一种加热炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种加热炉，属于OLED器件的制备技术领域，其可解决现有的加热炉的箱门开闭取放玻璃基板的过程中会导致加热箱外的水氧进入加热箱，还会造成加热箱内温度降低的问题。本实用新型专利技术的加热炉的加热箱的箱壁上设有箱门，加热炉上还设有吹气装置，所述吹气装置可在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动，即吹气装置吹出的气体，相当于形成了门帘或风障，可隔阻加热箱内外的气体和热量传递，降低外界对加热箱内的污染。

A Heating Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种加热炉
本技术属于OLED器件的制备
，具体涉及一种加热炉。
技术介绍
OLED器件对水、氧很敏感，且由于在一些制程中会将光刻胶作为器件的一部分，故需对玻璃基板进行烘烤，以便起到除去水分的作用。现有的加热箱上一般设有容玻璃基板进出的箱门，烘烤工艺中，加热箱内的温度一般为200-250℃。专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：箱门开闭取放玻璃基板的过程中，一方面会导致加热箱外的水氧进入加热箱，另一方面，还会造成加热箱内温度降低。
技术实现思路
本技术针对现有的加热炉的箱门开闭取放玻璃基板的过程中会导致加热箱外的水氧进入加热箱，还会造成加热箱内温度降低的问题，提供一种加热炉。解决本技术技术问题所采用的技术方案是：一种加热炉，包括至少一个加热箱，所述加热箱的箱壁上设有箱门，其中，所述加热炉还包括吹气装置，用于在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动。可选的是，所述加热炉包括多个叠置的所述加热箱。可选的是，所述吹气装置包括多个吹气口，所述多个吹气口可沿箱门闭合时所在面内吹保护气体。可选的是，所述箱壁包括底壁和设于所述底壁边缘上的多个侧壁，每个加热箱内设有多个与底壁所在面平行的承载面，用于承载基板。可选的是，每个加热箱内的所述多个承载面将加热箱分为多个烘烤空间，每个烘烤空间对应设有一个箱门，所述加热箱的所有箱门设于同一侧壁上，且上下对齐设置。可选的是，所述多个吹气口分别设于箱门上的平行于底壁所在面的边上，所述箱门上的吹气口朝向与该箱门相邻的、且与该吹气口距离最近的箱门设置。可选的是，所述吹气口设于箱壁上，且对应箱门闭合时的箱门的周边的位置处。可选的是，所述箱壁上对应每个箱门的相对的边均设有多对吹气口，每对吹气口相向设置。可选的是，所述加热箱设有用于向加热箱内充保护气体的进气管和用于对加热箱进行抽气的抽气管。可选的是，所述加热箱的箱壁与箱门轴接，或者所述加热箱的箱壁与箱门通过气缸连接。附图说明图1为本技术的实施例1的加热炉的结构示意图；图2为本技术的实施例2的一种加热炉的结构示意图；图3为本技术的实施例2的加热炉的侧视图；图4为本技术的实施例2的另一种加热炉的结构示意图；图5为本技术的实施例2的又一种加热炉的结构示意图；其中，附图标记为：1、加热箱；2、箱门；21、气缸；3、吹气装置；31、吹气口；41、承载面；42、烘烤空间。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细描述。实施例1：本实施例提供一种加热炉，如图1所示，包括至少一个加热箱1，所述加热箱1的箱壁上设有箱门2，其中，所述加热炉还包括吹气装置3，用于在箱门2开闭过程中阻隔加热箱1内外气体流动。本实施例的加热炉的加热箱1的箱壁上设有箱门2，加热炉上还设有吹气装置3，所述吹气装置3可在箱门2开闭过程中阻隔加热箱1内外气体流动，也就是说，吹气装置3吹出的气体，其可沿如图1中虚线箭头指向的方向吹，相当于形成了门帘或风障，可隔阻加热箱1内外的气体和热量传递，降低外界对加热箱1内的污染。实施例2：本实施例提供一种加热炉，如图2-5所示，包括多个叠置的加热箱1，所述加热箱1的箱壁上设有箱门2，其中，所述加热炉还包括吹气装置3，用于在箱门2开闭过程中阻隔加热箱1内外气体流动。本实施例对应的附图2中显示了，多个加热箱1叠置设置，这样每个加热箱1可以用于加热烘烤不同的基板，增加产能，例如，可以将20多个加热箱1叠置在一起用于加热烘烤不同的基板。其中，图2示出的箱门2的门轴设于加热箱1的上侧，吹气装置3设于加热箱1的右侧，该加热炉使用时，在打开箱门2之前或打开箱门2之时启动吹气装置3，即可形成气体的门帘或风障，隔阻加热箱1内外的气体和热量传递。需要说明的是，还可以将箱门2的门轴设于加热箱1的左侧或右侧，将吹气装置3还可设于加热箱1的左侧，或者还可以分别将吹气装置3设于加热箱1的上侧或下侧，只要能在打开箱门2时，令吹气装置3吹出的气体覆盖箱门2闭合时所在面即可。