The invention provides a master plate with concave-convex structure arranged continuously in high precision on the peripheral surface including concave or convex parts and a manufacturing method of the master plate. The master plate comprises a cylindrical or cylindrical base material; and a concave-convex structure formed on the peripheral surface of the base material; the concave-convex structure is a structure that continuously arranges concave or convex parts in a fixed period on the circumference of the base material; and the concave or convex parts are arranged with a prescribed phase difference between adjacent peripheries on the axis of the base material. The manufacturing method of the master includes the steps of sharing a reference clock through a plurality of signal generating circuits, generating a rotation control signal and an exposure signal through the plurality of signal generating circuits, and rotating a cylinder or cylindrical base material on the central axis of the base material based on the rotation control signal, and scanning the base material on the axial direction based on the exposure signal. A laser beam is traced and irradiated on the peripheral surface of the substrate, and the steps for forming a pattern on the peripheral surface of the substrate are described.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】母盘、转印物及母盘的制造方法
本专利技术涉及母盘、转印物及母盘的制造方法。
技术介绍
近年来，作为细微加工技术的一种，将在表面形成细微凹凸结构的圆柱形状的母盘推压至树脂片等，将在母盘表面上形成凹凸结构转印至树脂片的压印技术的开发正在进行。压印技术中使用的母盘例如使用基于激光的光刻技术制造。具体地，通过使圆柱形状的基材以中心轴为轴旋转，在基材的轴向上扫描并向基材照射激光，在圆柱形状的基材的外周面上形成连续的图案，由此制造母盘。在这里，与其它细微加工技术一样，对压印技术也追求加工精度的进一步提高。尤其是，将形成了凹凸结构的转印物作为防反射膜等光学部件使用时，为了降低衍射散射及提高光学特性，追求提高凹凸的填充密度且精密地控制凹凸的排列。此外，在使用了表面等离子的过滤器及面向发光设备的基材中，也追求精密控制转印物上设置的凹凸结构的排列。因此，追求在用于压印技术中的圆柱形状的母盘的外周面上，以更高精度控制曝光图案的排列的技术。例如，在下述的专利文献1中，公开了在筒状部件上形成曝光图案时，将旋转控制信号的启动脉冲用作基准，控制曝光启动位置的纳米压印用塑模的曝光方法。在专利文献...
【技术保护点】
1.一种母盘，其特征在于，包括圆筒或圆柱形状的基材；以及在所述基材的外周面形成的凹凸结构；其中，所述凹凸结构是在所述基材的周向上凹部或凸部以固定周期连续排列的结构；在所述基材的轴向上相邻的周之间，所述凹部或凸部互相保持规定的相位差而排列。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.16 JP 2016-1818441.一种母盘，其特征在于，包括圆筒或圆柱形状的基材；以及在所述基材的外周面形成的凹凸结构；其中，所述凹凸结构是在所述基材的周向上凹部或凸部以固定周期连续排列的结构；在所述基材的轴向上相邻的周之间，所述凹部或凸部互相保持规定的相位差而排列。2.根据权利要求1所述的母盘，其特征在于，所述凹凸结构不包含沿所述基材的轴向未形成所述凹部或凸部的空白区域以及形成了与所述凹部或凸部不同排列的凹部或凸部的误差区域。3.根据权利要求1或2所述的母盘，其特征在于，所述凹凸结构为所述凹部或凸部呈六边形格子状排列的结构。4.根据权利要求1～3任一项所述的母盘，其特征在于，所述凹部或凸部的平均周期小于1μm。5.根据权利要求1～4任一项所述的母盘，其特征在于，所述基材的至少外周面由玻璃材料构成。6.一种母盘的制造方法，其特征在于，包括通过多个信号生成电路共用基准时钟，通过各个所述多个信号生成电路生成旋转控制信号和曝光信号的步骤；以及基于所述旋转控制信号使圆筒或圆柱形状的基材以所述基材的中心轴为轴旋转，并且，基于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：村本穣，菊池正尚，
申请(专利权)人：迪睿合株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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