一种贴膜方法技术

本发明专利技术提供了贴膜方法，包括：根据产品的尺寸裁剪专用膜；根据标准铁环的尺寸裁剪普通膜；将产品的非加工一侧贴在专用膜表面；将贴有产品的专用膜贴于普通膜表面；将贴有专用膜和产品的普通膜嵌套于标准铁环中；使用标准铁环将产品送入机台进行加工。大大降低了生产成本，同时保证了产品质量。

A Method of Film Adhesion

【技术实现步骤摘要】
一种贴膜方法
本专利技术涉及半导体发光二极管领域，特别涉及一种贴膜方法。
技术介绍
在半导体器件的制备过程中需要经过上百道工艺，其中，芯片减薄、切割都是必须的工序。在类似工序中，得到如图1(a)中所示晶圆1之后，根据如图1(b)所示的标准铁环2裁剪出相应尺寸的专用膜3；之后，将晶圆1贴在专用膜3上，如图1(c)所示；之后，将贴好了晶圆的专用膜固定在与机台匹配的标准铁环2上，如图1(d)；最后，通过铁环将其送入机台中。由于固定专用膜的铁环必须采用与机台匹配的标准尺寸，在加工非标产品时往往会出现铁环尺寸比产品大很多的情况，但是，为了配合铁环使用，专用膜必须贴满整个铁环，且减薄或切割等工艺使用的专用膜价格普遍昂贵，若使用UV(紫外)膜则费用更高，无疑造成了大量的浪费；若采用普通膜直接替换专用膜，会出现产品四周脱落的现象，影响工艺。可见，如何有效降低成本成为该类型工序中比较突出的问题。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术旨在提供一种贴膜方法，有效降低了生产成本。为达到上述目的，本专利技术提供的技术方案如下：一种贴膜方法，包括：根据产品的尺寸裁剪专用膜；根据标准铁环的尺寸裁剪普通膜；将产品的非加工一侧贴在专用膜表面；将贴有产品的专用膜贴于普通膜表面；将贴有专用膜和产品的普通膜嵌套于标准铁环中；使用标准铁环将产品送入机台进行加工。进一步优选地，在步骤将产品的非加工一侧贴在专用膜表面之后，还包括：将贴有产品的专用膜嵌套于专用铁环中；在步骤将贴有产品的专用膜贴于普通膜表面中，具体为：将嵌有专用膜的专用铁环贴于普通膜表面。在生产某些产品的时候，由于专用膜需要匹配标准铁环，此时若产品不能贴满专用膜，必然会造成专用膜的浪费，提升专用膜的成本。针对现有工序中对专用膜浪费的问题，本专利技术提出了一种贴膜方法，其首先针对产品的大小裁剪匹配的专用膜，之后根据标准铁环的大小裁剪匹配的普通膜，然后依次将产品贴于专用膜上、将专用膜贴于普通膜上，最后将普通膜嵌套在标准铁环中，进行加工。由相对于专用膜(如，UV膜等)来说，普通膜(如，蓝膜)的成本要低廉很多，故采用这种方法大大降低了生产成本(如，在硅衬底芯片减薄工序中采用该贴膜方法，成本可降低67％；在蓝宝石CSP芯片减薄工序中采用该贴膜方法，成本可降低30％)，同时不会影响产品质量(直接采用普通膜替换专用膜会影响产品质量)。另外，除了在减薄工序中可以使用该贴膜方法，封装、切割等工序中同样可以使用。附图说明图1(a)为现有技术中晶圆示意图；图1(b)为现有技术中标准铁环示意图；图1(c)为现有技术中将晶圆贴于专用膜表面示意图；图1(d)为现有技术中将专用膜嵌套于标准铁环示意图；图2(a)为本专利技术实例一中晶圆示意图；图2(b)为本专利技术实例一中标准铁环示意图；图2(c)为本专利技术实例一中晶圆贴于UV膜表面示意图；图2(d)为本专利技术实例一中将蓝膜嵌套在标准铁环内示意图；图3(a)为本专利技术实例二中晶圆示意图；图3(b)为本专利技术实例二中标准铁环示意图；图3(c)为本专利技术实例二中专用铁环示意图；图3(d)为本专利技术实例二中将晶圆贴于UV膜表面示意图；图3(e)为本专利技术实例二中将UV膜嵌套在专用铁环示意图；图3(f)为本专利技术实例二中将蓝膜嵌套在标准铁环内示意图。