一种加热炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种加热炉，属于OLED器件的制备技术领域，其可解决现有的加热炉的箱门开闭取放玻璃基板的过程中会导致加热箱外的水氧进入加热箱，还会造成加热箱内温度降低的问题。本实用新型专利技术的加热炉的加热箱的箱壁上设有箱门，加热炉上还设有吹气装置，所述吹气装置可在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动，即吹气装置吹出的气体，相当于形成了门帘或风障，可隔阻加热箱内外的气体和热量传递，降低外界对加热箱内的污染。

A Heating Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种加热炉
本技术属于OLED器件的制备
，具体涉及一种加热炉。
技术介绍
OLED器件对水、氧很敏感，且由于在一些制程中会将光刻胶作为器件的一部分，故需对玻璃基板进行烘烤，以便起到除去水分的作用。现有的加热箱上一般设有容玻璃基板进出的箱门，烘烤工艺中，加热箱内的温度一般为200-250℃。专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：箱门开闭取放玻璃基板的过程中，一方面会导致加热箱外的水氧进入加热箱，另一方面，还会造成加热箱内温度降低。
技术实现思路
本技术针对现有的加热炉的箱门开闭取放玻璃基板的过程中会导致加热箱外的水氧进入加热箱，还会造成加热箱内温度降低的问题，提供一种加热炉。解决本技术技术问题所采用的技术方案是：一种加热炉，包括至少一个加热箱，所述加热箱的箱壁上设有箱门，其中，所述加热炉还包括吹气装置，用于在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动。可选的是，所述加热炉包括多个叠置的所述加热箱。可选的是，所述吹气装置包括多个吹气口，所述多个吹气口可沿箱门闭合时所在面内吹保护气体。可选的是，所述箱壁包括底壁和设于所述底壁边缘上的多个侧壁，每个加热箱内设有多个与底壁所在面平行的承载面，用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热炉，其特征在于，包括至少一个加热箱，所述加热箱的箱壁上设有箱门，其中，所述加热炉还包括吹气装置，用于在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动；所述加热箱设有用于向加热箱内充保护气体的进气管和用于对加热箱进行抽气的抽气管。

【技术特征摘要】
1.一种加热炉，其特征在于，包括至少一个加热箱，所述加热箱的箱壁上设有箱门，其中，所述加热炉还包括吹气装置，用于在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动；所述加热箱设有用于向加热箱内充保护气体的进气管和用于对加热箱进行抽气的抽气管。2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述加热炉包括多个叠置的所述加热箱。3.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述吹气装置包括多个吹气口，所述多个吹气口可沿箱门闭合时所在面内吹保护气体。4.根据权利要求3所述的加热炉，其特征在于，所述箱壁包括底壁和设于所述底壁边缘上的多个侧壁，每个加热箱内设有多个与底壁所在面平行的承载面，用于承载基板。5.根据权利要求4所述的加热炉，其特征在于，每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：楚俊波，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11