作为本实施例的一种可选方案，所述吹气装置3包括多个吹气口31，所述多个吹气口31可沿箱门2闭合时所在面内吹保护气体。也就是说，吹气装置3可以设有多个吹气口31，吹气装置3控制不同的吹气口31向箱门2闭合时所在面吹气即可。在此不限定吹气口31吹出的具体的气体，优选的是，吹气口31出与加热箱1内气体相同的气体。例如，若加热箱1内氛围为氮气，则吹气口31提供的是相同的氮气。在一个实施例中，如图3所示，所述箱壁包括底壁和设于所述底壁边缘上的多个侧壁，每个加热箱1内设有多个与底壁所在面平行的承载面41，用于承载基板。也就是说，每一加热箱1中可以加热多个相同或者不同的基板，为了防止不同的基板上的元件相互产生影响，可以在加热箱1中设置承载面41将多个基板分别进行承载，并且每个承载面41上仍然可以放置两个基板同时进行加热烘烤，其中，加热的温度可以根据具体的情况进行选择或者调整，通常可以将加热箱1内的温度设置在250℃左右。在一个实施例中，每个加热箱1内的所述多个承载面41将加热箱1分为多个烘烤空间42，每个烘烤空间42对应设有一个箱门2，所述加热箱1的所有箱门2设于同一侧壁上，且上下对齐设置。在一个具体实施例中，如图4所示，所述多个吹气口31分别设于箱门2上的平行于底壁所在面的边上，所述箱门2上的吹气口31朝向与该箱门2相邻的、且与该吹气口31距离最近的箱门2设置。也就是说，将吹气口31设于箱门2上，该箱门2打开，则上、下相邻的箱门2中的至少一个向该被打开的箱门2吹气，这样设计的好处是：侧壁上可节省排布吹气装置3的空间。在另一个具体实施例中，如图5所示，所述吹气口31设于箱壁上，且对应箱门2闭合时的箱门2的周边的位置处。也就是说，被打开的箱门2周边的侧壁上的吹气口31吹气，这样相当于每套对应的箱门2与吹气口31可以独立控制，便于操作。可选的是，所述箱壁上对应每个箱门2的相对的边均设有多对吹气口31，每对吹气口31相向设置。其中，通常加热箱1内的气体中的氧气的体积含量不超过0.5％，而通常箱门2的长度H1达到2米左右，相对高度H2要大得多，故在每个箱门2的相对较长的边设置多对吹气口31进行多个方向的吹气，形成一个风障可以保证热箱内的气体低氧环境。可选的是，所述加热箱的箱壁与箱门通过气缸连接。需要说明的是，图4、图5中的箱门2通过气缸21与箱体连接，具体的，气缸21可以是包括活塞杆的推动气缸，当该箱门2打开时，气缸21先将箱门2向背离其闭合时所在面移动，然后向上或向下覆盖至与该箱体相邻的上、下两个加热箱1之一的箱门2外。在一个实施例中，所述加热箱1设有用于向加热箱1内充保护气体的进气管和用于对加热箱1进行抽气的抽气管。需要说明的是，一般在加热烘烤工艺中，加热箱1内氛围多为氮气，而在设备检修过程中，加热箱1内与大气压联通，故在此设置用于向加热箱1内充保护气体的进气管和用于对加热箱1进行抽气的抽气管，以便于加热烘烤工艺与设备检修两种状态的加热箱1内气体的切换。实施例3：本实施例提供一种OLED的显示基板，其采用上述实施例的加热炉加热形成。实施例4：本实施例提供了一种显示装置，其包括上述任意一种OLED的显示基板。所述显示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热炉，其特征在于，包括至少一个加热箱，所述加热箱的箱壁上设有箱门，其中，所述加热炉还包括吹气装置，用于在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动；所述加热箱设有用于向加热箱内充保护气体的进气管和用于对加热箱进行抽气的抽气管。

【技术特征摘要】
1.一种加热炉，其特征在于，包括至少一个加热箱，所述加热箱的箱壁上设有箱门，其中，所述加热炉还包括吹气装置，用于在箱门开闭过程中阻隔加热箱内外气体流动；所述加热箱设有用于向加热箱内充保护气体的进气管和用于对加热箱进行抽气的抽气管。2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述加热炉包括多个叠置的所述加热箱。3.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述吹气装置包括多个吹气口，所述多个吹气口可沿箱门闭合时所在面内吹保护气体。4.根据权利要求3所述的加热炉，其特征在于，所述箱壁包括底壁和设于所述底壁边缘上的多个侧壁，每个加热箱内设有多个与底壁所在面平行的承载面，用于承载基板。5.根据权利要求4所述的加热炉，其特征在于，每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：楚俊波，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11