【技术实现步骤摘要】
粘膜机及粘膜方法
本专利技术涉及半导体器件生产装置
，尤其是涉及一种粘膜机及粘膜方法。
技术介绍
半导体器件生产中对划片前粘膜工艺要求也越来越高，目前划片粘膜工序采用人工手动粘膜，不仅粘膜效率较低，而且手工粘膜易造成膜料划伤和破损，无法满足工艺质量要求。粘膜作业涉及支撑体拿取、膜料张紧、粘膜和裁切等多个工艺步骤，人工手动粘膜通常需要多人协作配合，消耗了大量人力，且生产效率低下。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种粘膜机及粘膜方法，以解决现有技术中缺少粘膜设备的技术问题。第一方面，本专利技术提供的粘膜机，包括：机架、输膜组件、支撑架成品输送组件、压板组件、切割组件和控制器；压板组件与切割组件相对设置，输膜组件、支撑架成品输送组件、压板组件和切割组件均与机架连接；机架上设有入料口，入料口用于容纳支撑体，且与压板组件在水平方向上间隔设置；输膜组件用于将膜料张紧并输送至压板组件和切割组件之间；支撑架成品输送组件用于将支撑体自入料口输送至压板组件和切割组件之间，并使支撑体位于膜料背离切割组件的一侧；控制器分别与输膜组件、支撑架成品输送组件、压板组件和切割组件相连接...
【技术保护点】
1.一种粘膜机，其特征在于，包括：机架(100)、输膜组件(200)、支撑架成品输送组件(300)、压板组件(400)、切割组件(500)和控制器(800)；所述压板组件(400)与所述切割组件(500)相对设置，所述输膜组件(200)、所述支撑架成品输送组件(300)、所述压板组件(400)和所述切割组件(500)均与所述机架(100)连接；所述机架(100)上设有入料口，所述入料口用于容纳支撑体，且与所述压板组件(400)在水平方向上间隔设置；所述输膜组件(200)用于将膜料张紧并输送至所述压板组件(400)和所述切割组件(500)之间；所述支撑架成品输送组件(300)...
【技术特征摘要】
1.一种粘膜机，其特征在于，包括：机架(100)、输膜组件(200)、支撑架成品输送组件(300)、压板组件(400)、切割组件(500)和控制器(800)；所述压板组件(400)与所述切割组件(500)相对设置，所述输膜组件(200)、所述支撑架成品输送组件(300)、所述压板组件(400)和所述切割组件(500)均与所述机架(100)连接；所述机架(100)上设有入料口，所述入料口用于容纳支撑体，且与所述压板组件(400)在水平方向上间隔设置；所述输膜组件(200)用于将膜料张紧并输送至所述压板组件(400)和所述切割组件(500)之间；所述支撑架成品输送组件(300)用于将支撑体自所述入料口输送至所述压板组件(400)和所述切割组件(500)之间，并使支撑体位于膜料背离切割组件(500)的一侧；所述控制器(800)分别与所述输膜组件(200)、所述支撑架成品输送组件(300)、所述压板组件(400)和所述切割组件(500)相连接。2.根据权利要求1所述的粘膜机，其特征在于，所述机架(100)上连接有衬套(101)和第一传感器(102)，所述衬套(101)与所述入料口连通，所述第一传感器(102)与所述控制器(800)连接，用于检测所述衬套(101)内支撑体的有无。3.根据权利要求1所述的粘膜机，其特征在于，所述压板组件(400)包括：压板本体(401)和回位挡块(402)，所述压板本体(401)靠近所述入料口的一端设有通槽，所述回位挡块(402)插接于所述通槽，并通过铰接轴与所述压板本体(401)铰接；所述铰接轴的轴线位于所述回位挡块(402)的重心和所述入料口之间；所述回位挡块(402)朝向所述切割组件(500)的一侧端面，自靠近所述入料口的一端向远离所述入料口的一端，朝靠近所述切割组件(500)的方向倾斜。4.根据权利要求1所述的粘膜机，其特征在于，所述粘膜机包括第二传感器(206)，所述第二传感器(206)用于检测所述输膜组件(200)上膜料是否足量。5.根据权利要求1所述的粘膜机，其特征在于，所述支撑架成品输送组件(300)包括：第一导向轴(301)、第二导向轴(302)、撑架板(303)和第一伸缩缸(304)，所述第一导向轴(301)和所述第二导向轴(302)均与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李双龙，边绍成，王志达，程国庆，杨虎，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林,22
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。