质。本技术所达到的有益效果：通过设置防溅板，防止镀膜机的真空系统内工作时溅射出来的靶材将阀门堵塞，防止溅射进靶材到阀门内影响润滑效果，提高阀门的使用寿命，确保阀门长期使用下灵活性和密封度，且本技术结构简单，整体刚度高，故障率低且造价低。附图说明图1是本技术提供的一种镀膜设备的真空阀门的结构示意图。图2是本技术提供的一种镀膜设备的真空阀门的关闭状态图。图3是本技术提供的一种镀膜设备的真空阀门的开启状态图。图中：1-阀体；11-第一通道；12-第二通道；13-封油槽；2-阀芯；3-直线步进电机；4-防溅板。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1-图3所示，一种镀膜设备的真空阀门，包括阀体1、阀芯2和直线步进电机3，所述阀体1包括第一通道11和垂直于第一通道11设置的第二通道12，所述第一通道11与第二通道12连通，所述第一通道11用于连接真空系统，所述第二通道12用于连接真空泵，所述第一通道11末端固定连接所述直线步进电机3，所述直线步进电机3输出端固定连接所述阀芯2，所述直线步进电机3的输出端驱动阀芯2在所述第一通道11左右移动，实现阀体的闭合，所述直线步进电机3的输出长度大于所述第一通11末端至所述第二通道12，所述第一通道11首端设置有圆形的凹槽，所述凹槽内设置有防溅板4，所述防溅板4沿第一通道11径向设置，所述防溅板4设置有设置有两组，所述两组防溅板4之间交错设置，通过设置防溅板4，防止镀膜机的真空系统内工作时溅射出来的靶材将阀门堵塞，防止溅射进靶材到阀门内影响润滑效果，提高阀门的使用寿命，确保阀门长期使用下灵活性和密封度。所述防溅板4为“V”字型，所述防溅板的尖端朝所述第一通道内部方向设置；所述第一通道11的首端内部至接近与所述第二通道12的交接处呈喇叭状设置，其靠近第一通道11首端为大端，靠近尾端方向为小端，为了弥补防溅板4所带来的气流通道边窄；所述第一通道11两端设置有向第一通道11轴线方向凸起的封油槽13；所述阀芯2外圈设置有密封胶圈；所述阀芯2中心设置有螺纹盲孔，直线步进电机3的输出轴轴端设置有螺纹，所述阀芯2与所述直线步进电机3的输出轴为螺纹固定；所述第一通道11的两端和所述第二通道的上端均设置有法兰盘，所述第一通道11的首端通过法兰盘连接镀膜机，尾端通过法兰盘连接所述直线步进电机3，所述第二通道连接真空泵；所述第一通道11的两端和所述第二通道的上端的各个法兰盘连接处均设置有密封胶圈。所述防溅板4与所述凹槽为焊接；所述阀体1为304不锈钢材质。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备的真空阀门，其特征在于，包括阀体、阀芯和直线步进电机，所述阀体包括第一通道和垂直于第一通道设置的第二通道，所述第一通道与第二通道连通，所述第一通道末端固定连接所述直线步进电机，所述直线步进电机输出端固定连接所述阀芯，所述直线步进电机的输出端驱动阀芯在所述第一通道左右移动，实现阀体的闭合，所述直线步进电机的输出长度大于所述第一通末端至所述第二通道，所述第一通道首端设置有圆形的凹槽，所述凹槽内设置有防溅板，所述防溅板沿第一通道径向设置，所述防溅板设置有设置有两组，所述两组防溅板之间交错设置。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备的真空阀门，其特征在于，包括阀体、阀芯和直线步进电机，所述阀体包括第一通道和垂直于第一通道设置的第二通道，所述第一通道与第二通道连通，所述第一通道末端固定连接所述直线步进电机，所述直线步进电机输出端固定连接所述阀芯，所述直线步进电机的输出端驱动阀芯在所述第一通道左右移动，实现阀体的闭合，所述直线步进电机的输出长度大于所述第一通末端至所述第二通道，所述第一通道首端设置有圆形的凹槽，所述凹槽内设置有防溅板，所述防溅板沿第一通道径向设置，所述防溅板设置有设置有两组，所述两组防溅板之间交错设置。2.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述防溅板为“V”字型，所述防溅板的尖端朝所述第一通道内部方向设置。3.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述第一通道的首端内部至接近与所述第二通道的交接处呈喇叭状设置，其靠近第一通道首端为大端，靠近尾...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孟良，梅艳红，王孟仁，高春玲，陈卓，梅洪蕾，陈春奇，许进，周强，孟健，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44