研磨载体保管装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域。研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架、一用于放置研磨载体的置物篮，且置物篮设置在水槽内；置物篮包括包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；置物篮还包括纵向设置的置物板，置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成置物篮；还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，驱动机构安装在机架上，且驱动机构驱动连接置物篮。本专利通过优化传统的研磨载体保管装置，通过优化置物篮的结构，便于实现研磨载体的水平放置，避免了竖直放置导致的研磨载体容易发生形变的问题。通过驱动机构便于实现置物篮的升降，进而避免人为将置物篮搬运出，接触到纯水而造成纯水的污染，保护纯水。

Grinding Carrier Storage Device

The utility model relates to the technical field of semiconductor processing. The storage device of the grinding carrier includes a rack with a water tank, a basket for placing the grinding carrier, and the basket is arranged in the water tank; the basket includes a frame connected by a rear side board, a left side board and a right side board; and the basket also includes a vertical setting of a placement board, the rear end, the left end and the right end of the placement board are connected with the inner wall of the frame respectively. The utility model also comprises a driving mechanism for driving the basket to move up and down. The driving mechanism is mounted on a rack, and the driving mechanism drives and connects the basket. By optimizing the traditional grinding carrier storage device and the structure of the placement basket, the patent is convenient to realize the horizontal placement of the grinding carrier, and avoids the problem of easy deformation of the grinding carrier caused by vertical placement. Through the driving mechanism, it is easy to realize the rise and fall of the basket, thus avoiding the contamination of pure water caused by artificially carrying the basket out and touching the pure water, and protecting the pure water.