附图标记：1-晶圆，2-标准铁环，3-专用膜3，4-专用铁环，5-UV膜，6-蓝膜。具体实施方式为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本专利技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。为使图面简洁，各图中的只示意性地表示出了与本专利技术相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。实施例一在该实例中，图2(a)为晶圆1示意图，图2(b)为标准铁环2示意图，基于此：首先，根据图2(a)所示晶圆1的大小裁剪得到的UV膜5(裁剪得到的UV膜的大小根据实际情况确定，稍微比晶圆大一些即可，保证能够贴满晶圆)，并将晶圆1贴于该UV膜5表面，如图2(c)所示；完成一次贴膜；之后，将贴有产品的UV膜5贴于根据标准铁环2裁剪得到的蓝膜6表面，并将贴有专用铁环4的蓝膜6嵌套在标准铁环2中，如图2(d)所示，完成二次贴膜；最后，使用标准铁环2将产品送入机台进行加工。在本实例中，UV膜5的成本可节约75％，综合蓝膜6的成本，节约成本67％。在其他实施方式中，由于根据产品裁剪得到的专用膜面积相对标准铁环较小，在一次贴膜之后进行二次贴膜的过程中，将表面贴有晶圆的UV膜和标准铁环同时摆放在同一平台(将贴有晶圆的UV膜放置在标准铁环内)，之后，将蓝膜贴在UV膜和标准铁环表面，实现二次贴膜。实施例二在该实例中，图3(a)为晶圆1示意图，图3(b)为标准铁环2示意图，基于此：首先，根据图3(a)所示晶圆1的大小，定制如图3(c)所示的专用铁环4，具体该专用铁环4的边长不到专用铁环4的一半，即专用铁环4的面积不到标准铁环2的1/4；之后，将晶圆1贴于根据晶圆1大小裁剪得到的UV膜5(正方形)表面，如图3(d)所示；之后，将贴了晶圆1的UV膜5嵌套在专用铁环4中，如图3(e)所示，完成一次贴膜；之后，将贴有UV膜5的专用铁环4贴于根据标准铁环2裁剪得到的蓝膜6表面，并将贴有专用铁环4的蓝膜6嵌套在标准铁环2中，如图3(f)所示，完成二次贴膜；最后，使用标准铁环2将产品送入机台进行加工。在本实例中，UV膜5的成本可节约75％，综合蓝膜6的成本，节约成本67％。在其他实施方式中，由于根据产品裁剪得到的专用膜面积相对标准铁环较小，在一次贴膜之后进行二次贴膜的过程中，将嵌套有UV膜的专用铁环和标准铁环同时摆放在同一平台(将准用铁环放置在标准铁环内)，之后，将蓝膜贴在专用铁环(包括UV膜)和标准铁环表面，实现二次贴膜。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种贴膜方法，其特征在于，所述贴膜方法中包括：根据产品的尺寸裁剪专用膜；根据标准铁环的尺寸裁剪普通膜；将产品的非加工一侧贴在专用膜表面；将贴有产品的专用膜贴于普通膜表面；将贴有专用膜和产品的普通膜嵌套于标准铁环中；使用标准铁环将产品送入机台进行加工。

【技术特征摘要】
1.一种贴膜方法，其特征在于，所述贴膜方法中包括：根据产品的尺寸裁剪专用膜；根据标准铁环的尺寸裁剪普通膜；将产品的非加工一侧贴在专用膜表面；将贴有产品的专用膜贴于普通膜表面；将贴有专用膜和产品的普通膜嵌套于标准铁环中；使用标准铁环将产品...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄涛，
申请(专利权)人：晶能光电江西有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36