The invention relates to the technical field of laser processing, in particular to a laser processing equipment with a microchannel heat dissipation device, including a rack and a laser head on the rack. The laser head is provided with a microchannel heat dissipation device, and the semiconductor laser in the laser head is arranged on the upper cover plate of the microchannel heat dissipation device. When the laser head works, the area conformation of the upper cover plate is provided with a semiconductor laser. In high temperature area, microchannel radiator can cool high temperature area. The invention can stably, reliably, efficiently and rapidly reduce the temperature of high temperature region by setting a microchannel heat sink device, so that the semiconductor laser can work steadily and reliably, thereby ensuring the reliability of the performance of the whole laser processing equipment, and ensuring that the laser processing equipment can process stably, reliably, fast and efficiently.
【技术实现步骤摘要】
一种具有微通道散热装置的激光加工设备
本专利技术涉及微通道降温
,具体而言,涉及一种具有微通道散热装置的激光加工设备。
技术介绍
激光加工是激光系统最常用的应用,其中,激光热加工是最常见的应用形式。具体来说,激光热加工是指利用激光束投射到材料表面产生的热效应来完成加工过程,包括激光焊接、激光切割、表面改性、激光镭射打标、激光钻孔和微加工等。激光热加工的系统中,半导体激光器是核心部件,用去产生高强度的激光束。近年来,随着使用者需求的提高以及研究的深入,大功率半导体激光器的性能得到了快速的提升。但是,随着大功率半导体激光器功率的增大,器件产生的热量也越来越大。半导体激光器温度急剧上升后,会使得输出波长发生变化,光电转化效率降低,输出功率减小,影响加工效率和加工精度。传统的散热方式包括半导体制冷、热管传热、喷雾冷却,这些散热方式能满足激光器温度控制,但是散热能力有限,无法满足大功率激光器的散热需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有微通道散热装置的激光加工设备,以解决现有技术中传统散热方式无法满足大功率激光器散热需求的问题。为了实现上述目的,本专利技术提供了一种具有微通道散热装置的激光加工设备,包括机架和设于所述机架上的激光头,所述激光头设有微通道散热装置,所述微通道散热装置包括由下至上依次叠放设置且外形及尺寸一致的下底板、散热板和上盖板,所述激光头中的半导体激光器设于所述上盖板上,在所述激光头工作时,所述上盖板上设有所述半导体激光器的区域会形成高温区域,其中,所述上盖板上设有进液孔和出液孔,所述进液孔和所述出液孔位于所述上盖板的同一端,所述散热 ...
【技术保护点】
1.一种具有微通道散热装置的激光加工设备,包括机架和设于所述机架上的激光头,其特征在于,所述激光头设有微通道散热装置,所述微通道散热装置包括由下至上依次叠放设置且外形及尺寸一致的下底板、散热板和上盖板,所述激光头中的半导体激光器设于所述上盖板上,在所述激光头工作时,所述上盖板上设有所述半导体激光器的区域会形成高温区域,其中,所述上盖板上设有进液孔和出液孔,所述进液孔和所述出液孔位于所述上盖板的同一端,所述散热板设有与所述进液孔对应的进液腔,沿着所述散热板的长度方向,所述散热板远离所述进液腔的一端设有散热腔,所述散热腔远离所述进液腔的一侧设有微通道,所述进液腔和所述散热腔之间通过回形弯曲设置的导液通道连通,从所述导液通道进入所述散热腔的液体能够被所述上盖板上的高温区域汽化,形成汽雾,在所述散热板的背面与所述散热腔相对应的位置设有回流腔,所述微通道远离所述进液腔的一端设有与所述回流腔连通的流回孔,在所述散热板的背面与所述出液孔相对应的位置设有回流出液孔,所述回流出液孔和所述回流腔通过回流通道连通。
【技术特征摘要】
1.一种具有微通道散热装置的激光加工设备,包括机架和设于所述机架上的激光头,其特征在于,所述激光头设有微通道散热装置,所述微通道散热装置包括由下至上依次叠放设置且外形及尺寸一致的下底板、散热板和上盖板,所述激光头中的半导体激光器设于所述上盖板上,在所述激光头工作时,所述上盖板上设有所述半导体激光器的区域会形成高温区域,其中,所述上盖板上设有进液孔和出液孔,所述进液孔和所述出液孔位于所述上盖板的同一端,所述散热板设有与所述进液孔对应的进液腔,沿着所述散热板的长度方向,所述散热板远离所述进液腔的一端设有散热腔,所述散热腔远离所述进液腔的一侧设有微通道,所述进液腔和所述散热腔之间通过回形弯曲设置的导液通道连通,从所述导液通道进入所述散热腔的液体能够被所述上盖板上的高温区域汽化,形成汽雾,在所述散热板的背面与所述散热腔相对应的位置设有回流腔,所述微通道远离所述进液腔的一端设有与所述回流腔连通的流回孔,在所述散热板的背面与所述出液孔相对应的...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹海东,王跃辉,
申请(专利权)人:苏州匠恒智造科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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