【技术实现步骤摘要】
研磨载体保管装置
本技术涉及半导体加工
，具体涉及硅片研磨载体保管装置。
技术介绍
半导体硅片研磨中用到的载体(游星轮)，因为在空气中放置容易生锈，所以通常的做法是放在纯水中保管。由于现场作业载体通常较多，不同的载体不能叠放一起，再加上场地限制，业界通常做法是将研磨载体竖直放置在分隔栏位的水槽中,方便拿取。但因为研磨载体是较薄(通常厚度〈800um)的弹性刚材质，竖直放置时因为自身重力作用容易发生形变，特别是放置的倾斜角较大情况下更严重，研磨载体变形会影响到研磨硅片的质量，导致TTV不良，崩边，裂片，甚至有在加工时载体和硅片一起绞裂的风险。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供研磨载体保管装置，以解决上述至少一个技术问题。本技术的技术方案是：研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架，其特征在于，还包括一用于放置研磨载体的置物篮，且所述置物篮设置在所述水槽内；所述置物篮包括包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；所述置物篮还包括纵向设置的置物板，所述置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成所述置物篮，所述置物板上开设有透水孔；所述左侧板与所述右侧板上位于相邻的置物板之间的区域均开设有开口；还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，所述驱动机构安装在所述机架上，且所述驱动机构驱动连接所述置物篮。本专利的创新点在于：(1)通过优化传统的研磨载体保管装置，通过优化置物篮的结构，便于实现研磨载体的水平放置，避免了竖直放置导致的研磨载体容易发生形变的问题。(2)通过置物板上开设有透水孔以及左侧板右侧板上的开口的设置，便于纯水浸没研磨载体的同时，通过开口，便于用户手握置物篮进行搬运。(3)通过驱动机构便于实现置物篮的升降，进而避免人为将置物篮搬运出，接触到纯水而造成纯水的污染，保护纯水。所述置物篮是PVC制成的置物篮。本专利通过优化置物篮的材料，便于保证对研磨载体的存储效果，避免与研磨载体之间的相互磨损。所述水槽上开设有一进水口以及一出水口，所述进水口与所述出水口均安装有阀门。便于实现纯水经进水口导入，经出水口导出。所述置物篮的左右两侧设有突起，所述机架包括两个左右设置的立柱，所述立柱位于水槽的上方，两个立柱上分别设有相对设置的导轨，所述导轨与所述突起滑动连接；所述驱动机构包括一驱动电机，所述驱动电机的动力输出轴通过一传动机构连接两根左右设置的升降带，两根升降带的端部均与突起固定相连。便于通过驱动电机进而带动升降带拉动置物篮，进而实现置物篮的升降。所述驱动电机的动力输出轴与一传动轴传动连接，所述传动轴的两端安装有驱动升降带升降的滚轮，所述升降带的一端与所述置物篮相连，所述升降带的另一端连接有一配重；所述机架上设有前后设置的所述滚轮与定滑轮，所述升降带套设在所述滚轮与定滑轮上。通过配重的设置，可抵消部分重量，大大降低电机功率需求，实现节能减排。所述升降带是履带塑料传送带。位于最下方的置物板的下方设有支撑块，位于最下方的置物板的下端分别与左侧板、右侧板以及后侧板的下端面齐平。便于通过支撑块，便于实现置物板与水槽的槽底具有间隙，便于保证纯水对研磨载体的浸润。附图说明图1为本技术的一种结构示意图；图2为本技术的内部的部分结构示意图。图中：1为置物篮，2为水槽，3为立柱，4为机架，5为驱动电机，6为升降带，7为配重，8为左侧板、9为右侧板，10为后侧板，11为置物板，12为开口，13为透水孔，14为进水阀，15为出水阀。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。参见图1以及图2，研磨载体保管装置，包括设置有水槽2的机架4、一用于放置研磨载体的置物篮1，且置物篮1设置在水槽2内；置物篮1包括包括后侧板10、左侧板8以及右侧板9三者相连围成的框架；置物篮1还包括纵向设置的置物板11，置物板11的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成置物篮1，置物板11上开设有透水孔13；左侧板8与右侧板9上位于相邻的置物板11之间的区域均开设有开口12；还包括驱动置物篮1上下运动的驱动机构，驱动机构安装在机架4上，且驱动机构驱动连接置物篮1。本专利的创新点在于：(1)通过优化传统的研磨载体保管装置，通过优化置物篮1的结构，便于实现研磨载体的水平放置，避免了竖直放置导致的研磨载体容易发生形变的问题。通过置物板11上开设有透水孔13以及左侧板8右侧板9上的开口12的设置，便于纯水浸没研磨载体的同时，通过开口12，便于用户手握置物篮1进行搬运。通过驱动机构便于实现置物篮1的升降，进而避免人为将置物篮1搬运出，接触到纯水而造成纯水的污染，保护纯水。本装置在使用过程中，研磨载体未见扭曲、变形情况发生，研磨载体寿命正常，并未发生研磨载体混淆事件。水槽内还可以在纯水中加入防腐剂，保证对研磨载体的保管效果。置物篮1是PVC制成的置物篮1。本专利通过优化置物篮1的材料，便于保证对研磨载体的存储效果，避免与研磨载体之间的相互磨损。水槽2上开设有一进水口以及一出水口，进水口与出水口均安装有阀门。(进水口安装有进水阀14，出水口安装有出水阀15)便于实现纯水经进水口导入，经出水口导出。置物篮1的左右两侧设有突起，机架4包括两个左右设置的立柱3，立柱3位于水槽2的上方，两个立柱3上分别设有相对设置的导轨，导轨与突起滑动连接；驱动机构包括一驱动电机5，驱动电机5的动力输出轴通过一传动机构连接两根左右设置的升降带6，两根升降带6的端部均与突起固定相连。便于通过驱动电机5进而带动升降带6拉动置物篮1，进而实现置物篮1的升降。驱动电机5的动力输出轴与一传动轴传动连接，传动轴的两端安装有驱动升降带6升降的滚轮，升降带6的一端与置物篮1相连，升降带6的另一端连接有一配重7；机架4上设有前后设置的滚轮与定滑轮，升降带6套设在滚轮与定滑轮上。通过配重7的设置，可抵消部分重量，大大降低电机功率需求，实现节能减排。升降带6是履带塑料传送带。配重7的质量与置物篮1质量的差值不大于2g。配重7的下方设有吊耳。便于通过吊耳挂设砝码或者其他质量块。实现对配重7的增重效果。驱动电机5驱动传动轴的方式，可以是，驱动电机5的动力输出轴套设有一主动齿轮，传动轴上套设有与主动齿轮啮合的从动齿轮。或者，其他方式。置物板11与框架滑动连接，框架的内壁上设有支撑置物板11的块状突起。便于实现置物板11与框架的可拆卸连接。或者，框架的内壁上左右设置的两个滑槽，置物板与滑槽滑动连接，滑槽是两个上下设置的条状突起构成的滑槽。位于最下方的置物板11的下方设有支撑块，位于最下方的置物板11的下端分别与左侧板8、右侧板9以及后侧板10的下端面齐平。便于通过支撑块，便于实现置物板11与水槽2的槽底具有间隙，便于保证纯水对研磨载体的浸润。可以是，水槽2的槽底是从前至后倾斜向下的倾斜的槽底，槽底的倾斜角度为2°-3°。便于水槽2内槽底的纯水的排尽的同时，通过控制槽底的倾斜情况，便于保证对研磨载体在置物板11上的放置效果。以上仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架，其特征在于，还包括一用于放置研磨载体的置物篮，且所述置物篮设置在所述水槽内；所述置物篮包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；所述置物篮还包括纵向设置的置物板，所述置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成所述置物篮，所述置物板上开设有透水孔；所述左侧板与所述右侧板上位于相邻的置物板之间的区域均开设有开口；还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，所述驱动机构安装在所述机架上，且所述驱动机构驱动连接所述置物篮。

【技术特征摘要】
1.研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架，其特征在于，还包括一用于放置研磨载体的置物篮，且所述置物篮设置在所述水槽内；所述置物篮包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；所述置物篮还包括纵向设置的置物板，所述置物板的后端、左端以及右端分别与框架的内壁相连构成所述置物篮，所述置物板上开设有透水孔；所述左侧板与所述右侧板上位于相邻的置物板之间的区域均开设有开口；还包括驱动置物篮上下运动的驱动机构，所述驱动机构安装在所述机架上，且所述驱动机构驱动连接所述置物篮。2.根据权利要求1所述的研磨载体保管装置，其特征在于：所述置物篮是PVC制成的置物篮。3.根据权利要求1所述的研磨载体保管装置，其特征在于：所述水槽上开设有一进水口以及一出水口，所述进水口与所述出水口均安装有阀门。4.根据权利要求1所述的研磨载体保管装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐红林，贺贤汉，
申请(专利权)人：上海申和热磁电子有限公司，杭州中芯晶圆半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31