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本实用新型涉及半导体加工技术领域。研磨载体保管装置，包括设置有水槽的机架、一用于放置研磨载体的置物篮，且置物篮设置在水槽内；置物篮包括包括后侧板、左侧板以及右侧板三者相连围成的框架；置物篮还包括纵向设置的置物板，置物板的后端、左端以及右端分...该专利属于上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。